【課題】本発明の目的は、弾性材料前駆体にコイル状炭素繊維を混ぜた場合のように不溶状態において、コイル状炭素繊維の高次構造を損なうことなく均一な混合・分散を行い、かつ元々コイル状炭素繊維に包含されている気泡および混合時に発生する泡を効果的に除去する方法を提供することである。
【解決手段】容器内の弾性材料前駆体に、コイル状炭素繊維が１．０〜２０．０重量％の割合になるように添加し、前記容器を自転運動させるとともに公転運動させて、１５秒以内の時間混合し、０．１〜５０ｋＰａの減圧下で、さらに３０秒〜５分間混合して、得られる混合物を所望の鋳型に充填して固化することにより、弾性材料内にコイル状炭素繊維が固定されてなる複合材料の製造方法。 （もっと読む）

本発明は、導電性ナノ薄膜およびこれを利用した微細電気機械システムセンサーに関するものであり、より詳しくは、高分子電解質膜と炭素ナノチューブ層が積層して形成される導電性ナノ薄膜およびこれを利用した微細電気機械システムセンサーに関するものである。

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【課題】本発明の目的は、対象物に対して指向性が高く、かつ安定した状態でセンシングすることができると共に、近接と接触を一つのセンサでセンシングすることができる高指向性センサおよびその製造方法を提供することである。
【解決手段】マトリクス内に、コイル状炭素繊維が固定されているとともに、該コイル状炭素繊維の螺旋構造に基づくインダクタンス（Ｌ）成分並びにキャパシタンス（Ｃ）成分及びレジスタンス（Ｒ）成分を有しＬＣＲ共振回路として作用するセンサ素子と、前記マトリクスに電気的に接続されている一対の電極とを備え、前記コイル状炭素繊維は、コイル径が２０ｎｍ〜１００μｍであるとともにコイル長さが１０ｎｍ〜５０ｍｍであり、マトリクス全体の０．１〜５０．０重量％の割合で含有し、かつ配向して固定されていることを特徴とする高指向性センサ。 （もっと読む）

【課題】ＭＥＭＳトランスデューサの機械的な機能を阻害することなくＭＥＭＳトランスデューサの電極を保護することを目的とする。
【解決手段】導電性を有するダイヤフラムと、導電性を有するプレートと、前記ダイヤフラムと前記プレートとの間に空隙層を挟んで前記ダイヤフラムと前記プレートとを支持し、前記空隙層を囲む内壁を備える支持部と、前記支持部に形成されているコンタクトホールを覆う導電性の電極膜と、前記内壁より外側において前記支持部の上に形成され前記電極膜の側面を覆う保護膜と、を備え、前記ダイヤフラムと前記プレートとで形成される静電容量に対応する電気信号が前記電極膜を通じて出力される、ＭＥＭＳトランスデューサ。 （もっと読む）

【課題】 容量の変化を利用する圧力センサとしても外乱に強くする。
【解決手段】 円形の可動電極１１と円形のプリント基板１４の一面に形成された第１分割電極１５ａ〜第４分割電極１５ｄとの間に、スペーサとなる両面テープ１３を介在させてわずかなギャップで対向させる。スティック１００でパッド１０を叩いた際に、可動電極１１と第１分割電極１５ａ〜第４分割電極１５ｄとのギャップが変化して、その間の容量が変化して第１分割電極１５ａ〜第４分割電極１５ｄから信号が出力される。第１分割電極１５ａ〜第４分割電極１５ｄは、アースされた可動電極１１とアースされたシールド電極１６とに挟まれているため、外乱の影響を受けないようになる。 （もっと読む）

【課題】 容量変化を利用する圧力センサとしても圧力が印加された位置の検出を容易に行う。
【解決手段】 円形の可動電極１１と円形のプリント基板１４の一面に形成された第１分割電極１５ａ〜第４分割電極１５ｄとの間に、スペーサとなる両面テープ１３を介在させてわずかなギャップで対向させる。スティック１００でパッド１０を叩いた際に、可動電極１１と叩いた位置における第１分割電極１５ａ〜第４分割電極１５ｄとのギャップが変化して、その間の容量が変化して叩いた位置における第１分割電極１５ａ〜第４分割電極１５ｄから信号が出力される。第１分割電極１５ａ〜第４分割電極１５ｄから出力される信号の内の最大レベルの信号が出力された分割電極の位置情報が、可動電極１１における打撃位置の位置情報となる。 （もっと読む）

【課題】ガイド部材に摺接する摺接部材の摺動抵抗を測定する摺動抵抗測定方法及び測定装置において、前記摺動抵抗の発生状況を明確に把握可能とすると共に、ガイド部材及び摺動部材の最適な配置の検討を容易にする。
【解決手段】前後チャンネル５７，５９及び前後サッシュ４７，４８に沿ってウインドウレギュレータ４６により摺動するドアガラス４５の摺動抵抗を測定する方法において、前記前後チャンネル５７，５９及び前後サッシュ４７，４８に前記ドアガラス４５の摺動区間の全域に渡る触覚センサ１を配設し、該触覚センサ１により前記摺動抵抗を測定する。 （もっと読む）

【課題】加速度センサおよび圧力センサとして使用可能なＭＥＭＳセンサを備える、半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体装置１では、半導体基板２上に、４つの下薄膜６（下電極８）および１つの上薄膜７（上電極１１）を備えるＭＥＭＳセンサ５が設けられている。上薄膜７は、振動可能に設けられ、４つの下薄膜６は、上薄膜７に対して所定の間隔を空けて対向配置されている。 （もっと読む）

【課題】センサ構造を大幅に小型化すること。接続配線数を極力減らしてノイズがのりにくい構造とし、所望の信号を正確に測定すること。
【解決手段】第１導電層と、第２導電層と、絶縁層とを有する第１の部材と、第１電極を有する第２の部材と、第２電極を有する第３の部材とを具え、第１の部材は、錘部と、該錘部を可動自在に支持する梁部と、該梁部に連接されかつ第２の部材と第３の部材との間に設けられた枠部とを有し、錘部と枠部とを電気的に絶縁した状態で構成し、枠部は、第２の部材の第１電極の接続用配線として用いられると共に第３の部材に電気的に接続され、錘部は、枠部に対して電気的に絶縁された状態で梁部を介して第３の部材に電気的に接続される。 （もっと読む）

【課題】柔軟圧力センサおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明による柔軟圧力センサは、柔軟な物質から製造されて柔軟性を有し、曲げられると円形状を成す柔軟基板と、前記柔軟基板の一面に形成された第１電極と、前記柔軟基板の前記一面に形成され、前記柔軟基板が前記円形状を成したときに前記第１電極と向かい合ってコンデンサを形成する第２電極と、前記柔軟基板の他面に形成され、前記コンデンサと電気的に接続されて共振回路を形成し、前記第１電極と前記第２電極との間隔の変化に連動して変化する前記共振回路の共振周波数を示す信号を出力するコイルとを含む。 （もっと読む）