【課題】面積効果を低減した高精度な放射温度計を提供する。
【解決手段】測定対象からの出射された赤外線を集光する対物レンズ６を有し、赤外線量から温度計測を行う放射温度計１において、対物レンズ１は接合型のダブレットレンズ６Ａと単レンズ６Ｂの計３枚のレンズで構成され、ダブレットレンズ６Ａと単レンズ６Ｂの間隔（ｄｍｍ）と対物レンズ６の光学系焦点距離（ｆｍｍ）とで以下の２つの関係式がともに成り立つことを特徴とする。
８０ｍｍ≦ｆ≦１００ｍｍ （関係式１）
０．７≦ｄ／ｆ≦０．７５ （関係式２） （もっと読む）

【課題】エジェクタピンと中間材７と光ファイバー５からなる温度センサ用導光体において測温時に光ファイバーにクラックが生じないようにする。
【解決手段】エジェクタピン１の貫通孔２の先端側には金属管７が挿入されて耐熱接着材で固定され、金属管の貫通孔には光ファイバーの先端側が挿入されて特殊耐熱接着材で固定される。光ファイバーの後端側は光センサ１１に接続される。特殊耐熱接着材はシリコーンボールとシリコーンレジン溶液を含む。レジンと耐熱接着剤が球状粒子間を埋めている接着部分において、耐熱接着剤が多い部分は球状粒子を固着したグループを形成し、レジンが多い部分は弾性的に接着されているため、加熱時の熱膨張の違いによって光ファイバーにクラックが生じることはない。 （もっと読む）

【課題】赤外線検出素子を大きくすること無く感度の低下を防止できる赤外線センサおよび該赤外線センサの製造方法を提供することにある。
【解決手段】
赤外線センサ１００は、赤外線検出素子２を格子状に配置した素子基板１と、赤外線を集光する複数の赤外線集光部１５を有する封止基板４と、赤外線検出素子２を真空封止する空間１２を素子基板１と封止基板４との間に形成するために挿入された支柱基板３とからなり、赤外線検出素子２を、赤外線を熱に変換する受光部５０と、受光部５０の温度上昇を検出するサーモパイルを備えつつ、受光部５０を離間して支持する梁５１とから構成した。更に、赤外線集光部１５を、封止基板４のＶ字溝１１の凹部側面に形成された４面のマイクロミラー５で形成した。 （もっと読む）

【課題】
導光体付エジェクタピンを比較的単純な構造で実現し、小形化を図り、エジェクタピンの長さ調整を容易にする。
【解決手段】円筒状の中空軸部と、前記中空軸部に内接して耐熱性接着材で固着される管状スペーサと、前記管状スペーサに内接して耐熱性接着材で固着される光ファイバを有し、
前記光ファイバと、前記管状スペーサと前記中空軸部先端面が実質的に同一面を構成する導光体付エジェクタピンにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】光ファイバーによる溶融浴のパラメーターの測定を改善する。
【解決手段】本発明はカバーによって囲まれた光ファイバーの手段による溶融浴のパラメーターの測定方法に関する。本発明の光ファイバーは溶融浴中に浸漬され、溶融浴中の該光ファイバーによって吸収された放射線は検出器に供給され、前記光ファイバーは溶融浴中に浸漬されたときに加熱される。本発明の光ファイバーの加熱曲線は第１時間ｔ₀−Δｔから時間ｔまでの時間間隔Δｔに対する温度Ｔ₀までの光ファイバーの温度上昇ΔＴ₁がその後の時間ｔから第２時間ｔ₀＋Δｔまでの時間間隔Δｔに対する光ファイバーの温度上昇ΔＴ₂より小さい少なくとも１つの点Ｐ（ｔ₀,Ｔ₀）を有する。 （もっと読む）

【課題】対象分割領域の赤外線量検出を行うインライン型サーモパイルアレイチップを搭載したサーモパイルアレイセンサは、赤外線受光部となる微少面積の吸収膜と前記吸収膜上温接点とメンブラン周囲ヒートシンク上冷接点とを二種の物質で構成された熱電対により一定方向側に規定本数配列される為、前記吸収膜の赤外線検出量に伴う熱変換起電圧が微少であり、検出域の赤外線変化に追従する測定性能並びに微量な赤外線量検出精度が乏しいという欠点を有していた。
【解決手段】複数個の赤外線受光部を有する千鳥上２行配列されたサーモパイルアレイチップを形成し、四方向に熱電対本数を増設し赤外線検出時起電圧を増加させサーモパイル赤外線検出器として測定性能を向上させる構成を行う。また対象面に対して前記サーモパイルアレイ温度検出器を一軸方向へ走査駆動させる事により、測定対象全面の不感帯域を無くし赤外線検出精度の優れた温度計測機器を構築する。 （もっと読む）

【課題】 成膜装置内を移動するフィルム状基板の表面温度を非接触で高精度に測定できる放射温度計と表面温度測定方法、並びに放射温度計と温度制御機構を搭載した成膜装置及び成膜方法を提供する。
【解決手段】
放射温度計の光学部を輻射熱反射カバーで覆うことで加熱源からの輻射熱の影響を防ぐことができ、成膜装置内を連続して移動するフィルム状基板の表面温度を非接触で高精度に測定できる。また、光学部を輻射熱反射カバーで覆うと共に、光学部の受光用開口に迷光カットフィルタを設ければ、輻射熱の影響並びにプラズマ雰囲気からの迷光の影響を防ぎ、プラズマ雰囲気中においてもフィルム状基板の表面温度を更に高精度に測定できる。 （もっと読む）

【課題】 熱伝導や製作精度を厳密に考慮する必要がなく、全体を軽量、コンパクトかつ低コストに構成し得るものでありながら、鏡筒部の温度変化による影響を応答性よく補償し計測精度の著しい向上が実現できるようにする。
【解決手段】 ステム５及びキャン６からなるケース７内に複数個のサーモパイルセンサ８Ａ，８Ｂを設置し、そのうち中央サーモパイルセンサ８Ａの中心上に対応するキャン６部分に赤外線入射用開口９を形成しているとともに、他のサーモパイルセンサ８Ｂが鏡筒部１から放射される赤外線量を検出する位置に配置され、中央サーモパイルセンサ８Ａによる検出信号と周辺サーモパイルセンサ８Ｂによる検出信号とを演算して鏡筒部１の温度変化による計測誤差を補正するように構成している。
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【課題】感度及び測定精度が高くかつ安価な光ファイバセンサを提供する。
【解決手段】透光性樹脂からなり、互いに対向する第１の面と第２の面とを有する導光体と、第１の面に対向して配置され、入射された光の一部を反射する第１反射部材と、第２の面に対向して配置され、入射された光の一部又は全てを反射する第２反射部材とを備え、第１反射部材を介して入射される光を前記導光体中で多重干渉させて、第１の面と第２の面の間隔に対応する波長の光を、第１反射部材又は前記第２反射部材を介して出射することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って精度良く被測温材の表面温度を測定できる表面温度測定装置を提供する。
【解決手段】表面温度測定装置１００は、被測温材Ｍに対向配置された放射温度計１の受光部１２と、被測温材表面に向けてパージ水を噴射するパージノズル２と、受光部とパージノズルとの間であって、被測温材表面から放射され受光部で検出される熱放射光の光路が通る位置に配置された光学窓３とを備え、熱放射光をパージ水を介して受光部で検出することにより、被測温材の表面温度を測定する装置である。表面温度測定装置は、光学窓を洗浄する洗浄手段４と、洗浄手段による洗浄動作を制御する制御手段５とを備えることを特徴とする。 （もっと読む）