Ｓ／ＴＥＭサンプルの調製および分析用の改良された方法および装置である。本発明の好ましい実施形態により、ＴＥＭサンプル作成用、特に小さい形状（厚さ１００ｎｍ未満）のＴＥＭラメラ用の改良された方法が提供される。本発明の好ましい実施形態は、ＴＥＭサンプルの作成および分析のプロセスの労力を低減し、ＴＥＭ分析のスループットおよび再現性を高めるために、ＴＥＭサンプル作成を一部または全部自動化する方法を提供することにより半導体ウェハ上に製造される集積回路または他の構造などの対象に対するＳ／ＴＥＭベースの計測用のインライン・プロセスも提供する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ波チャンバの中で、試料の連続的な液体処理が迅速かつより簡単な手間で行えることを可能にする試料調製装置を提供すること。
【解決手段】マイクロ波発振器と、処理対象の試料を受入れるマイクロ波チャンバと、複数の液体容器のための容器配列装置を含む、マイクロ波を用いた試料調製装置であって、マイクロ波チャンバは導波管として構成され、この導波管は、試料を導入するための第一種開口と、マイクロ波チャンバの中に可逆的に液体容器を導入し、液体が試料を取り囲むようにするまで試料がそのままで保持される、好ましくは底部に配置される第二種開口と、を含む。 （もっと読む）

本発明は、ラベルが試料中に導入され、前記試料上に平坦な表面が調製され、かつ前記試料表面の一連の像がたとえば走査電子顕微鏡によって撮られる、方法に関する。前記ラベルは、金のラベル又はたとえば蛍光ラベルであって良い。各像を取得する間に表面層を除去することによって、一の像での表面のラベルが除去され、そのラベルは次の像では見えない。それにより前記試料中でのラベルの位置を3D再構成することが可能となる。

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【課題】含有量が微量で、励起光の透過性が高い生体試料と同様の特性を有する分析標準を作製する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】微小ビーム蛍光Ｘ線分析に用いる分析標準の作製方法であって、ベース材料に元素を添加し、攪拌によってベース材料に元素を混和させて混和溶液を生成する混和工程Ａと、混和溶液を脱気する脱気工程Ｂと、混和溶液を穏やかに凍結させる凍結工程Ｄと、凍結した混和溶液から薄切切片を切り出す切出工程Ｆとを含む方法を提供する。混和溶液中の気泡をより確実に除去するために、脱気工程Ｂが、混和溶液を室温で静置する静置工程を含んでもよいし、静置工程が、静置している混和溶液中の気体を吸引装置によって除去する工程を含んでもよい。 （もっと読む）

本発明は、試験される潤滑液の試料を反応容器内に導入する工程、触媒作用量の触媒を該反応容器に導入する工程、該容器を潤滑液の酸化温度まで加熱し、そしてこの温度を維持する工程、一定の流量で該容器を通して反応の過程にわたって酸素含有ガスを送り込む工程、一定の流量で該容器を通して特定の時間の間、二酸化窒素を含むガスを送り込む工程、該反応容器に特定の真空を印加し、且つ維持する工程、該混合物を特定の時間の間、反応させる工程、酸化した潤滑液の粘度を測定する工程を含む、潤滑液の酸化安定性測定方法に関する。さらには、本発明は潤滑液の酸化安定性の測定装置について記載する。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を実現し、かつ、真空容器内の圧力の増加や汚染が無く数μｍの試
料片が固着されるＴＥＭホルダの導入手段を備え、迅速な観察を可能とする試料室容積が
必要最小限の、占有面積の小さい、大口径ウエハ用の試料作製装置を提供すること。
【解決手段】試料を載置する試料ステージと、荷電粒子ビーム照射光学系と、荷電粒子ビ
ームの照射によって発生する二次粒子を検出する二次粒子検出手段と、該試料から試料片
を分離する試料片分離手段と、該試料を収納するカセットと、該カセットから該試料を該
試料ステージに移載する試料移載手段と、該試料片を固定する試料ホルダと該試料ホルダ
を固定する試料載置部と該試料載置部を保持し、試料ステージ本体部と脱着可能な構成か
ら成るカートリッジと、該カートリッジを収納するカートリッジステーションと、該カー
トリッジステーションから所望の該カートリッジを該試料ステージ上に、該容器の外部か
ら移載する移載手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 滅菌済検査バッグと共に使う研究室用パドル付ホモジナイザーに、新しい機能をもたせ、より短時間にホモジナイジングを最適条件の下に行う。
【解決手段】 革新パドルによって、その取り付け、取り外しが道具なしで非常に簡単にできるので、パドル及びホモジナイザーの空洞部の必須クリーニングが、速やかに能率的に行われる。また、光学又は別種のセンサーにより、二つのパドルが同じ平面で同時に停止するので、次回のホモジナイジングの時、検体と液体が入ったバッグをホモジナイザーの中に挿入しやすい。検体の大きさ、硬さ、性質によりホモジナイザーの破砕力を調節するために、パドルと扉の間の空間のボリューム調節を、モーターとパドル全体を前に進めたり、後ろにさげたり、目で見ながら道具なしで簡単にできる。これらの特徴のあるホモジナイザーは、ホモジナイジングを高能率化、安全化し、その時間を大幅に短縮する。 （もっと読む）

【課題】 所望部分を良好な状態で保持した試料片を作製できる試料作製方法を提供すること。
【解決手段】 半導体素子１表面に透明な保護用ガラス２をエポキシ樹脂３で貼り付ける。（図２（ａ））。保護用ガラス２の上から圧力を加えながらエポキシ樹脂３を加熱（１３０度）し、エポキシ樹脂３を硬化させる（図２（ｂ））。ダイシングソーを用いて、厚さ０．１ｍｍ、幅２．５ｍｍ、高さ０．５ｍｍの試料片５を切り出す（図２（ｃ））。切り出された試料片５は、イオンビーム試料作製装置の試料ホルダにワックスで貼り付けられる（図２（ｅ））。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハやデバイスチップから所望の特定領域を含む試料片のみを摘出、搬
送、固定が可能で、特にマイクロマニピュレーションにおけるプローブ先端位置決めを容
易にすることで自動化に適した試料作製装置を提供する。
【解決手段】イオンビーム加工と、試料片の搬送技術さらには試料片の試料片ホルダへの
固定技術を用いる。特に、搬送用プローブの流入電流をイオンビーム走査と同期させてデ
ータ化することで、プローブ先端位置の同定を容易にする。 （もっと読む）

【課題】血液を血球成分と血漿もしくは血清成分とに速やかにかつ効率良く分離でき、溶血等による汚染の少ない血漿もしくは血清成分を確実に得ることを可能とする血液分離装置を提供する。
【解決手段】内部が減圧されており、筒状の容器本体２の開口２ａに栓体３が気密的に取り付けられており、内部に血液を血球成分と血漿もしくは血清成分とに分離する血液分離膜から成る筒状体５と、筒状体５に内挿されており、筒状体５を支持している筒状の支持部材６とから成る筒状構造が配置されており、筒状体５の外周側面の外側から、開口２ａ側の第１の端部側に至る第１の内部空間Ａと、支持部材６の内部から容器本体２の第２の端部側に至る第２の内部空間Ｂとに気密的かつ液密的に仕切られている、血液分離装置１。 （もっと読む）