【課題】スライダとインデックススケールとの間のギャップをより正確に検出できるリニアエンコーダを提供する。
【解決手段】リニアエンコーダは、発光素子１２と、スケール１０と、スケール１０に対して相対変位するインデックススケール１３ａと、スケール１０およびインデックススケール１３ａを透過した光を電気信号に変換する受光素子１４ａと、を備えている。スケール１０には、互いに異なるピッチの主格子目盛１６および補助格子目盛１７が設けられている。リニアエンコーダのギャップ検出部は、補助格子目盛１７から得られる信号振幅に基づいて、主格子目盛１６から得られる信号振幅に対する温度の影響量を取得し、この温度の影響量を除去した信号振幅に基づいてスケール１０とインデックススケール１３ａとの間のギャップ量を求める。 （もっと読む）

【課題】安価に光学系の歪みをキャンセルしてスケールの位置情報の検出精度を向上させる。
【解決手段】光電式エンコーダは、発光素子１１と、スケール１２と、レンズ１３と、ＰＤＡ１４と、信号処理演算回路２０とを備える。信号処理演算回路２０は、歪みテーブル２１と、歪み補償回路２２と、信号解析回路２３とを備える。歪みテーブル２１は、例えば予めレンズ１３等の光学系の設計値から歪みシミュレーションによって得られた歪み情報Δｅ_ｉに基づき算出されている。歪み補償回路２２は、歪みテーブル２１を参照すると共に、ＰＤＡ１４の各ＰＤ４１の位置情報に基づいて、各ＰＤ４１の位置ｘ_ｉを仮想的にｘ_ｉ−Δｅ_ｉの位置に配置変更して光学系の歪みを除去し、ＰＤＡ１４からの明暗信号を補正する。位置解析回路２３は、この補正された明暗信号に基づいて、スケール１２の位置を解析する。 （もっと読む）

【課題】容易且つ安価に構成でき、高精度な目盛の測定誤差の校正を可能とする。
【解決手段】光電式エンコーダ１００は、スケール１０、検出ユニット２０、演算部３０を有する。検出ユニット２０は、少なくとも３つの検出部２１〜２３を有する。各検出部は、第１検出部２１及び第２検出部２２間の測定点の間隔が、物理的に配置可能な最小間隔ｄとなるように配置され、第２検出部２２及び第３検出部２３間の測定点の間隔が、最小間隔ｄよりも大きな間隔となるように配置される。第１検出部２１の測定点の出力を１ステップ前の他の検出部の測定点に合わせるように制御しつつ検出ユニット２０をステップさせてサンプリングを行う。各検出部の測定点の間隔がすべてｄ以上となるにもかかわらず、ｄ以下のサンプリング間隔で測定誤差を算出し、自律校正曲線を得てスケールの位置情報を補正することができる。 （もっと読む）

【課題】エンコーダにおいて、三角関数演算の回数を削減する。
【解決手段】エンコーダは、周期パターン１１が設けられたスケール１０と、スケールとの相対移動が可能であり、周期パターンを読み取って、それぞれ周期パターンに応じた変化周期を有し、かつ互いに位相が異なる複数のアナログ信号を出力するセンサ２０と、該センサから出力された複数のアナログ信号を時分割でアナログ−デジタル変換して複数のデジタル信号を生成するＡ／Ｄ変換部３０と、複数のデジタル信号から位相を検出する位相検出部６０と、スケールとセンサとの相対移動速度と位相検出部により検出された位相とを用いて補正値を算出し、該補正値と位相検出部により検出された位相とから補正位相を算出する補正部７０と、該補正位相を用いて、スケールとセンサとの相対移動方向での位置を求める位置検出部８０とを有する。 （もっと読む）

【課題】製造を容易にしつつ小型化することが可能な、光全周エンコーダ及びモータシステムを提供すること。
【解決手段】回転軸ＡＸ上に位置する発光部１１１が一面側に配置された基板１１０と、基板１１０の他面側において回転軸ＡＸ周りに回転可能に配置され、回転軸ＡＸを中心とし複数の回転スリットＳ２，Ｓ３を有する２つの回転トラックＴ２，Ｔ３を有するディスク１４０と、発光部１１１から照射された光を、ディスク１４０の外周方向のほぼ全域に向けて放射状に導き、回転トラックＴ２，Ｔ３に導く導光部１２０とを有し、導光部１２０は、回転トラックＴ２に間接的に対向する略リング状の照射入光面１２６を有し、該面１２６から回転トラックＴ２に向けて出射するために光を放射状に導くインクレ用第１導光部１２３等と、放射状に導いた光の一部を回転トラックＴ３に導くアブソ用第２導光部１２９３と、を有する。 （もっと読む）

【課題】雰囲気温湿度が変化するような場合でも、高精度の位置測定を行うことができる位置測定装置を提供する。
【解決手段】コリメートレンズ２を透過した光のうち、ビームスプリッタ３で反射された光は、集光レンズ８により、ＣＣＤ９の受光面に集光される。光源１が振動して光ビームの位置が変われば、ＣＣＤ９に入射する光ビームの位置が変化するので、ＣＣＤ９の出力変動から、光ビームの振動中心を知ることができる。制御装置１０は、この振動中心を検出し、振動中心が予め定められた位置となるように、光源１を加振しているピエゾ素子１１に印加する電圧を制御する。 （もっと読む）

【課題】符号板の回転数が高くなった場合でも適切に誤動作を検出することができるエンコーダ及びエンコーダのパターン検出方法を提供すること。
【解決手段】パターンを有し、回転軸を中心として回転する回転部と、パターンを検出する第一パターン検出部と、当該第一パターン検出部とは別にパターンを検出する第二パターン検出部と、第一パターン検出部又は第二パターン検出部における検出異常の有無を検出する制御部とを備える。 （もっと読む）

【課題】基準位置を高精度に検出する。
【解決手段】エンコーダ装置は、基準位置を示す基準位置パターンと位置情報パターンとを有するスケールと、スケールに光を照射する光源と、光を変調させる変調信号を生成する変調部と、変調信号に基づいて変調された変調光によって位置情報パターンを検出した位置情報信号に基づいて、スケールの位置情報を検出する位置情報検出部と、変調光によって基準位置パターンを検出した検出信号を出力する基準位置受光部と、検出信号に基づいて、基準位置を検出する基準位置検出部と、を備え、基準位置検出部は、光を変調することによって生じる基準位置の変位を補正する補正部を備える。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、光学式エンコーダの原点信号検出を行うこと。
【解決手段】光源1と、配列方向に相対移動が可能なインクリメンタル信号生成用パターン5を有するメインスケール4と、光源1で照明されたメインスケール4を透過、または、反射した光束を受光し、インデックススケールを兼ねる複数のフォトダイオードから成る第1のフォトダイオードアレイと、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される第2のフォトダイオードアレイを有するインクリメンタル信号検出部2と、第2のフォトダイオードアレイからの出力信号を処理するインクリメンタル信号処理部3を有し、メインスケール4が、複数のインクリメンタル信号生成用パターン5と同一ピッチの原点信号生成用パターン9を有し、複数の第1のフォトダイオードアレイから構成される原点信号検出部10からの出力信号を処理する原点信号処理部11を有する。 （もっと読む）

【課題】大型化し、検出精度等にも不都合が生じる磁気センサの使用をなくし、小型かつ安価なコストで、また５μｍ以下の分解能で１０ｍｍ以上の長距離検出を可能にする。
【解決手段】反射面ｓａと非反射面ｓｂを移動物の移動方向に交互に並べた反射板１２を設け、反射型フォトセンサ９の受光素子８には、移動物の移動方向でそれぞれ異なる受光領域を持つ複数の受光部８ａ，８ｂを設け、この２つの受光部８ａ，８ｂから位相差の異なる信号を出力し、これら２つの信号に対し例えばリニア値演算を施すことにより、反射板１２及び移動物の位置を検出する。また、３分割受光部から３つの信号の出力することで中点電位をも算出し、この中点電位を基準にしたリニア値演算を行ってもよい。上記受光部では、その受光領域の一部を遮光し、検出出力の直線性を向上させることができる。 （もっと読む）