【課題】第１、第２の圧力検出部に加えられる熱応力の大きさを同一にできる圧力センサを提供する。
【解決手段】ケース１０と、ケース１０の内部に収納された第１、第２のセンサチップ２０、３０と、ケース１０に形成され、第１、第２のセンサチップ２０、３０のそれぞれに連通する第１、第２の圧力導入孔４０、５０と、第１、第２のセンサチップ２０、３０の検出結果の差を演算する半導体回路チップ６０とを備えた構成圧力センサＳ１において、ケース１０の平面レイアウトにおいて、圧力隔壁１４を基準として、第１、第２の圧力導入孔４０、５０を互いに線対称に配置し、第１、第２のセンサチップ２０、３０も互いに線対称に配置する。 （もっと読む）

差圧センサと併用して動作する複数の絶対又はゲージ圧力センサ（２２０、２２２、２３０、２３２；３０７、３０１）を使用することにより、圧力測定トランスミッタの信頼性及び精度が提供される。また、３つの圧力センサの読み取り値に基づいて診断を行う方法（４００）が提供される。さらに、３つの圧力センサ（２１８、２２０、２２２、２３０、２３２；３０１、３０７、３３４）の１つが故障した場合、残り２つのセンサに基づいて、故障したセンサによって測定されたプロセス圧力の適正な推定を生成することができる。
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【課題】圧力取出配管の強度を補強確保するダイアフラムシール付き伝送器にを実現する。
【解決手段】受圧ダイアフラムが取り付けられる受圧ダイアフラムブロックを具備するダイアフラムシール付き伝送器において、前記受圧ダイアフラムブロックに一端が取り付けられ他端が大地に固定される固定手段を具備したことを特徴とするダイアフラムシール付き伝送器である。 （もっと読む）

【課題】 圧力検出器２に、例えば腐食性の排気ガスが侵入しないようにする。
【解決手段】 一対の検出ポート３，４間の圧力を検出する圧力検出器２を備えた差圧検出装置において、圧縮空気を供給する圧力源８に対して一対の検出ポート３，４をパラレルに接続するとともに、各検出ポート３，４と圧力源８との間に第１，２オリフィス１４，１５を設け、圧力検出器２は第１，２オリフィス１４，１５の下流側の圧力を検出する構成にしている。このように構成することによって、排気ダクト５あるいは処理室６内の排気ガスが、逆流しない。このように排気ガスが、逆流しないようにしたので、圧力検出器２が、例えば腐食性の排気ガスによって損傷したりしなくなる。 （もっと読む）

【課題】流体の流量に影響されることなく、正確に導圧管の詰まり状態を検出する。
【解決手段】高圧側導圧管を介して伝達される高圧側圧力と、低圧側導圧管を介して伝達される低圧側圧力とに基づいて流体の差圧を検出する差圧検出手段と、差圧の時系列データに基づいて差圧揺動を算出する差圧揺動算出手段と、差圧揺動の分散を算出する揺動分散算出手段と、差圧揺動の分散と、予め正常時に求めた差圧揺動の分散との分散比率を算出する分散比率算出手段と、前記差圧の時系列データと、予め前記正常時に求めた差圧の時系列データとに基づいて、前記流体の流量変化に起因する前記分散比率の変化を抑制する補正値を算出し、当該補正値により前記分散比率を補正する分散比率補正手段と、当該分散比率補正手段によって補正された前記分散比率に基づいて前記高圧側導圧管及び低圧側導圧管の詰まりを判定する詰まり判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】導圧管の詰まりを判定するための閾値の設定を効率良く且つ簡単に行う。
【解決手段】差圧、高圧側静圧及び低圧側静圧を検出する圧力検出手段と、差圧の時系列データに基づいて差圧揺動を算出する第１の揺動算出手段と、高圧側静圧の時系列データに基づいて高圧側静圧揺動を算出する第２の揺動算出手段と、低圧側静圧の時系列データに基づいて低圧側静圧揺動を算出する第３の揺動算出手段と、差圧揺動の２乗和を算出する第１の２乗和算出手段と、高圧側静圧揺動の２乗和を算出する第２の２乗和算出手段と、低圧側静圧揺動の２乗和を算出する第３の２乗和算出手段と、第１の相関係数及び第２の相関係数を算出する相関係数算出手段と、中間変数を算出する中間変数算出手段と、詰まり度数を算出する詰まり度数算出手段と、詰まり度数に基づいて前記高圧側導圧管及び低圧側導圧管の詰まりを判定する詰まり判定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】差圧をより正確に測定可能にするとともに差圧測定の信頼性を向上する。
【解決手段】第１領域の圧力を検出する第１圧力センサ２２及び該第１圧力センサ２２の検出結果を所定のタイミングで取得する第１検出結果取得部２６を備える第１センサユニット２と、上記第１領域と異なる第２領域の圧力を検出する第２圧力センサ３２及び該第２圧力センサ３２の検出結果を所定のタイミングで取得する第２検出結果取得部３５を備える第２センサユニット３と、上記第１検出結果取得部２６にて取得された検出結果及び上記第２検出結果取得部３５にて取得された検出結果から上記第１領域と上記第２領域との差圧を算出する算出部２６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基準面スタンドオフと測定面スタンドオフとの差を感知するためのバキューム駆動ガスゲージ近接センサが開示されている。
【解決手段】バキューム駆動ガスゲージ近接センサは、バキュームを用いて、近接センサを通るガスフローを反転させ、ガスが測定スタンドオフおよび基準スタンドオフをわたって測定ノズルおよび基準ノズルを介して内部に流入するようにする。基準ノズルおよび測定ノズルに吸引された調整済み周囲ガスは、基準チャネルと測定チャネルを通って流れ、当該基準チャネルと測定チャネルは接合点にて１本のチャネルに連結される。この１本のチャネルは、近接センサを通して調整済み周囲ガスを排気するために使われるバキュームに連結されている。ブリッジチャネルが、基準チャネルと測定チャネルとを連結する。ブリッジチャネルに沿ったマスフローセンサが流量をモニターし、制御動作を開始するために用いられる測定スタンドオフを検出する。 （もっと読む）

【課題】 光学的に高いダイナミックレンジで差圧の測定が可能で、測定誤差を取り消し可能な差圧測定システムを提供する。
【解決手段】 第1及び第2照射光をそれぞれ照射する第1及び第2の光源114, 214、第1圧力感度で第1外圧P_O1に応じて第1照射光の光強度を変化させ、第1測定光を出力する第1センサ5、第1圧力感度に対して符号が反対の第2圧力感度で第2外圧P_O2に応じて第1測定光の光強度を変化させ、第2測定光を出力する第2センサ15、第1照射光、第1測定光、及び第2測定光を伝搬し、第2照射光を参照光として伝搬する光導波路30〜34、第1照射光及び第2測定光に共通する第1強度変調を補正する第1光源変調補正モジュール73A、第2測定光及び参照光に共通する伝搬効率変調を補正する伝搬効率変調補正モジュール74A、及び第1強度変調及び伝搬効率変調が補正された第2測定光の光強度から、第1及び第2外圧P_O1, P_O2の差圧を測定する差圧測定モジュール75A を備える。 （もっと読む）

【課題】 光学的に高いダイナミックレンジで差圧の測定が可能で、測定誤差を取り消し可能な差圧測定システムを提供する。
【解決手段】 第1照射波長成分及び第1照射波長成分とは波長の異なる第2照射波長成分を照射する光源114、第1圧力感度で第1外圧P_O1に応じて第1照射波長成分の光強度を変化させ、第1測定波長成分を出力する第1センサ5、第1圧力感度に対して正負の符号が反対の第2圧力感度で、第2外圧P_O2に応じて第1測定波長成分の光強度を変化させ、第2測定波長成分を出力する第2センサ15、第1照射波長成分、第1測定波長成分、及び第2測定波長成分を伝搬し、第2照射波長成分を参照波長成分として伝搬する光導波路30, 31, 32, 33, 34、第2測定波長成分及び参照波長成分に共通する変調を補正する補正モジュール74A、及び変調が補正された第2測定波長成分の光強度から、第1外圧P_O1及び第2外圧P_O2の差圧を測定する差圧測定モジュール75Aを備える。 （もっと読む）