【課題】シールダイアフラムを保護しつつ、その周囲に残留する空気を排出して圧力測定精度を保つ。
【解決手段】筒状容器と、前記容器から突出するフランジ部と、前記容器に配置されるシールダイアフラム２４４Ａとを有し、圧力センサー２１０を収容する力検出器収容ケース１０であって、底部１６と側壁部１８とを有する第１外部ケース１２と、前記底部１６に形成された圧力導入孔２２と、前記フランジ部と前記底部１６との間に配置され、前記圧力導入孔２２がリングの内側となるように配置される円形リング４８と、前記フランジ部を前記円形リング４８とともに前記底部１６側に押し付け、前記ダイアフラム２４４Ａを境界の一部とし、前記圧力導入孔２２を有する圧力導入空間２６を形成する押し込み部材（ねじ込み金具２８）と、を備え、前記側壁部１８の側面と前記圧力導入空間２６との間を貫通する排出孔２４が設けられる。 （もっと読む）

【課題】漏洩検査の作業効率を高め、漏洩検査の精度を向上させた差圧計測方法及び装置を提供する。
【解決手段】マスター容器とワーク容器との間の差圧を測定する差圧センサと、マスター容器とワーク容器とを大気圧の気体で封止する大気圧調整手段と、テスト圧力を付与するテスト圧力付与手段と、差圧センサの測定値を温度補償値で補正し、その結果に基づき、ワーク容器の漏洩を判断する制御手段とを有する差圧計測装置において、ワーク容器内圧力測定手段（ＷＰ）を有し、ワーク容器内圧力測定手段の測定値に基づき、温度補償値を測定する際の差圧センサによる測定タイミングを決定すると共に、大気圧に係る差圧値とテスト圧力に係る差圧値とに基づき、気体の密度変化を求め、温度補償値又はテスト圧力付与手段を動作し測定した差圧値のいずれか一方を密度変化により補正する。 （もっと読む）

【課題】独立した２つの圧力センサを備える差圧センサにおける故障判別が可能な差圧センサの故障判定方法及び故障判定装置を提供する。
【解決手段】差圧センサの故障判定装置は、流体が流れる流路の第１の測定点に配置される第１の圧力センサ(31,34)と、流路の第２の測定点に配置される第２の圧力センサ(32,35)と、第１の圧力センサの出力(P1)と上記第２の圧力センサの出力(P2)とから差圧出力(ΔP)を計算する差圧計算手段(50)と、少なくとも第１及び第２の圧力センサの各出力と差圧出力の正常又は異常を判別する第１の判別データを予め保持するデータ記憶手段(44)と、第１の圧力センサの出力、第２の圧力センサの出力及び差圧出力と第１の判別データとを比較して各圧力センサの正常又は異常判別を行う判別手段(41)と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 検出対象の初期圧力にかかわりなく、微小な差圧を正確に検出できること。
【解決手段】 高圧変動対象に接続した高圧検出室３６と、低圧変動対象に接続した低圧検出室３７と、これら高圧検出室３６及び低圧検出室３７に隣接し、フラッパー２とノズル１０とを備えた圧力増幅機構とを備え、圧力増幅機構には、ノズル１０に流体を供給する流体供給経路１２と、ノズル１０を通過した流体を排出する排出経路１５とを設け、上記圧力増幅機構で増幅された圧力に基づいて上記高圧検出室３６と低圧検出室３７との差圧を検出する差圧検出装置において、上記圧力増幅機構と区画された基準圧力室２０と、この基準圧力室２０と上記低圧検出室３７とを連通する連通路２４と、上記増幅機構によって増幅された圧力と上記基準圧力室の圧力との差圧を検出する差圧検出手段４、１３、１４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】作業効率よく零点調整が行える差圧伝送器を提供すること。
【解決手段】切換可能な内蔵指示計が表示する変数を確認しながらパルス列を生成する外部零点調整機構を回転操作して所望の零点調整対象変数の零点調整を行うように構成された差圧伝送器において、前記外部零点調整機構の回転操作を検出する零点調整検出部と、この零点調整検出部の回転操作検出出力に基づき前記内蔵指示計が表示する変数を零点調整対象の変数に切り換える表示選択制御部、を設けたことを特徴とするもの。 （もっと読む）

【課題】測定範囲内において、２つの検出素子の検出出力特性の違いの影響を低減して、各検出素子の検出出力の差分を求める際の精度を向上する。
【解決手段】同種の物理量を検出する２つの検出素子１６Ａ及び１６Ｂの出力信号の物理量に応じた出力特性の関数ｆ′₁（ｘ）及びｆ′₂（ｘ）をそれぞれ求め、前記関数どうしを測定範囲内で共通解を有するようにオフセット補正して前記関数どうしの差の積分値が最小となるときの前記各関数ｇ₁（ｘ）及びｇ₂（ｘ）をデュアル検出素子センサ１の各検出出力特性として得る。 （もっと読む）

【課題】圧力測定対象のガスが塩素系ガス等の腐食性ガスであっても機器の腐食を安価な構成で防止してガスリークを確実に防止できる簡易差圧測定器を提供する。
【解決手段】簡易差圧測定器は、前記収容管体１４の一方側の管端部１０内に測定対象気体を導入する第１の通路２０と、他方側の管端部１２に比較気体を導入する第２の通路２２と、前記非接触式液面検出手段１８によって検出した前記収容管体１４の他方側の管端部１２内の測定液１６の液面位置に基づき前記測定対象気体および比較気体間の差圧を測定する差圧測定手段２４とを設けたものである。 （もっと読む）

【課題】洗浄等による液体の置換を容易かつ完全に実施できるダメージ軽減対策を施した圧力センサを提供する。
【解決手段】流体主流路１１を流れる液体の圧力を検出する圧力センサ１０において、流体主流路１１の直管部から分岐した位置に圧力計測空間部１２を設けて圧力計測部４を設置し、さらに、流体主流路１１と圧力計測空間部１２との間については、流体主流路１１より管径の細い導入管１３及び流出管１４を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】差圧を簡易に測定可能な圧力測定システムを提供する。
【解決手段】第１の波長帯域の蛍光及び第１の波長帯域とは異なる第２の波長帯域の蛍光を発する少なくとも一つの蛍光体２と、第１の圧力Ｐ_O1を受け、少なくとも第１の波長帯域の蛍光に第１の変調を与える第１の受圧素子３と、第２の圧力Ｐ_O2を受け、少なくとも第２の波長帯域の蛍光に第２の変調を与える第２の受圧素子４と、第１の変調を与えられた第１の波長帯域の蛍光及び第２の変調を与えられた第２の波長帯域の蛍光の結合光の減衰特性を測定する減衰特性測定部３０１と、減衰特性に基づいて、第１及び第２の圧力の差圧ΔＰを算出する差圧算出部３０２と、を備える圧力測定システムを提供する。 （もっと読む）

本発明は、チップ支持体とその上に配置されたセンサチップとを含むセンサモジュールに関する。本発明のセンサモジュールは、チップ支持体の第２の側に、凹部を有する少なくとも１つの部分的なカバーを備えており、チップ支持体および／またはセンサチップの熱を凹部の箇所で放出できる。本発明はまた、凹部を有するカバーを備えたセンサモジュールの製造方法に関する。
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