【課題】必要以上に波長分割をすることなく必要最小限の受光素子で十分なＳ／Ｎを持った分光を行うことができる分光器及び顕微分光システムを提供する。
【解決手段】顕微分光システム１に用いられる分光器４０は、コリメート光学系４１と、分光素子４２と、集光光学系４３と、複数の反射鏡が、少なくとも分光素子４２による分光方向に１次元に配列され、少なくとも所定の１次元方向に回転可能な空間光変調素子４４と、空間光変調素子４４で反射された分光光を受光する投影光学系４５と、複数の受光素子４６ａが、少なくとも投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に配列された受光器４６と、を有し、受光器４６の配置位置は、投影光学系４５の光軸と略直交する面内における空間光変調素子４４の回転可能な１次元方向に関して投影光学系４５の後側焦点位置である。 （もっと読む）

【課題】単純な構成で、被測定物からの光を拡散させることなく、被測定物から射出される光の位置および方位のムラを均一化して、被測定物の所定の領域の特性を測定する。
【解決手段】被測定物の所定の領域からの発散光束をコレクタレンズ５２により略平行光束とし、コレクタレンズの出射側の焦点位置近傍に配置された第１のフライアイレンズ５３により空間的に分割し、分割された光束を互いにコンデンサレンズ５４により重畳させて、受光部５６により所望の特性に関する信号を検出する。受光部５６は、特性に関する異なる成分特性を検出する複数の受光素子を含む。 （もっと読む）

【課題】高価な分光器を必要とせずに、特徴量を高精度に推定可能とする。
【解決手段】被検体の特定成分に関する特徴量を推定する特徴量推定装置は、波長帯域の相違する複数のバンド画像を分光スペクトルに変換するための分光推定パラメーターを保存する分光推定パラメーター保存部３６と、分光スペクトルを前記特徴量に変換するための検量処理パラメーターを保存する検量処理パラメーター保存部３８とを備える。さらに、特定成分に応じた所定の波長帯域を含む複数の波長帯域で前記被検体を撮影して得られるマルチバンド画像を取得するマルチバンド画像取得部と、前記分光推定パラメーターを用いて、マルチバンド画像から分光スペクトルを演算する分光推定部１６と、検量処理パラメーターを用いて、前記分光スペクトルから前記特徴量を演算する検量処理部１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】光の損失を抑制する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列されたダイクロイックミラーアレイ２１と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎと略平行に対面する反射部材２３と、を有する分光部５と、ダイクロイックミラーアレイ２１からの透過光を光電変換する光電面７と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍと、チャンネルＣ_ｍの各々に対応して設けられた複数のアノード１４とを有する光電子増倍管２と、を備え、分光部５は、ダイクロイックミラーアレイ２１と反射部材２３との間に透光性材料からなる透光ブロック２０を更に有し、透光ブロック２０の反射面２０ｃに反射部材２３が設けられ、反射面２０ｃと対向する分光面２０ｂにダイクロイックミラーアレイ２１が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】少ないバンド数のマルチバンド画像からでも、高精度に分光反射率のスペクトルを推定することを可能とする。
【解決手段】複数の色票の分光分布を分光計測器により計測し（Ｓ１００）、マルチバンドカメラのバンド指示用データに初期値を設定し（Ｓ１２０）、バンド指示用データにより定まったときのカメラの分光感度と各色票からの光の分光特性とに基づいてカメラ出力信号を算出し（Ｓ１３０）、色票毎の分光分布とカメラ出力信号とから分光推定パラメーターの候補値を算出し（Ｓ１４０）、色票毎の分光分布と、分光推定パラメーターの候補値およびカメラ出力信号から算出される分光推定値との間で定義される評価関数が目標値に近づくようにバンド指示用データを初期値から順次変化させ（Ｓ１７０）、目標値に達したときの分光推定パラメーターを求め（Ｓ１６０）記憶する（Ｓ１８０）。 （もっと読む）

【課題】分光装置における光学部材の位置調整を容易化する。
【解決手段】本発明に係る分光装置１は、互いに異なる波長帯域特性を有する複数のダイクロイックミラーＤＭ_ｎが配列された分光部５と、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎの各々に対向して設けられた複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋを有する波長選択部２５と、光電面７、複数のバンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの各々に対応して設けられた複数のチャンネルＣ_ｍ及び複数のアノード１４を有する光電子増倍管２と、波長選択部２５を筐体内で保持する保持部５０とを備え、保持部５０は、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋが一方向に配列された本体部５１と、本体部５１から互いに対向するように突出する一対の壁部５２，５２と、を含み、ダイクロイックミラーＤＭ_ｎは、バンドパスフィルタＢＰＦ_ｋの配列方向に沿って一対の壁部５２，５２の間に配列されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】反射率の低い被計測物であっても輪郭を正確に計測することができる３次元計測装置を提供する。
【解決手段】
所定の波長領域を有する光を照射し被測定物で反射した反射光と基準反射光との干渉光の各波長の光強度を検出して分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行する制御手段を具備する３次元計測装置であって、被計測面が対物レンズの集光点位置と一致するように予め波形解析後の光強度のピーク位置と共焦点位置の対応をとっておき、制御手段はイメージセンサーからの検出信号に基づいて分光干渉波形を求め、分光干渉波形と理論上の波形関数に基づいて波形解析を実行し、対物レンズの集光点位置に対応する光強度を位置付け手段によって特定されたX、Y座標におけるZ座標の光強度としてメモリに保存し、該メモリに保存されたX、Y、Z座標に基づいて３次元画像を形成する。 （もっと読む）

【課題】マルチバンド分光方法を利用し、高い精度の計測結果を安定して得ることができる分光計測装置を提供する。
【解決手段】 分光計測装置は、光源ユニット、マイクロレンズアレイ、開口部材、結像光学系、回折素子、及び受光器などを有している。受光器は、回折素子からの＋１次回折光を受光する位置に配置された第１ラインセンサ１６＿１、及び回折素子からの０次光を受光する位置に配置された第２ラインセンサ１６＿２を有している。処理装置は、第２ラインセンサ１６＿２の出力信号に基づいて、Ｘ軸方向に関する第１ラインセンサ１６＿１の基準位置からの位置ずれ量を求める。さらに、処理装置は、変換行列テーブルを参照し、該位置ずれ量に応じて選択あるいは補間された変換行列を用いて、反射光波長スペクトルを推定演算する。 （もっと読む）

【課題】波長分解能を上げ、測定可能な被検体の範囲を広げた測定装置とプラズマ処理装置の提供。
【解決手段】厚さＤのウエハＷの表面を反射した光とウエハＷの裏面を反射した光とを入射光として分光する回折格子１０４と、回折格子１０４により分光された光を受光し、受光した光のパワーを検出するフォトダイオードをアレイ状に複数設けたフォトダイオードアレイ１０８と、フォトダイオードアレイ１０８に取り付けられ、入力された電圧を力に変換する圧電素子２００と、を備え、フォトダイオードアレイ１０８は、圧電素子２００により変換された力によって前記アレイ方向の各フォトダイオードの幅ｄに対してｄ／ｍ（ｍは２以上の整数）の変位まで移動したとき、前記受光した光のパワーを検出する、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 信頼性を維持しつつ小型化を図ることができる分光器を提供する。
【解決手段】 分光器１は、導光部７が設けられたキャップ４と、ステム５と、を有するパッケージ２と、パッケージ２内においてステム５に支持された支持部材２９と、支持部材２９に支持された基板１１と、基板１１に搭載された光検出素子１２と、基板１１とステム５との間に配置され、導光部７から入射した光を分光すると共に光検出素子１２に反射する分光部１３と、を備える。 （もっと読む）