【課題】 光学的に高いダイナミックレンジで差圧の測定が可能な差圧測定システムを提供する。
【解決手段】 光源4、第1圧力感度で第1外圧P_O1に応じて光源4が発した照射光の光強度を変化させ、第1測定光として出力する第1センサ5、第1圧力感度に対して正負の符号が反対の第2圧力感度で第2外圧P_O2に応じて第1測定光の光強度を変化させ、第2測定光として出力する第2センサ15、及び第2測定光の光量を測定することにより、第1及び第2外圧P_O1, P_O2の差圧を測定する測定モジュール17Aを備える。 （もっと読む）

【課題】封入液の漏れがなく高圧・高温・極低温のプロセスに対応できる圧力伝送器を提供し、接液温度圧力誤差が小さい実用的な圧力伝送器を提供する。
【解決手段】キャピラリチューブに封入される封入液の圧力を測定する圧力伝送器において、前記キャピラリチューブに接続される受圧部は、プロセスからの圧力を受ける接液ベローズと、前記接液ベローズの開口部を閉じる接液ヘッドと、一端が前記接液ヘッドに接続されるシャフトと、前記シャフトの他端に接続される受圧ヘッドと、前記受圧ヘッドによって開口部が閉じられる受圧ベローズと、前記受圧ヘッドと前記受圧ベローズとから形成され前記封入液が封入される圧力室とを備えることを特徴とする圧力伝送器。 （もっと読む）

【課題】 照射光量及び光導波路の伝送効率の変調の影響を受けずに、高い精度で差圧の測定が可能な差圧測定システムを提供する。
【解決手段】 非干渉性の照射光を照射する光源4、照射光を第1測定光と第2測定光に二分し、第1測定光に第1外圧P_O1に応じて変動する第1測定光路長差を進ませる第1測定干渉計5、第2測定光に第2外圧P_O2に応じて変動する第2測定光路長差を進ませる第2測定干渉計15、第1及び第2測定光の参照用光量を検出する参照用光量検出素子151、第1及び第2測定光路長差の差分光路差によって第1及び第2測定光が干渉するよう透過帯域幅が設定された帯域フィルタ3、帯域フィルタ3を透過した第1及び第2測定光の測定用光量を検出する測定用光量検出素子152、測定用光量及び参照用光量に共通する変動を補正する補正機構71A、及び補正された測定用光量から第1及び第2外圧P_O1, P_O2の差圧を逆算する差圧算出モジュール72Aを備える。 （もっと読む）

【課題】誤接続によって圧力センサに印加される２つの圧力が逆転していても、正規の圧力差に応じたセンサ出力を得ることができる圧力センサを提供する。
【解決手段】センシング部から出力された電圧信号は、第１調整回路部にて比例の圧力特性となるように調整および増幅される（図３（ａ））。そして、絶対値回路部に出力された電圧信号は、圧力センサが正しく設置された場合、絶対値回路部から第２調整回路部に出力される。一方、圧力センサが正しく設置されない場合、電圧信号はＶ字型の圧力特性となるように調整される（図３（ｂ））。これにより、差圧の符号に関係なく同じ電圧信号が得られる。この後、第２調整回路部で電圧信号が増幅処理される（図３（ｃ））。 （もっと読む）

【課題】 照射光の光量及び光導波路の透過率の変調の影響を受けずに、高い精度で差圧の測定が可能な差圧測定システムを提供する。
【解決手段】 光源4、第1外圧P_O1に応じて光源4の照射光のスペクトルにおける第1波長帯域の光強度を減衰させ、第1測定光として出力する第1センサ5、第2外圧に応じて第1測定光のスペクトルにおける第2波長帯域の光強度を減衰させ、第2測定光として出力する第2センサ15、第2測定光のスペクトルにおける第2波長帯域の光量が一定となるよう、照射光の光量を調節するフィードバック回路8、及び第2測定光のスペクトルにおける第1波長帯域の光量及び第2波長帯域の光量から、第1外圧P_O1及び第2外圧P_O2の差圧を測定する光量差測定モジュール72Aを備える。 （もっと読む）

【課題】 照射光の光量変調を補正し、高い精度で差圧の測定が可能な差圧測定システムを提供する。
【解決手段】 光源4、光源4が発した照射光のスペクトルにおいて、第１外圧P_O1に応じてシフトする第１波長帯域の光強度を減衰させて第１測定光として出力する第１センサ5、第１測定光のスペクトルにおいて、第２外圧P_O2に応じてシフトする第２波長帯域の光強度を減衰させて第２測定光として出力する第２センサ15、第２測定光の光量の変調を照射光の光量の変調で打ち消した補正光量を算出する補正モジュール71A、及び補正光量を測定することにより、第１及び第２外圧の差圧を測定する測定モジュール72Aを備える。 （もっと読む）

【課題】
接合強度の大幅な増大を図り、信頼性の高い差圧・圧力検出器を提供する。
【解決手段】
受圧体１００Ｌ，１００Ｒと、キャピラリーチューブ２００Ｌ，２００Ｒと、検出器３００と、を備えるリモートシール形の差圧・圧力検出器１であって、特にステンレス製の受圧体本体１０１Ｌ，１０１Ｒにタンタル製の受圧体側リング１０４Ｌ，１０４Ｒを溶接し、その上にジルコニウム製のダイアフラム側リング１０３Ｌ，１０３Ｒとを溶接した上で、シールダイヤフラム１０２Ｌ，１０２Ｒを溶接してなる受圧体１００Ｌ，１００Ｒとした。 （もっと読む）

【課題】導圧管の両詰まり判定に加え、高圧側導圧管及び低圧側導圧管の詰まりを識別して判定可能な導圧管の詰まり診断機能付き差圧測定装置を提供する。
【解決手段】前記導圧管が正常なときにおける前記診断信号に対する前記差圧伝送器の差圧変化出力を取得して基準データとして保持する基準データ保持手段と、診断のときにおける前記診断信号に対する前記差圧伝送器の差圧変化出力を取得して測定データとして保持する測定データ保持手段と、前記基準データ及び測定データ並びに設定されたパラメータに基づいて前記導圧管の詰まり状態を判定する判定手段とを備えたことを特徴とする導圧管の詰まり診断機構付き差圧測定装置。 （もっと読む）

【課題】 導圧管の詰まりが、プロセスの流量に影響されず、簡便・正確に診断可能な圧力検出器及び圧力検出器の詰まり診断方法を提供する。
【解決手段】 高圧側導圧管からの高圧側圧力と低圧側導圧管からの低圧側圧力とを検出する圧力検出器において、前記高圧側圧力に基づく高圧側圧力信号を算出する高圧側圧力演算部と、前記高圧側圧力信号から高圧側圧力揺動を算出する高圧側圧力揺動演算部と、
前記高圧側圧力揺動から高圧側圧力分散を算出する高圧側圧力分散演算部と、前記低圧側圧力に基づく低圧側圧力信号を算出する低圧側圧力演算部と、前記低圧側圧力信号から低圧側圧力揺動を算出する低圧側圧力揺動演算部と、前記低圧側圧力揺動から低圧側圧力分散を算出する低圧側圧力分散演算部と、前記高圧側圧力分散と前記低圧側圧力分散との比に係る診断変数を算出する比率演算部と、前記診断変数の値に基づき前記高圧側導圧管の詰まりまたは前記低圧側導圧管の詰まりを判定する判定部とを備えたことを特徴とする圧力検出器。 （もっと読む）

【課題】小型化、構造の簡略化、および低コスト化を図ることができる差圧測定用の均圧弁、および、差圧式流量計の提供。
【解決手段】差圧式流量計に組み込まれた均圧弁３５では、第１導入路３６１が弁棒３５１の軸方向に沿って延びており、弁棒３５１の軸周りに設けられたテーパ部３５１Ｈを軸方向に沿って進退させることで差圧状態から均圧状態へと切り替えられる。ここで、弁棒３５１の進退する区間が、均圧に用いられる弁通路３５２と互いに重なっているぶん、均圧弁３５の小型化を図ることができる。この小型化により、第１導出路３７１と第２導出路３７２との距離が短くなるので、これらの第１導出路３７１と第２導出路３７２との間の流れの遅延による圧力のムラを小さくできる。また、均圧弁３５の弁体は、テーパ部３５１Ｈのように簡略な構造であるため、組み立ても容易であって信頼性および低コスト化に寄与できる。 （もっと読む）