【課題】基板が備えるそりやうねりの影響を考慮しながら、正確かつ簡便に、異物の付着や欠陥を有した箇所を異常箇所として検出することができる基板の検査方法、及び、この方法を利用した基板の検査装置を提供する。
【解決手段】基板の表面に対してｐ偏光の光を照射して得られた鏡面反射光から、基板の表面を複数の小領域に分割した分割小領域に対応する画素を有した基板画像を取得し、該基板画像に基づき、異物の付着や欠陥を有した箇所を異常箇所として検出する基板の検査方法であり、ｉ）基板の理論上のブリュースター角θ_Bを含む角度範囲ｄでｐ偏光の入射角を相対的に変化させる入射面内走査とii）入射面と基板とが交わる線を中心軸にして基板を相対的に傾斜させる傾斜走査とを組み合わせて基板画像を取得し、上記で得られた全基板画像において画素の光量が一度もゼロにならない分割小領域を基板の異常箇所として検出するようにする。 （もっと読む）

【課題】長期的に安定した検出感度を得ることができる欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】検査対象が無い状態のラインＣＣＤカメラの各素子の出力値と目標値とから各素子のＳ補正係数を算出する第１のＳ補正係数算出部と、検査対象が有る状態のラインＣＣＤカメラの出力値が所定の範囲になるように照明光を調整する照明調光部と、ラインＣＣＤカメラの各素子に対する第１のＳ補正係数による補正後の出力値と目標値とから第２のＳ補正係数を算出する第２のＳ係数算出部と、ラインＣＣＤカメラの各素子に対する第２のＳ補正係数による補正後の出力値と予め設定された％閾値とから欠陥検査を行うための閾値を設定する閾値設定部とを備える。 （もっと読む）

【課題】表面に光沢を持つ製品の表面形状の検査に用いる光学的な検査装置において、少ないカメラ台数でも広い範囲を検査可能な検査装置を提供すること。
【解決手段】表面に光沢のある検査対象物を検査する検査装置であって、検査対象物を保持または搬送する検査対象物保持搬送手段と、検査対象物の表面状態を撮像可能な撮像手段と、検査対象物と撮像手段の間に配置されるホログラムと、ホログラムの撮像手段がわの面に平行光を照射する照明光源と、を有し、ホログラムは、照明光源から平行光を照射されたときに、前記検査対象物がわの面から所定の距離に収束するような収束光を回折光として発生させるものであり、検査対象物の表面に回折光が照射され、正反射した正反射光が収束する位置に撮像手段およびその撮像光学系が配置されていることを特徴とする表面光沢物の検査装置。 （もっと読む）

【課題】ＬＥＤからなる照明手段を用いて塗装面の焼き付きを防ぐとともに、車輌の塗装面の色の違いによる検査ムラをなくして検査率を向上させ、しかも、検査装置の光源の放熱性能を向上させて熱暴走などに起因する故障や低寿命化を防止した被塗物の塗装面検査装置及びその装置を用いた被塗物の塗装面検査方法を提供する。
【解決手段】被塗物の塗装面に、該塗装面の色彩に応じた発光色を照射可能な光源としてのＬＥＤを有するＬＥＤ保持装置を備え、前記ＬＥＤにより照射した光の前記塗装面からの反射光に基づいて被塗物の塗装面を検査可能とした被塗物の塗装面の検査装置であって、前記ＬＥＤ保持装置は、発色の異なる複数種のＬＥＤを複数個ずつ環状に配置するための保持基盤と、この保持基盤の背後に所定間隔をあけて配設した複数の放熱板と、前記保持基盤及び前記放熱板を挿貫して連結固定するための縦杆と、を具備することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】検査光の干渉に起因する検出不良を解消することのできるパーティクル検出用光学装置を提供すること。
【解決手段】パーティクル検出装置では、パーティクル検出用光学装置において、基板４の基板表面４ａに検査用光源部から検査光Ｌを照射し、基板表面４ａのパーティクルＰによって散乱された検査光Ｌの散乱光を撮像部２９により撮像し、得られた画像データに基づいて基板４上のパーティクルＰを検出する。検査用光源部は光源としての発光ダイオード４１、発光ダイオード４１から射出された発散光を収束光に変換する凸レンズ４４、凸レンズ４４から出射された収束光を検査光Ｌとして平面検査領域２４に向けて出射すると共に平面検査領域２４に沿って走査する走査ミラー４３２を備えており、検査光Ｌは、発光ダイオード４１から出射されたインコヒーレント光の収束光である。 （もっと読む）

【課題】画像検査システムにおける画像レイアウトを柔軟に変更する。
【解決手段】撮像部１によって製品を撮像して得た画像データを用いて、当該製品の良否を検査する検査制御／処理部４と、検査制御／処理部４によって検査される製品の画像データ又は製品の検査結果を含む画像を表示する表示部８と、表示部８の表示領域を分割し、当該分割領域のサイズ及び位置を調整して複数の画像を表示させる表示制御部６とを備え、検査制御／処理部４によって画像データの処理を行っている最中に、表示制御部６によって、分割領域のサイズ及び位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】セラミック成型体に対して検査液を適量かつ持続的に付与でき、簡便にセラミック成型体の外観を検査できる外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１では、検査対象のセラミック成型体Ｓが載置される載置部１１が複数の孔を有する多孔質体からなり、載置部１１の底面１１ｂ側が検査液貯留部１３内に配置されている。したがって、検査液貯留部１３内の検査液Ｖが毛管現象によって載置部１１の底面１１ｂから載置面１１ａに伝わり、載置面１１ａにおいて、セラミック成型体Ｓに対して検査液Ｖを適量かつ持続的に付与できる。これにより、外観検査装置１では、簡便にセラミック成型体Ｓの外観を検査することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】欠陥面積の合計値のみから画像の欠陥の度合いを評価する場合に比べて、それぞれの欠陥の特徴による人間の視覚への影響を考慮した評価の指標となる評価指標を提供する。
【解決手段】画像中の検査領域の面積を検査領域面積算出部１１で算出し、また検査領域に存在する欠陥の面積を欠陥面積算出部１２で算出する。さらに、第１重み係数設定部１３は欠陥に対する人間の検出感度特性に対応する第１重み係数を欠陥ごとに設定する。例えば欠陥の大きさに対応する第１重み係数を欠陥ごとに設定する。評価指標算出部１４は、欠陥面積算出部１２で算出した欠陥の面積と検査領域面積算出部１１で算出した検査領域の面積を用いた評価指標に、第１重み係数設定手段で設定した第１重み係数を用いて重み付けを行い、検査領域の欠陥の度合いを示す評価指標を算出する。 （もっと読む）

【課題】シート部材の性状に左右されることなく、シート部材の表面における微少な歪みを検出することが可能なシート部材の歪み検査装置及び歪み検査方法を提供する。
【解決手段】シート部材２の一面２ａに対向して配置され、一面２ａ上に、複数の点状またはスポット状の光被照射領域をマトリックス状に照射可能な光源３と、シート部材２の一面２ａに対向して配置され、一面２ａに照射された複数の前記光被照射領域の相互の間隔及び／または前記光被照射領域の照射範囲の形状を検出可能な検出装置４と、検出装置４によって検出された光被照射領域の相互の間隔及び／または光被照射領域の照射範囲の形状に基づいて、シート部材２の一面２ａにおける歪みの有無を判定する判定手段と、を具備してなるシート部材の歪み検査装置１を採用する。 （もっと読む）

【課題】表面疵検査の広範囲化、高速化に対応して安定した光切断凹凸疵検出ができる、スリット光輝度分布設計方法および光切断凹凸疵検出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】測定対象にスリット光を照射し、その反射光をスリット光源とは異なる角度から撮像し、撮像画像に基いて凹凸疵を検出する光切断凹凸疵検出方法における、スリット光輝度分布設計方法であって、輝度分布が既知であるスリット光源Ａを用いた測定対象の撮像装置方向への平均反射率を測定する平均反射率測定工程と、測定された平均反射率に基いて、前記反射光が一様な輝度として撮像されるためのスリット光源の最適輝度分布を算出するスリット光輝度分布算出工程と、を有する。 （もっと読む）