【課題】 拡散反射効率の高い拡散体を容易に製作することが可能な光源装置を提供すること。
【解決手段】 光源４と、光源４の前方に設けられた拡散透過板６と、光源４と拡散透過板６との間に設けられた拡散体８とを備えた光源装置２。拡散体８は、本体部３６と、本体部３６の両側端部３８よりそれぞれ延びる一対の側板部４０とを有し、また本体部３６と一対の側板部４０との接続部３８にはそれぞれ第１折曲げ用凹部５６が設けられており、拡散体８は、一対の側板部４０をそれぞれ第１折曲げ用凹部５６に沿って内側に折り曲げることにより形成され、さらに拡散体８の一対の側板部１８は、それらの幅方向の間隔が拡散透過板６側に向かって大きくなるテーパ状に形成されている。 （もっと読む）

【課題】寿命が長く、しかも環境性能にも優れた液晶基板目視検査装置を提供する。
【解決手段】液晶基板５の製造における製膜工程後の目視検査を行う液晶基板検査装置である。照明用光源にＬＥＤを使用したロッド形状の発光灯１９を用いる。これによって、ＯＮ・ＯＦＦの頻繁なスイッチング操作によっても照明用光源の寿命を縮めず、長期にわたって安定して使用することができる。照明用光源の色を色混合によって変化させる。反射用照明１と透過用照明２とを備え、ロッド形状の発光灯１９を反射用照明１と透過用照明２とに用いる。 （もっと読む）

【課題】メタリック塗装がなされた自動車などの計測対象物の平面だけでなく曲面においても、メタリック色の塗装ムラ（メタルムラ）を面情報として計測でき、目視評価との一致性が高い塗装ムラの計測装置、計測方法及び評価方法を提供する。
【解決手段】メタリック塗装面に光を照射し、正反射光が入射しない角度から受光した反射光強度を連続的に測定して該塗装面の塗装ムラを計測する装置であって、
発光素子及び受光素子を内蔵し、３つ又は４つのボールベアリングころによって支持された光学ユニットと、該光学ユニットに具備された全てのボールベアリングころが前記塗装面に点接触するように前記光学ユニットを保持可能で且つ前記塗装面上を移動可能とせしめるロボットと、該ロボットの制御装置と、前記光学ユニットによって測定された反射光強度を処理可能な処理装置とを具備する塗装ムラの計測装置。 （もっと読む）

【課題】 180°の方位角にわたるディスク状物体の端縁全体の像をモニタ上に同時に表示できる撮像システムを提供する。
【解決手段】 本発明では、光ビームを発生する光源(1)、第１及び第２のビーム偏向装置(2，7)、光ビームを収束して試料に投射する対物レンズ(11)、及びリニァイメージセンサ(14)を有するコンフォーカル顕微鏡を用い、ウェハ端縁を３次元的に走査し、複数の角度方向からウェハ端縁を撮像する。信号処理回路(16)において、複数の角度から撮像した複数の画像を合成して画像表示装置(17)上に表示する。さらに、本発明では、ウェハ端縁を３次元的に走査しているので、奥行方向の高さ情報を利用してウェハ端縁の画像を３次元的に表示することができる。 （もっと読む）

従来技術による部材の貫通孔の検査方法は一般にサーモグラフによる詰まり検出に高温ガスを使用する。本発明による部材（１０）の貫通孔構造の検査方法によれば、これは、カメラ（１３）の波長範囲に少なくとも１つの吸収端を有する媒体が使用され、この媒体がカメラ画像（１３）において不透明にて現われるようにすることによって簡単化される。
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【課題】紫外光を使った表面検査装置が、高価で入手し難いという課題を解決することを目的とする。
【解決手段】紫外波長域を含む可視光源装置１と、該光源装置より発する可視光をガイドする多成分ガラス素材を用いたライン状ライトガイド２と、該光源装置より発する光の波長域のうち前記ライン状ライトガイドの多成分ガラス素材にてガイド可能な紫外波長域の光を選択する光学フィルター４と、前記ライン状ライトガイド先端から発する紫外波長域の光を直線ライン状の紫外照明光に変換するプレート状ライトガイド３とから構成された直線ライン状照明手段と、該照明手段のプレート状ライトガイド３下端側から発する直線ライン状紫外照明光Ｌ1 により照明された被検査体Ｂの表面からの正反射光及び拡散反射光を紫外光感度域にて画像として検出する光像検出手段１１とから構成される。 （もっと読む）

【課題】液晶基板などの大型基板の外観検査用投光装置において、装置の高さを押さえ、小型化を図る。
【解決手段】本発明の外観検査用投光装置は、照明光源と、この照明光源からの光を被検査部材に向けて反射させる反射光学系と、この反射光学系の反射光路に配置される集光光学系と、を具備し、前記集光光学系は少なくとも２分割され、これら分割された各集光光学系からの照明光束により前記被検査部材の全面を照射可能とした。 （もっと読む）

【課題】一方向のステージの移動中に複数種類による照明パターンでの画像を取得する場合、短時間で精度良い検査を行うことのできるような検査装置を提供する。
【解決手段】プリント基板８を移動させる移動機構７と、この移動機構７による一方向の連続した移動中に照射パターンＡと照明パターンＢとを微小時間で切り換えてプリント基板８に光を照射する照明制御手段９１と、この照明制御手段９１によって照射されたプリント基板８からの反射画像をラインセンサ６で受光する受光手段９２と、この受光手段９２によって受光された画像に基づいてプリント基板８の良否を判定する判定手段９４とを設ける。そして、この切り替えられた照明パターンによる画像をステージ７０の移動が完了するまでメモリ９０の同一領域に格納し、その後、照明パターン毎に画像を分解してそれぞれを判定処理する。 （もっと読む）

【課題】時間の掛かる調整を行うことなく、基板を平坦に支持しながら、基板の全面を検査する。
【解決手段】基板１を搭載するステージは、ステージベース１１及びブロック１２を含んで構成されている。ステージベース１１の上面には、細長い長方形のブロック１２が、所定の間隔で複数取り付けられている。ブロック１２は、ステージベース１１に取り付けられた後、機械加工によって上面が均一な高さに削られている。各ブロック１２には、吸着孔１３が所定の間隔で複数設けられている。吸着孔１３から空気を吸引することにより、ブロック１２によって支持された基板１が真空吸着されてステージに固定される。基板１のブロック１２で支持されていない部分には、光学系から検査光２が照射される。ステージに搭載された基板１の位置を検査光２の走査方向と直交する方向へ移動して、基板１のブロック１２で支持される箇所を変更する。 （もっと読む）

【課題】 反射鏡を容易に製作することが可能な線状照明装置を提供すること。
【解決手段】 線状光源４と、線状光源４からの光を反射するシリンドリカル状の凹面状反射面１４を有する反射鏡６とを備えた線状照明装置２。反射鏡６は、シリンドリカル状の円弧状反射面２０ａ，２０ｂを有する複数の反射部材１６，１８から構成され、線状光源４と直交する断面において、反射鏡６の凹面状反射面１４は、複数の反射部材１６，１８の円弧状反射面２０ａ，２０ｂを接続する近似楕円１２の一部に形成され、複数の反射部材１６，１８は、円弧状反射面２０ａ，２０ｂの曲率半径が近似楕円１２の長軸６４に近い側から順に大きく、且つ隣接する一対の反射部材１６，１８の円弧状反射面２０ａ，２０ｂの隣接端部２２ａ，２２ｂにおける接線２６が実質上一致するように配設される。 （もっと読む）