【課題】従来に比べて小型で取り扱い易さに優れた温度測定装置を提供する。
【解決手段】温度測定装置１は、被測定対象物表面から放射される赤外線を受光して伝送する光ファイバと、互いに異なる分光感度特性を有し、赤外線を受光してそのエネルギー及び分光感度特性に応じた電気信号を生成する第１及び第２の光電変換素子１３，１４と、生成電気信号を基に被測定対象物の温度を算出する温度算出部と、吸熱電極２１ａと放熱電極２１ｂとを有するペルチェ素子２１と、各光電変換素子１３，１４及びペルチェ素子２１を収納，保持する収納容器３０とを備える。第１光電変換素子１３は、第２光電変換素子１４の上側に配設され、光ファイバにより伝送され収納容器３０の透過板３２を透過した赤外線を受光する。第２光電変換素子１４は、ペルチェ素子２１の吸熱電極２１ａ表面に配設され、第１光電変換素子１３を透過した赤外線を受光する。 （もっと読む）

【課題】 全てのサーモパイル素子の出力を飽和しないで取り込める為、測定可能温度範囲を広くでき、また、ゲインをさらに上げることができる温度分布測定装置を提供すること。
【解決手段】 赤外線を分布状に検出する複数のサーモパイル素子１２１と、検出範囲から集光するレンズ１１と、検出信号の増幅を行う第１増幅部１４、差動増幅部１７と、を備える温度分布測定装置において、第１増幅部１４は、検出信号とレンズの口径触又はコサイン四乗則による中心と周辺部の出力の相違を補正するDA変換信号出力部２３のDA変換信号を加算した。 （もっと読む）

【課題】各加熱エリア毎に加熱温度を個別に制御することができて、全エリア均一加熱を含めた様々な温度制御を実現できるとともに、装置コストを低く抑えながら、加熱ムラ等を生じにくくできるようにされた食品連続加熱機を提供する。
【解決手段】 各誘導加熱コイル３０、３０、…は、その長辺が回転ドラム２０の被加熱面（外周面）の進行方向Ｐに対して傾斜せしめられるとともに、各誘導加熱コイル３０、３０、…が、進行方向Ｐに直交する方向に所定の離隔距離Ｌを持って並設されてなる。隣り合う誘導加熱コイル同士３０−３０が、進行方向Ｐから見て部分的にオーバーラップするように、進行方向Ｐに対する誘導加熱コイル３０の傾斜角度θ及び誘導加熱コイル３０相互の離隔距離Ｌを設定する。 （もっと読む）

【課題】高温の被測定物体を必要とせず、実際の測温時前に測定視野の確認ができる走査型放射温度計を提供することを目的とする。
【解決手段】被測定物体からの放射光を走査する走査手段と、温度測定素子と、前記走査手段から送られる入射光を前記温度測定素子に導く集光手段と、可視光レーザを前記集光手段の光路に沿って前記走査手段側に照射するレーザ照射手段とを備えたことを特徴とする走査型放射温度計。 （もっと読む）

【課題】基板処理チャンバ中の基板の温度を、正確に測定するための、プローブの較正装置を提供する。
【解決手段】本発明に係るプローブ４０は、一方の端部が処理チャンバ中に挿入されている光導体４２を含む。光導体の他の端部は、二またの光ファイバ４６に結合されている。光源５４は、光ファイバの１つの支線に光学的に結合され、高温計５６は他の支線に光学的に結合されている。プローブを自己較正するために、安定した反射率の物体８０、たとえば金メッキされたウェハがチャンバ中に挿入され、光源が起動され、物体から反射した光の強度が高温計によって測定される。 （もっと読む）

【課題】容易に溶接部の温度を検出する温度計の良否を判定し、また容易に温度計の視野位置を確認できる放射温度計の光軸位置決め装置および方法を提供することにある。
【解決手段】放射温度計の視野面積よりも小さい発熱面積を有する発熱体２０と、発熱体２０を所定の位置に移動させ、かつその位置を計測できる発熱体移動機構部２１とを備え、放射温度計による発熱体２０の温度計測と、発熱体移動機構部２１による発熱体２０の位置計測により、前記放射温度計の光軸を定量的に確認およびまたは調整する。 （もっと読む）

【課題】 検出感度を向上させることができる赤外線検出器を提供すること。
【解決手段】 赤外線検出器２００は、赤外線センサ素子１００が、台座３１０とキャップ３２０からなるケース３００内に配置されて構成される。赤外線センサ素子１００は、基板１０と、検出部２０と、赤外線吸収膜３０、赤外線反射膜４０とを備える。基板１０は、空洞部１１を備え、この空洞部１１上を含む基板１０の上面には、メンブレン１３としての絶縁膜１２が形成されている。検出部２０は、熱容量の小さいメンブレン１３上に形成される温接点２０ｃ、メンブレン１３の外側における熱容量の大きい基板１０上に形成される冷接点２０ｄなどを備える。そして、赤外線吸収膜３０は、検出部２０の少なくとも温接点２０ｃを含む一部を被覆するようにメンブレン１３上に形成されている。さらに、赤外線反射膜４０は、赤外線吸収膜３０以外の領域に形成されている。 （もっと読む）

【課題】従来と比べて簡単な構成，制御，信号処理により室内の温度分布及び人体の存在や挙動の検出を行う温度分布検出装置を提供すること。
【解決手段】直線軸８に沿って、二次元に配置されたサーモパイルアレイ熱検出素子群で構成された赤外線センサ１と、前記サーモパイルアレイ熱検出素子群と一体となった赤外線透過レンズ２と、サーモパイルアレイ熱検出素子群の各信号を選択・増幅し信号処理する信号処理部３と、前記直線軸８に平行あるいは一定の角度だけ傾斜させた回転軸１５とを有し、前記回転軸１５を中心として前記サーモパイルアレイ熱検出素子群及び信号処理部３を回転駆動させる機構と駆動源から成る水平回転駆動部４を用いて構成する。 （もっと読む）

【課題】 温度センサーが燃焼ガスから直接影響を受けず、故障しにくいとともに、過昇温度になりにくく、信頼性の高い鍋底温度検出装置を提供する。
【解決手段】 下方から照射されるガス炎によって熱せられる鍋底に当接可能な集熱板２９と、上方開口縁部を前記鍋底に当接して前記集熱板２９を包囲するとともに、前記集熱板２９の下面から放射される赤外線が通過する空間を前記ガス炎から仕切る上方，下方防熱筒２６，２２と、前記上方，下方防熱筒２６，２２の下方側に位置し、前記上方，下方防熱筒２６，２２を通過した赤外線を受光して温度を検出する非接触温度センサー３０と、からなる。 （もっと読む）

【目的】 使用環境による影響に左右されず、優れた長期安定性を有する標準放射温度計を提供する。
【構成】 測定対象からの光は、対物レンズ６に集光され、絞りアパチャミラー８上に結像する。絞りアパチャミラー８には、視野を限定する小さな穴８ａが開口しており、この穴８ａを通過した光のみがコンデンサレンズ９及び干渉フィルタ１０を通過し、シリコン検出素子１１に導かれる。干渉フィルタ１０は、ＴｉＯ₂ とＳｉＯ₂ の多層膜からなり、アモルファスで、且つ、緻密な構造であり、使用環境での水分の侵入による吸湿を低減し、分光透過特性が長波長側へシフトしにくくする。 （もっと読む）