【課題】イオンビームを用いるエッチングにより断面観察試料を作製するときに、イオンビームの遮蔽に用いられる遮蔽板であって、使用を繰り返し、エッジ面として使用できる箇所がなくなった場合でも、側面の平坦化加工を必要とせず、再利用が容易で寿命が長い遮蔽板を提供する。
【解決手段】イオンビーム照射による断面観察試料の作製において、試料の上面をイオンビームから遮蔽するために用いられる遮蔽板であって、角柱状であり、イオンビーム照射による前記試料の鏡面研磨を可能にするエッジをその側面に有し、かつ前記側面に直交する方向の厚さがイオンビーム照射径以上である遮蔽用部材の複数を、下面が平坦な板状を形成するように並列させて一体化してなること、又は遮蔽用部材とそれを保持する保持用部材を一体化してなることを特徴とする断面観察試料作製用の遮蔽板。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ加工により生じた試料片のダメージ層を不足なくかつ最小限に除去することができる技術を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置は、試料から試料片を形成する第１のＦＩＢ加工を行う第１の元素イオンビーム光学系装置と、試料片の表面に形成されたダメージ層を除去する第２のＦＩＢ加工を行う第２の元素イオンビーム光学系装置と、ダメージ層に存在する第１の元素を検出するための第１の元素検出器と、を有する。ダメージ層に存在する第１の元素の量が所定の閾値より小さくなったとき、第２のＦＩＢ加工の終了を決定する。 （もっと読む）

【課題】全ミリングプロセス中に、試料を連続的にかつ実時間モードで観察することができ、かつプロセスの精度、品質、および停止の完全自動制御を行なうことができるシステムを提供する。
【解決手段】マスク５０および試料２１を操作し、それによって試料２１の異なる側をイオンミリング装置４０に露出することを含む。操作は、試料２１とマスク５０との間の空間的関係を変化させることなく維持しながら、回転させることを含む。マスク５０および試料２１のアラインメントの実行は、画像を走査型電子顕微鏡のような撮像装置によって得ることを含むことができる。 （もっと読む）

【課題】 速やかにかつ簡便に絶縁性無機材料の焼結体の組織観察を行うことができる組織観察方法を提供する。
【解決手段】 本発明の組織観察方法は、鏡面研磨された焼結体である試料の表面に導電性コーティング層を形成する第一ステップ（ステップＳ４）と、集束イオンビームによって、前記表面に形成された前記導電性コーティング層の一部を除去することで前記試料の表面の一部が露出した観察面を形成する第二ステップ（ステップＳ５）と、走査型イオン顕微鏡による二次電子像で、前記観察面を観察する第三ステップ（ステップＳ６）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】ラメラを作製するための方法およびシステムを開示する。
【解決手段】方法は、マスクおよび試料のアラインメントをマニピュレータによって実行するステップ、マスクと試料との間の空間的関係を変化させることなく、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、試料の第１露出部分を、ラメラの第１側壁が露出するまでミリングするステップ、マスクが試料の第２マスキング部分を遮蔽するように、マスクおよび試料をイオンミリング装置の前に配置するステップ、ラメラの第２側壁が露出するまで試料の第２露出部分をイオンミリング装置によってミリングするステップ、ミリング装置によってラメラの両側から物質を除去するステップ；および試料からラメラを切り離すステップを含む。 （もっと読む）

【課題】軟組織、硬組織、軟骨組織や脂肪組織を含む試料から形態の保たれた切片標本を短時間で作製する。
【解決手段】水溶性ゲルを満たした金属製容器に生物組織試料片を入れ、次いで金属製容器の水溶性ゲルに接する面に凍結により膨張した水溶性ゲルが流れ込む穴を設け、その穴付近の水溶性ゲルの凍結が最後になるように穴に柔軟性のある発泡体を詰めた凍結ミクロトームの金属製試料ホルダーを金属製容器に置き、次いで、金属製容器を冷却液中に沈めて生物組織試料片と水溶性ゲルを凍結し、凍結後、凍結生物組織試料片と凍結水溶性ゲルと凍結ミクロトームの試料ホルダーが一体となった状態の凍結試料を金属製容器から取り出し、それを凍結ミクロトームに装着して切片標本を作製する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、ビーム誘起堆積を用いて、極低温で基板上に材料を堆積するように改善した方法を供することである。
【解決手段】 ビーム誘起堆積を用いることによって、極低温にて基板上に材料を堆積する方法。前駆体気体が、前記基板の極低温よりも低い融点を有する化合物の群から選ばれる。好適には、前記前駆体気体は、所望の極低温にて0.5〜0.8の付着係数を有する化合物の群から選ばれる。この結果、前記前駆体気体は、前記所望の極低温にて、前記基板表面に吸着する前駆体分子と前記基板表面から脱離する前駆体気体分子との間で平衡に到達する。適切な前駆体気体は、アルカン、アルケン、又はアルキンを有して良い。-50℃〜-85℃の極低温では、ヘキサンが材料を堆積する前駆体気体として用いられて良い。-50℃〜-180℃の極低温では、プロパンが前駆体気体として用いられて良い。 （もっと読む）

【課題】免疫組織染色装置および免疫組織染色方法を術中迅速病理診断に適用可としたり、一次抗体の節約手段とする。
【解決手段】試料載置側電極１１と対向電極１２との間に、組織標本ｔに対して一次抗体Ｉｇ１を滴下した一次試料ｓ１を載置する試料室１を備えさせ、この試料室１内に、対向電極１２が試料載置側電極１１よりもマイナスになるようにして変動電界を所定時間印加し、一次試料ｓ１を非接触にて撹拌する第１撹拌手段と、非接触にて撹拌された一次試料ｓ１に対して標識でラベルした二次抗体Ｉｇ２を滴下した二次試料ｓ２に、対向電極１２が試料載置側電極１１よりもマイナスになるように変動電界を所定時間印加して二次試料ｓ２を非接触にて撹拌する第２撹拌手段とを設けて免疫組織染色装置を構成し、免疫組織染色を実行する。 （もっと読む）

【課題】簡単な方法で安全かつ信頼性の高い組織処理装置の操作を行うことを保証するセンサモジュール、それを有する組織処理装置及びその組織処理装置の操作方法を提供する。
【解決手段】センサモジュール３８、４０、４２は、組織処理装置２０の各容器３０、３２、３４の温度を測定するための温度センサと、該容器３０、３２、３４の作業位置を検知するための位置センサを含む。提供される組織処理装置の操作方法では、容器が組織処理装置のあるステーションに配置（挿入）され、その容器がステーション内の作業位置にあるかどうかをチェックし、同時にその温度が測定される。 （もっと読む）

【課題】被加工物の上部を遮蔽板で覆い、非遮蔽部をイオンビーム照射によりエッチングして鏡面研磨部を形成する断面観察試料の作製方法であって、装置外部に取り出しての平坦化加工をすることなく、遮蔽板の使用を継続できる方法を提供する。
【解決手段】遮蔽板をそのエッジ方向に移動させながら、好ましくは往復運動をさせながら、エッチングを行うことを特徴とする断面観察試料の作製方法、並びに、この方法の実施に用いられる断面観察試料の作製装置。 （もっと読む）