【課題】大量の被乾燥物を一度で処理でき、被乾燥物の種類や性状等に対応した精度の高い乾燥状態の制御を可能にする。
【解決手段】本発明のマイクロ波減圧乾燥機１は、減圧乾燥炉５と、開閉扉７と、減圧装置３３と、を備え、上記減圧乾燥炉５内を複数の個別乾燥室２５に区画して、各個別乾燥室２５ごとにマイクロ波照射装置９、ターンテーブル３７、温度センサ３９とを配置し、制御部３１によって上記温度センサ３９によって計測した品温とマイクロ波出力とマイクロ波の発振時間とに基づいて上記個別乾燥室２５ごとに乾燥制御状態を切り替えることができるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成とするとともに、熱エネルギーの消費を少なくすることができる真空乾燥装置を提供する。
【解決手段】 真空乾燥装置Ｍ１は、被乾燥物Ｄを収容する乾燥室１１を備える乾燥タンク１および乾燥室１１内を真空にするオイル型真空ポンプ２を備えている。また、乾燥タンク１とオイル型真空ポンプ２とは、流通管４，５で接続されており、流通管４，５には、水蒸気を凝縮させるコールドトラップ３が設けられている。乾燥タンク１とコールドトラップ３とには、それぞれヒートポンプ６が接続されている。乾燥室１１で蒸発した被乾燥物Ｄの水分は、水蒸気となってコールドトラップ３まで搬送され、コールドトラップ３では、水蒸気が凝縮して水となる。ヒートポンプ６は、コールドトラップ３における凝縮熱を乾燥タンク１に移動させ蒸発熱として利用する。 （もっと読む）

【課題】屋外に存在するコンクリート構造物のコンクリート内部を確実に乾燥させる。
【解決手段】この工法では、所定の剛性を有する被覆板１を用いて、コンクリート構造物ＳのコンクリートＣ表面を当該表面に対して所定の間隔の間隙Ｐをおいて気密に被覆し、この間隙Ｐを真空ポンプ５により真空吸引することにより、コンクリートＣ表面の相対湿度を低下させ、コンクリートＣ内部の水分のコンクリートＣ表面への移動を促進して、当該水分を乾燥除去し、コンクリートＣ内部の相対湿度を低下させる。 （もっと読む）

【課題】食品廃棄物をより効率的に処理することのできる食品廃棄物処理装置を提供することを課題とする。
【解決手段】食品廃棄物を乾燥させて処理する装置であって、食品廃棄物が投入され、軸周りに回転する処理槽２と、処理槽２内を減圧する真空ポンプと、処理槽２内の食品廃棄物を加熱するためのコイル３と、処理槽２内部にて発生した蒸気を外部へ排気するよう、回転軸と同心に処理槽２に形成された排気ポート２３と、排気ポート２３から排気された蒸気を冷却水に混合させることで蒸気を凝縮して冷却水とともに排水する凝縮部４と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】被処理物から生じる臭気を効率的に除去でき、また、周囲に臭気を拡散することを防止でき、さらに、被処理物から生じる腐食成分による劣化を防止できる減圧発酵乾燥装置を提供すること。
【解決手段】減圧発酵乾燥装置１は、微生物が添加された有機性の被処理物が投入される処理室２２を有する乾燥機２と、乾燥機２に設けられて被処理物を加熱する加熱ジャケット２４と、乾燥機の処理室２２内に回転可能に配置され、被処理物を加熱すると共に攪拌する加熱攪拌部２５と、有機廃棄物から生成された水蒸気を凝縮して凝縮水を生成する凝縮部２３と、凝縮部２３の凝縮水と処理室２２の空気の混合体が導かれ、導かれた混合体を凝縮水と空気とに分離する気液分離装置３と、気液分離装置３の下流側に接続され、凝縮部２３の凝縮水と処理室２２の空気を気液分離装置に向かって吸引する吸引ポンプ５を備える。 （もっと読む）

【課題】 輸送支持具の固定時間を短縮し、輸送支持具の壁の満足のいく清浄度を保証するために使用される、洗浄ステージ後の、異物、特に分子汚染化合物（ＡＭＣ、ＶＯＣ）および／または湿気の除去を大幅に改善かつ加速する、方法、ならびに輸送支持具用の処理ステーションを提案する。
【解決手段】 基板の運搬および保管のための輸送支持具（１）の処理方法であって、
前記輸送支持具（１）上の処理されるべき表面（１ａ）から異物を除去するために前記処理されるべき表面（１ａ）がその間に準大気圧のガス圧（ＰＳＡ）と赤外線（ＩＲ）との複合作用にさらされる処理ステージを含み、前記赤外線は断続的赤外線であり、材料の温度を最高許容温度を超えない温度設定あたりで維持するために、満足のいく継続時間にわたって交互に切断／回復されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体基板上の金属材料やポリシリコンのエッチングを抑制し、半導体デバイスの電気的特性の劣化を防止することができる半導体基板の超臨界乾燥方法を提供する。
【解決手段】半導体基板の超臨界乾燥方法は、半導体基板を洗浄・リンスした後に、表面が水溶性有機溶媒で濡れた半導体基板をチャンバ内に導入する工程と、前記チャンバを密閉し、前記水溶性有機溶媒を超臨界状態にする工程と、前記チャンバ内の圧力を下げ、超臨界状態の前記水溶性有機溶媒を気体に変化させて、前記水溶性有機溶媒を前記チャンバから排出する工程と、前記チャンバ内の圧力が大気圧まで下がるに伴い、前記チャンバ内へ不活性ガスを供給する工程と、前記半導体基板を冷却する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】密閉処理室の密閉性を損なうことなく、乾燥力を高めた乾燥装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２０の貫通孔２９には、処理室２１内のファン５１とチャンバ２０外の動力源に連結された動力伝達軸５３が挿通されている。圧力調整手段は、処理室２１内を常圧以上の第１の圧力状態と、常圧よりも低い第２の圧力状態とに切り替える。状態切替手段は、チャンバ２０と動力伝達軸５３との間を気密に固定する気密状態と、気密を解いて動力伝達軸５３を回転可能とする回転可能状態と、を切り替える。制御手段は、処理室２１内を第１の圧力状態とし、チャンバ２０と動力伝達軸５３との間の気密を解いて、ファン５１を高速回転させて被乾燥体を高速流動気体により急速加熱する。また、処理室２１内を第２の圧力状態とし、チャンバ２０と動力伝達軸５３との間を気密とすることにより、被乾燥体を真空乾燥する。 （もっと読む）

【課題】乾燥容器内で被乾燥物の乾燥をむらなく促進させることができる、減圧乾燥装置を提供する。
【解決手段】樹脂材料を乾燥させる工程では、樹脂材料が乾燥ホッパ３内に収容されて、乾燥ホッパ３内が減圧される。この減圧により、樹脂材料に含まれる水分の沸点が下がるので、樹脂材料を低温で速やかに乾燥させることができる。乾燥ホッパ３内の減圧が進むと、乾燥ホッパ３内からの水蒸気の排出量の低下を防止するために、乾燥ホッパ３内からの排気が続けられながら、リークバルブ３０が開閉されて、乾燥ホッパ３内にエアが間欠的（パルス的）に導入される。これにより、乾燥ホッパ３内からの排気量と乾燥ホッパ３内へのエアの導入量とのバランスが瞬時に崩れるので、乾燥ホッパ３内の圧力が急変し、乾燥ホッパ３内の環境が乾燥ホッパ３内で対流が生じやすい環境となる。 （もっと読む）

【課題】 フィルターの目詰まりを抑制し得る容器回転型混合乾燥機の提供。
【解決手段】 回転軸回りに回転駆動可能に軸支された容器と、一端部が容器の周面に接続され該容器内部の気体を吸引して当該内部を減圧するための吸引管と、前記容器内部に供給された被処理物が前記吸引管内に吸引されないようにするためのフィルター部とを備え、該フィルター部は前記容器の周面と前記吸引管の一端部との接続部に設けられて、前記容器が回転軸回りに回転駆動すると、フィルター部が被処理物により覆われる状態と容器内部の気体に晒される状態とを繰り返す容器回転型混合乾燥機において、フィルター部が被処理物により覆われる状態では吸引管による吸引を行わず、フィルター部が容器内部の気体に晒される状態では吸引管による吸引を行うための吸引手段が設けられている。 （もっと読む）