【課題】 簡素な構造で組み立てが簡単でありながら防塵可能な炉の天井構造体及び炉の天井構造体の組み立て方法を提供すること。
【解決手段】 保持部は、発熱体の端部を係止する溝を有する一対の絶縁体を備える。発熱体を一対の絶縁体の溝間でこの発熱体が長手方向に対し円弧状になるように保持してある。天井部材6は複数の第一薄板部材20a〜eを積層し、発熱体に沿って円弧状に形成してある。各天井部材6が少なくとも炉内外を貫く貫通部材14を挿入可能な間隙をおいて並ぶように複数のヒーターユニットを配置してある。この間隙11を第二薄板部材12a,bによって塞ぐことで天井を形成する。この第二薄板部材12a,bは、貫通部材14がクリアランス15をもって貫通する第一貫通孔13を備え、貫通部材14を密接状態で貫通させる第二貫通孔を有する閉塞部材16及びこの閉塞部材16を固定する固定部材17,18によって複数の第一薄板部材20a〜eの間で先のクリアランス15を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】複数の基板搬送機構を有するリフロー装置において、省エネルギ化を大きく促進でき、しかも基板列毎に異なる温度プロファイルを設定することが可能なものを提供する。
【解決手段】基板Ｐを通過させる内部空間が複数の加熱ゾーンＺに分けられた加熱炉１と、前記内部空間に配置されて基板Ｐを搬送する互いに平行な複数の基板搬送機構６と、前記各加熱ゾーンＺにそれぞれ設けられた加熱ガス供給機構２とを設け、前記加熱ガス供給機構２を、前記各基板搬送機構６による基板通過領域ＡＲにそれぞれ対応して設けられた加熱ガス吹出口２ａを具備したものにした。そして、各加熱ガス吹出口２ａから、基板通過領域ＡＲ毎に異なる温度の加熱ガスを吹き付け可能であるとともに、いずれかの基板通過領域ＡＲに選択的に加熱ガスを吹き付け可能に構成した。 （もっと読む）

【課題】熱損失が少なく、しかも安定した焼成温度が得られる循環式の基板焼成炉を提供する。
【解決手段】炉体本体部１０の内部に熱風を吹き出すことによりガラス基板Ｗの焼成処理が進行する。炉体本体部１０から排出された熱風は循環ファン４０によって循環経路２０内を循環され、有機物を分解する触媒フィルタ部７０から分解生成物を吸着する吸着塔３０を経てメインヒータ５２にて再加熱される。炉体本体部１０から排出された熱風がそのまま触媒フィルタ部７０に流入して熱風中に含まれる有機物が分解されため、触媒を加熱するための別途のヒータが不要となり、熱損失を少なくすることができる。また、炉体本体部１０の内部の焼成温度はメインヒータ５２のみの制御によって調整することができるため、温度制御が容易となり、安定した焼成温度を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】一時的に基板が供給されない場合において、その間の消費電力量やガス消費量を大幅に低減させることが可能であるとともに、稼働状態に迅速に復帰できるリフロー装置を提供する。
【解決手段】休止モードにおいて、加熱ガス循環機構２によるガス循環速度を低下させるとともに冷却ガス循環機構３の動作を停止させる一方、前記搬送機構１１の動作を停止させ、かつ、前記基板搬出口及び基板搬入口にそれぞれ設置されたシャッタ５を閉塞する。 （もっと読む）

【課題】ガラスハーメチックを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉のマッフル内に水分が侵入することを阻止するようにしたハーメチックシール用連続式熱処理炉を提供する。
【解決手段】一体形状のマッフル２を外部から加熱する加熱部３と冷却する冷却部４及びマッフル２内を通って加熱部３から冷却部４へと所定速度で移動して被焼成体１０を搬送する搬送手段５を有し、被焼成体１０のガラスハーメチックシールを行うハーメチックシール用連続式熱処理炉１において、マッフル２の少なくとも入口側２ａにマッフル２内への水分の侵入を阻止する手段７を設けた。 （もっと読む）

【課題】基板等の被加熱物を熱風によって熱処理する熱処理装置を改良するものであり、開閉扉の開閉に伴う加熱室内の温度変動を抑制することができる熱処理装置の開発を課題とする。
【解決手段】熱処理室には排気ダクト３０が設けられており、当該排気ダクト３０の中途に送風機８が設けられており、基板を加熱する際に生じるガスを外部に排気するために、送風機８が常時運転されており、熱処理装置１内部の圧力が負圧傾向となるが、通気装置６１を設けることで熱処理装置１の内外における圧力差が殆どない状態にすることができる。即ち熱処理装置１では、内部の圧力を検知する圧力センサーを有し、当該圧力センサーの信号をアクチュエータ７３にフィードバックし、シート６６を上方向に移動させて通気装置６１の有効開度を調節し通気量を調整する。 （もっと読む）

【課題】金属溶解炉の湯溜部の上方の空間が溶湯流路の空間部に連通する構造の金属溶解炉にカバーガスを供給する際、金属溶解炉内のカバーガスが溶湯流路の空間部に流入しても、溶湯流路内を流れる溶湯表面に厚い保護被膜が形成されることがなく、溶湯流路が閉塞しないようにする。
【解決手段】金属を溶解し、その溶湯Ｍを貯える炉本体１と、この炉本体から溶湯を外部に汲み出す流出管６と、炉本体にカバーガスを導入する第１導入管３と、流出管にカバーガスを導入する第２導入管７を備え、炉本体の上部空間が流出管に連通している金属溶解炉を用い、カバーガスとして、少なくとも炭酸ガスを含むガスを用い、第１導入管に供給するカバーガスの炭酸ガス濃度を、第２導入管に供給するカバーガスの炭酸ガス濃度よりも高くする。 （もっと読む）

【課題】目標圧力及び目標温度を設定するだけで，高圧容器内へのガスの供給を適切な時点で自動停止させることのできる熱間等方圧加圧装置を提供すること。
【解決手段】本発明に係る熱間等方圧加圧装置は，加圧手段によるガスの供給を停止した後（Ｓ８），加熱手段による加熱によって高圧容器の加熱領域の温度が予め設定された目標温度に到達したときに（Ｓ９〜Ｓ１２），高圧容器内が予め設定された目標圧力となるように，加圧手段によるガスの供給を停止させるときの圧力及び温度に関する条件を目標圧力及び目標温度に基づいて予め設定する（Ｓ４）。そして，少なくとも加圧手段によるガスの供給を開始させた後（Ｓ５），検出圧力及び検出温度が，ステップＳ４で設定された停止条件を充足したことを条件に（Ｓ７のＹｅｓ側），加圧手段によるガスの供給を自動停止させる（Ｓ８）。 （もっと読む）

【課題】冷間加工後に管表面の付着物を簡易に除去することができ、熱処理能率を低下させることなく、コスト低減を図ることができる雰囲気ガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】炉内に雰囲気ガスを導入し、炉入口から管を軸方向に沿って装入して熱処理を施した管を炉出口から搬出する連続式熱処理炉の操炉方法であって、前記炉の入側および出側にその全面を覆うように吊着されたシールカーテンを設け、装入される前記管の先端から後端までの全長が前記炉の入側に設けられたシールカーテンを通過する際に、下記（１）式で求まる管内を流れるガス流速Ｖが、前記管の送管速度Ｕよりも大きくなる条件で前記雰囲気ガスを投入する連続式熱処理炉の雰囲気ガス流量制御方法、並びにこれを用いる連続式熱処理炉および熱処理された管である。
Ｖ＝ΔＰ×ｒ²／（８×μ×Ｌ） ・・・ （１） （もっと読む）

【課題】最終段の冷却ゾーンの内壁に付着するフラックス量を大幅に低減させ、回路基板へのフラックス滴下等による不具合発生を抑制するとともに、メンテナンス性の極めて高いリフロー装置を提供する。
【解決手段】冷却ゾーンＺ（６）及びその１つ手前のゾーンＺ（５）において、ガス吹出口２ａの左右（基板搬送方向と直交する方向に隣接する領域）にガス吸込口２ｂを設け、ガスの循環速度を、冷却ゾーンＺ（６）よりも、その１つ手前のゾーンＺ（５）の方が速くなるように構成し、冷却ゾーンＺ（６）において、基板Ｐの無い状態で上下からのガスが、基板通過領域ＡＲよりも下方でぶつかるように構成した。 （もっと読む）