【課題】 検体上を所望の光強度分布をもって照明できるように、照明手段の改良を図る。
【解決手段】 照明系を発光体１Ａ，すりガラス１Ｂおよびフィルタ１Ｃから構成し、フィルタ１Ｃを微小面積の遮光部分と透光部分とが隣接するようにし、かつ、照明光の光軸と直交する方向に光軸から離れるに従って遮光部分（黒く塗りつぶした部分）の密度が高くなるようにすることで、すりガラス等の拡散体だけの場合よりも、所望の光強度分布となるようにする。 （もっと読む）

【課題】 光ファイバーの先端を環状に配列して光出射部としたリングタイプのライトガイドにおいて、出射光を集光させて検査部位を明るくかつ均一に照明できるようにしたものを提供する。
【解決手段】 多数本の光ファイバーＦの基端を、例えばコネクタ１４で集束して受光部Ａとし、光ファイバーの先端を、例えば環状のヘッド１２に導入し、内周方向、斜め方向、又は外周方向に向かせて環状に配列して光出射部Ｂとし、この光出射部Ｂの前方に、好ましくは断面が円形又は半円形のリング型のレンズ２０を配置する。 （もっと読む）

【課題】 視野が明るく、光沢のある被検査体についても光ムラによる画像のつぶれが生じない外観検査装置を提供すること。
【解決手段】 ライトガイド４の先端４ａの下方１〜２ｍｍの位置に、乳白色半透明板または両面磨りガラス板の光源スクリーン５を配置し、ランプハウス２からの光を光源スクリーン５で適度に散乱させ、被検査体であるプリント配線基板１５が均一な明るさで光ムラなく照射されるようにした。この状態でＣＣＤカメラ３で撮像すると、光ムラによる画像つぶれがなくかつ明るい画像が得られ、パターン形成の良否の検査を高精度に行うことができる。 （もっと読む）

【目的】 ハーネスコンタクトピンの挿入状態と電線の色の識別の判定のスピード化、及び目視検査による目の疲労や人による検査判定の不安定度を解消する。
【構成】 測定部とレーザー発光体２個と検出ホトトランジスタ３個が内蔵されているヘッド匡体と、演算ユニットによる。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハのメモリマット部、周辺回路の欠陥を検出する高感度な被検査パターンの欠陥検査方法を提供する。
【課題を解決する手段】 同一となるように形成されたメモリマット部２１と周辺回路部２２とを有するチップ２０を複数個配置した被検査パターンの欠陥検査方法で、被検査パターンの定めたチップ２０から画像信号９を検出し、この検出画像信号９に対して統計量からなる統計画像を生成し、この統計画像を基準画像とすることによって欠陥１３を検出する。このようにして、チップ２０を複数配列されている被検査パターンで、欠陥を高感度に検出するすることができる。 （もっと読む）

【課題】 プリント基板の配線パターンにおけるネック切れを正確に検査することができるパターン検査装置およびパターン検査方法を提供することである。
【解決手段】 パターン切り出し部２４は、中心座標・直径算出部２３により算出された中心座標および直径に基づいてパターン画像データＰＤからランドを十分に含む大きさの領域の画像データを抽出する。ライン切れ認識部２６は、正規化された画像データにおいてエッジ抽出フィルタにより配線パターンのエッジを予め定められた方向成分ごとにエッジ画像データとして分解抽出し、ぼかし処理および間引き処理を行いつつ階層的な積和型フィルタにより複数のエッジ画像データを統合し、ライン切れに相当する形状に近似する程度を示す出力値を算出する。しきい値判定部２７は、ライン切れ認識部２６の出力値を所定のしきい値と比較することによりネック切れの有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】プリント基板上の配線パターンの検査を、パターンの反射率や基板の材質に依存しないで行うことで、環境変化や材料選定の制約による検査上の問題を解消する。
【解決手段】本発明は、一方の面に導電膜４を設けた圧電材料からなる圧電フィルム３を備える。圧電フィルム３をプリント基板１上に密接させ、導電膜４と検査したい配線パターン２間に高周波信号を与える。導電膜４と高周波信号を与えられた配線パターン間に位置する圧電フィルムの領域は、圧電現象によって振動する。受光素子８には、レーザ光源７からのレーザ光及び圧電フィルム３からの反射したレーザ光が入射する。検査中の配線パターンの部分から反射したレーザ光は、その上の圧電フィルムの振動により光路長が微小変化する。その結果、直接受光素子に入射したレーザ光との干渉により得られる光の振幅は微小時間間隔で変化し、これより検査対象の配線パターンの配置が確認できる。 （もっと読む）

【課題】高放射能の部材の健全性を高精度，高効率で行う保守検査装置を提供する。
【解決手段】水中に設置された走査機構１０に搭載された渦流探傷コイルヘッド２０と目視検査要素を内蔵した磁気探傷検査ヘッド３０で構成する。 （もっと読む）

【課題】 液晶素子に含まれる電場応答性不純物の検出、同定、定量を、簡便かつ高感度に行うことができる液晶素子評価方法、およびこの評価方法を実現する装置を提供する。
【解決手段】 １対の電極間に液晶層を有する液晶素子に電場を印加しながら特定波長域の光を照射し、前記液晶層を通過した光を時間分解して測定することにより光強度の経時変化に相当する電場応答曲線を求める工程を有し、前記液晶素子に互いに極性が異なるパルス電場を印加したときに、それぞれのパルス幅の時間内で得られる前記電場応答曲線の傾きに基づいて、液晶素子中に混入した不純物を検出する。 （もっと読む）