【課題】 パターン検査装置における重要な種々の点検項目の基礎的条件を検出し補正することにより、常に最適の規定された状態に検査装置を管理すること。
【解決手段】 被検査物の回路パタ−ンまたは配線パタ−ンの良否を判定する検査装置の検査性能評価方法において、光学系特性、アライメント特性、照度分布特性を評価するパタ−ンを有し且つ前記パタ−ンからの光量を検出する検出素子を有する検査性能評価検出器を被検査物載置用のステ−ジに設置し、複数の評価パタ−ンを光学的に検出できるようにステ−ジを順に移動し、その都度、評価パタ−ンによる結像されたパタ−ン像から光学系特性、アライメント特性の情報を得ると共に前記検出素子から照度分布特性の情報を得、これらの情報から検査装置のそれぞれの検査性能を評価し、この評価に基づき検査装置の検査性能を最適の規定された状態にそれぞれ補正すること。 （もっと読む）

【課題】 有効径の境界ラインの近傍領域に含まれる２値化ノイズや汚れによるノイズを除去するためには、処理装置への負荷が高い複雑な画像処理が必要となり、検査時間が長くなる。
【解決手段】 ＣＣＤカメラ３０により撮影された入力画像中の部品領域は、２値化されて欠陥、ノイズ等が図形として抽出される。良否判定手段４７は、図形が設計上の有効径の境界ラインを含む帯状の最外周検出領域ＲOより内側に位置する場合には、比較的厳しい判定基準を用い、領域ＲO内に位置する場合にはより緩和された判定基準を用いて図形が欠陥に該当するか否かを判断する。 （もっと読む）

【目的】電気絶縁性機能を検査し、電気的欠陥部位を特定できる方法を提供する。
【構成】外観上の表面欠陥検査方法の検査過程の、前段に電界を印加する過程を設け、電気絶縁物体である被検査物内部に電気的弱点があった場合に、そこを起点とした絶縁破壊を生じせしめることによって潜在欠陥を可視化又は拡大させてから、当該表面検査を行う。
【効果】従来の外観上の表面検査方法では検出されなかった電気的絶縁欠陥部位を特定できた。 （もっと読む）

【目的】高精度・高速なプリント基板のパターン検査方法及び装置及びプリント基板の製造方法を提供する。
【構成】プリント基板のパターン検査装置は、パターンプリント基板よりなる被検査基板８を撮像するライン状に設けられた複数の電荷結合デバイス（ＣＣＤ）カメラよりなるラインセンサ１と、ラインセンサ１のレンズ前に付けられる第１の色フィルタ２ａと、被検査基板８表面を斜め方向からライン状に照明するライン光照明手段Ａ，Ｂと、前記ライン光照明手段Ａ，Ｂ夫々の発光面前に付けられる第２の色フィルタ２ｂ，第３の色フィルタ２ｃと、画像検出処理部３と、欠陥判定部４と、制御部５と、移動手段としての数値制御（ＮＣ）テーブル７及び該ＮＣテーブル７を駆動させる数値制御（ＮＣ）駆動部６とで構成される。 （もっと読む）

【目的】 本発明は液晶素子に含まれる電場応答性不純物の検出、同定、定量を、簡便かつ高感度に行うことができる液晶素子評価方法、およびこの評価方法を実現する装置を提供することを目的とする。
【構成】 液晶素子に電場を印加しながら赤外光を照射し液晶素子を通過した赤外光を時間分解して測定することにより赤外光強度の経時変化に相当する電場応答曲線を求める工程を具備した液晶素子評価方法であって、互いに極性が異なるパルス電場を液晶素子に印加した状態でのそれぞれのパルス幅の時間内における電場応答曲線の傾きに基づいて、液晶素子中に混入した不純物を検出する。 （もっと読む）

【目的】 複数のカメラを用いて並列処理するもので、カメラ間の感度差や照明系の差異による影響を緩和し、隣接する画像に連続性をもたせた状態で画像処理が行える検査精度の信頼性の高い表示・外観検査装置を提供する。
【構成】 反射率が一様な標準画像を複数のカメラで撮像し、隣接カメラの両画像の低周期の濃度ムラをシェーディング補正部２０によって一様な明るさに補正し、オフセット調整部３０により隣接画像の重複部分の濃度値を等しい状態とし、結合補正部４０により重複部分での隣接画像の濃度値に重み付け処理をして連続した画像として結合する。 （もっと読む）

【目的】 印刷面の検査を高精度に行うことができる印刷面検査装置を提供する。
【構成】 直管形蛍光灯８ａ〜８ｄからの光がハーフミラー７を介してＣＤ３に正面から照射され、丸形蛍光灯１３ａ〜１３ｃからの光がＣＤ３に斜めから照射される。直管形蛍光灯８ａ〜８ｄおよび丸形蛍光灯１３ａ〜１３ｃの駆動は図示しないコントローラによって検査対象の印刷面の種類に応じて決定される。このようにＣＤ３に光が照射された状態で、ＣＣＤカメラ４によってＣＤ３の表面が撮像され、この撮像結果に基づいて、ＣＤ３の印刷面の適否が判断される。 （もっと読む）

【目的】数十μm程度の非常に薄い塗装であっても高精度で膜厚を計測できる塗装膜厚計測装置を提供する。
【構成】塗料を塗布した直後の未乾燥塗装表面を撮像する撮像手段１００と、上記撮像手段からの画像情報を画像処理する画像処理手段１０１と、上記画像処理手段で処理された画像処理データに基づいて、塗装表面の凹凸波形のパワースペクトラムにおける長波長領域のピーク波長を求める波長演算手段１０２と、上記長波長領域のピーク波長の値と予め実験で求めた塗装膜厚との関係から、ウエット状態における膜厚を算出する膜厚演算手段１０３と、を備えた塗装膜厚計測装置。 （もっと読む）

【目的】設定キーに不用意に触れて設定値が変化するのを防止することができる色抽出装置を提供する。
【構成】判別を行う対象物の画像をカラーカメラ１にて撮像する。対象物の画像信号が色判別処理部３において処理され、操作パネル４の設定キー５により設定された各パラメータに基づいて判別される。外部機器との間でシリアル入出力部１０あるいはパラレル入出力部１１を介してデータ通信を行うことができる。データ通信が可能な状態では設定キー５の操作はＣＰＵ７には受け付けられない。設定キー５の操作を受け付けられるようにするには、一定時間を越えて切換キー５₁₉が押し続けられなければならない。したがって、設定キー５が不用意に操作されて設定値が意図しない値に変更されるのを防止することができる。 （もっと読む）