【課題】測定装置において、反射測定による測光に加え、少なくとも透過測定を含む他の測光を、迅速かつ高精度に行うことができるようにする。
【解決手段】基準光軸Ｏ_０に沿ってピンホール１５ｂから入射する光束を測光する分光器１５を有し、被測定試料Ｗからの光束を集光して測光を行う分光測定装置１であって、保持台部６ａと、チルトステージ６Ａおよびシフトステージ６Ｂと、集光光学系１３と、平行光束の測定光束を発生する光源ユニット１１、３と、対物光学系１７と、透過測定用偏向部５と、集光光学系１３を透過してピンホール１５ｂに向かう光束の光軸の基準光軸Ｏ_０に対するずれを観察する観察部１６と、を備え、測定光束に応じてチルトステージ６Ａおよびシフトステージ６Ｂまたは透過測定用偏向部５のチルトステージおよびシフトステージにより光軸を調整する構成とする。 （もっと読む）

【課題】被測定光の分光特性をより短時間かつ高精度に測定可能な分光特性測定方法および分光特性測定装置を提供する。
【解決手段】分光特性測定方法は、第１の波長範囲に検出感度を有する分光測定器に対して、その波長範囲が第１の波長範囲の一部である第２の波長範囲となっている光を入射させるステップと、分光測定器で検出された第１のスペクトルのうち第２の波長範囲以外の範囲に対応する部分から迷光成分を示す特性情報を取得するステップと、特性情報を第１の波長範囲のうち第２の波長範囲まで外挿処理することで、分光測定器に生じる迷光成分を示すパターンを取得するステップとを含む。 （もっと読む）

【課題】高波長分解能と高速測定とが両立可能な光強度スペクトル測定方法および装置を提供する。
【解決手段】入力光を波長成分ごとに空間分解し波長成分ごとに空間分解された分解光を生成する波長成分分解素子（１００３）と、分解光を複数の分岐光に分岐するハーフミラー（１００４）と、複数の分岐光をそれぞれ別個に受光する複数のスリット付き受光素子アレイ（１００７，１００５；１００８，１００６）と、複数のスリット付き受光素子アレイでそれぞれ検出された波長成分ごとの光強度信号から前記入力光の光強度スペクトル情報を生成する光強度スペクトル構成部（１００９）と、を有し、複数のスリット付き受光素子アレイの各々は、受光する分岐光の波長成分変化方向と受光素子のアレイ方向とが一致し、前記アレイ方向において各受光素子の受光面に対する当該受光面より狭いスリット透光部の位置がスリット付き受光素子アレイごとに異なる。 （もっと読む）

【課題】撮像カメラや撮像素子などの撮像手段に十分な光量を渡してＳ／Ｎ比の劣化を抑止することができるスペクトル測定装置を提供する。
【解決手段】スペクトル測定装置１は、フーリエ変換素子としての液晶デバイス２、液晶デバイス２への印加電圧を制御する電圧制御器５および、液晶デバイス２を通過した測定対象物７の透過率波形を撮像する撮像装置３を備える。計算機４は、液晶デバイス２を通過した透過率波形に含まれる波数が非整数倍の関係となるように液晶デバイス２への印加電圧を制御しつつ撮像された画像データを記憶し、当該波数の異なる複数の画像データに基づく連立方程式を解くことにより各画素について測定区間における整数倍周波数のフーリエ成分を算出し、算出され各画素における整数倍周波数フーリエ成分を逆フーリエ変換することにより各画素ごとの分光スペクトルを算出する。 （もっと読む）

【課題】分光された光のスペクトルを検出して分光測定を行うときに、測定時間を短縮化することを目的とする。
【解決手段】本発明の分光測定装置は、ＬＥＤ１１からの光を分光した光を波長ごとに受光する複数の受光素子を有する光センサ１６と、光センサ１６の各受光素子についてのスペクトルデータを順番に生成するＡＤ変換部２１および補正部２２と、補正部２２が全ての前記受光領域のスペクトルデータを生成するよりも前に、既に生成されたスペクトルデータを用いて演算処理を開始する演算部２４と、を備えている。これにより、スペクトルデータの生成動作と演算動作とをオーバラップさせることができ、分光測定の時間を短縮化できる。 （もっと読む）

【課題】高さが異なる面を有する微小な構造体を製造する。
【解決手段】基板の上方に感光性材料層を形成する工程（ｂ）と、感光性材料層の上方にマスクを配置する工程（ｃ）と、感光性材料層のうち、第１の領域以外の部分をマスクによって遮光しながら、第１の領域を露光する工程（ｄ）と、マスクを感光性材料層の面に沿って移動する工程（ｅ）と、感光性材料層のうち、第１の領域の一部である第２領域と、第２領域に接し、工程（ｄ）で遮光された領域の一部である第３の領域以外の部分をマスクによって遮光しながら、第２の領域と第３領域を露光する工程（ｆ）と、感光性材料層を現像することにより、マスクの移動方向に沿って高さが異なる面を感光性材料層に形成する工程（ｇ）と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】対象物からの反射光の波長スペクトルを計測タイミングに応じて適切に計測することができる分光計測装置を提供する。
【解決手段】 第１結像光学系１２は、互いにレンズピッチが異なる３つのマイクロレンズアレイを含み、開口系１３は、互いに開口ピッチが異なる３つの開口部材を含み、分光系１５は、互いに格子ピッチが異なる３つの回折素子を含んでいる。駆動装置１２３によって、任意の１つのマイクロレンズアレイを反射光の光路上に配置させることができ、駆動装置１３３によって、任意の１つの開口部材を反射光の光路上に配置させることができ、駆動装置１５３によって、任意の１つの回折素子を反射光の光路上に配置させることができる。 （もっと読む）

【課題】フォトダイオードの配列集積度が比較的高くないフォトダイオードアレイや欠陥フォトダイオードが存在するフォトダイオードアレイであっても、所定の測定波長範囲で高い波長分解能が得られる分光装置を提供すること。
【解決手段】被測定光を波長分散素子で波長ごとに分散させ、任意の波長幅に存在する光信号の強度をフォトダイオードアレイで測定する分光装置において、
前記分散光の集光位置に両端が回転可能に支持されるとともに列方向に沿って配列された複数のミラーよりなるミラーアレイが配置され、前記フォトダイオードアレイには、前記ミラーアレイで反射された光信号が入射されることを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】空間的に小さな体積で済み、一体型で、振動にも強く、大きな電圧を必要とせず、持ち運びができる小型の分光器を提供する。
【解決手段】リニアセンサ１は、赤外線に感度のある複数の画素を所定のピッチで直線状に並べた構成の赤外線センサである。ファブリペロ干渉計２は、２枚の鏡が離間対向するように互いの両端が固定されており、リニアセンサ１を構成する複数の画素の配列方向と平行な方向に対して共振波長が変化する特性を有する。光線平行化装置３は、近赤外光を吸収する所定の厚みのシートにリニアセンサ１を構成する複数の画素の画素ピッチと同じ直径の孔が多数開けられた構成である。光学フィルタ４は、余計な波長の光がファブリペロ干渉計２に入射しないようにする。分光器１０は、人間の指などの被測定対象物７に光源６からの光を透過させることで、様々な情報を非侵襲で得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 信頼性の高い分光モジュールを提供する。
【解決手段】 分光モジュール１は、光Ｌ１，Ｌ２を透過させる本体部２と、本体部２の前面２ａから本体部２に入射した光Ｌ１を分光して前面２ａ側に反射する分光部３と、分光部３によって分光されて反射された光Ｌ２を検出する光検出部４１を有し、本体部２の前面２ａ上に支持された光検出素子４と、を備えている。光検出素子４は、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する光通過孔４２を有している。前面２ａには、分光部３に進行する光Ｌ１が通過する第１の光通過開口６ａ、及び光検出部４１に進行する光Ｌ２が通過する第２の光通過開口６ｂを有する光吸収層６が形成されている。光通過孔４２は、第１の光通過開口６ａと対向しており、光検出部４１は、第２の光通過開口６ｂと対向している。 （もっと読む）