【課題】走査顕微鏡により試料を画像化する方法および装置を提供する。
【解決手段】走査顕微鏡により試料（２８）を画像化する方法と装置を開示する。複数の試料点を走査ビーム（１４）により連続する走査時間区間で走査し、それぞれに走査された試料点からの発光の強度を、関連する走査時間区間内に繰り返し感知し、それぞれに走査された試料点から感知された強度から強度平均値を平均値画像点信号として求め、平均値画像点信号を合成して平均値ラスタ画像を生成するようになされている。さらに、それに加えて、それぞれに走査された試料点において感知された強度から強度分散値を分散画像点信号として求め、分散画像点信号を合成して分散ラスタ画像信号を生成するようになされている。 （もっと読む）

【課題】繰り返しパターンの線幅の測定精度を向上させた表面検査方法を提供する。
【解決手段】所定の繰り返しパターンを有するウェハの表面に直線偏光を照射する照射ステップ（Ｓ１０２）と、直線偏光が照射されたウェハの表面からの反射光を受光する受光ステップ（Ｓ１０３）と、対物レンズの瞳面と共役な面において、反射光のうち直線偏光の偏光方向と垂直な偏光成分を検出する検出ステップ（Ｓ１０４）と、検出した偏光成分の階調値から繰り返しパターンの線幅を求める演算ステップ（Ｓ１０５）とを有し、演算ステップでは、瞳面における対角線上の瞳内位置および対角線外の瞳内位置での階調値から、繰り返しパターンの線幅を求める。 （もっと読む）

【課題】表面凹凸を有する防眩処理用金型の表面について焦点の合った鮮明な拡大画像を取得することができ、もって、欠陥の検出および欠陥か否かの判別を精度良く行なうことができる検査装置を提供する。
【解決手段】表面にめっき層を有する防眩処理用金型のめっき表面を検査するための検査装置であり、めっき表面の少なくとも一部に光を照射する照明と、光照射される領域のめっき表面の画像を取得する、解像度が２５０μｍ以下のカメラと、該画像に対してエッジ抽出フィルタ処理を行ない、処理画像を得る画像処理手段と、該処理画像の明度分散値を計算する第１の演算手段と、カメラを移動させて、カメラとめっき表面との間の距離を変化させるカメラ移動手段と、上記明度分散値が最大となるカメラ位置を検出する合焦位置検出手段とを備える検査装置である。 （もっと読む）

【課題】加工物の表面欠陥を自動的に検出するとともに、作業者に対して安全な環境を維持しつつ、その表面欠陥の位置を正確かつすばやく明示し、その後の表面欠陥の再加工を円滑に行わせることのできる表面欠陥検出・指示システムおよび表面処理の伴う加工物の製造方法を提供する。
【解決手段】ロボットの動作範囲内に表面処理された加工物を置いて、その加工物の表面をスキャンさせ、表面欠陥があったときには、その欠陥位置を特定する情報を記憶させておき、そのスキャン後に、加工物をロボットの動作範囲外におき、欠陥位置情報をもとに指示器がその表面欠陥の位置を光で照射することのほか、その照射した光が指し示す加工物の表面部位に対して再表面処理を行う。 （もっと読む）

【課題】ハイライトからシャドーまでの全濃度域において一定の検査精度を確保する。
【解決手段】プリンタ１３は印刷媒体の属性情報を記憶するメモリ２９ａを有し、画像読取装置１５で読み取られて出力された検査画像データと、プリンタ１３へ入力された元基準画像データと、印刷媒体の属性情報と、を取得するデータ取得部２０と、属性情報の補正パラメータを記憶しておく補正パラメータ記憶部２１ａと、データ取得部２０で取得した属性情報に対応する補正パラメータを用いて元基準画像データを補正し、補正後基準画像データを生成する画像生成部２１と、検査画像データおよび基準画像データから検査画像データを生成し、検査画像データと補正後基準画像データとの一致度を、予め定めた値を用いて比較して印刷画像の画像検査を行う画像検査部２２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】簡易迅速に潤滑油中の異物の性状、大きさを検出することができるエンジン用潤滑油の異物検出装置およびエンジンシステムを提供する。
【解決手段】本実施例に係るエンジン用潤滑油の異物検出装置４０Ａは、ディーゼルエンジン１０に供給される潤滑油３２の一部を新油３２Ａとして抜き出す新油分取ラインＬ１１と、ディーゼルエンジン１０から排出される潤滑油３２の一部を使用油３２Ｂとして抜き出す使用油分取ラインＬ１２と、新油分取ラインＬ１１および使用油分取ラインＬ１２から抜き出した新油３２Ａ、使用油３２Ｂ中に含まれる異物の外形を画像により検出する検出装置４１と、を有し、検出装置４１で得られた検出結果から使用油３２Ｂ中に含まれる異物を検出し、かつディーゼルエンジン１０の運転継続の可否を判断する。 （もっと読む）

【課題】物体の表面を撮像して生成される画像に基づいてその表面におけるクラックの有無を判定する表面検査装置を提供すること。
【解決手段】匣鉢の表面を検査する表面検査装置１００は、その匣鉢の表面を撮像して処理対象画像を生成する処理対象画像生成部１０と、その処理対象画像に対して画像処理を施し、その処理対象画像において所定方向に延びる線状オブジェクトを顕在化させた顕在化画像を生成する顕在化画像生成部１１と、その顕在化画像における線状オブジェクトによって形成されるクラック候補の端部位置に基づいてその匣鉢の表面におけるクラックの有無を判定するクラック有無判定部１２と、を備える。 （もっと読む）

【課題】被検査体の移動速度が大幅に変化する場合でも、被検査体上の疵を安定して検出する。
【解決手段】移動する被検査体２から反射された光を受光するラインセンサカメラ１と、ラインセンサカメラ１から一定周期で出力される撮像信号を一時記憶する撮像信号用バッファ６と、被検査体２の移動距離を検出するロータリエンコーダ９と、ロータリエンコーダ９によって検出された被検査体２の移動距離が所定間隔に達した時点で、撮像信号用バッファ６に一時記憶されている撮像信号を読み出す制御を行う画像取り込み制御ユニット８ｂと、撮像信号用バッファ６から読み出された撮像信号から被検査体の表面の疵候補点を検出する疵検出部とを備える表面検査装置。 （もっと読む）

【課題】
試料表面に非接触で超音波励起を行い、超音波を励起した点を光干渉計測する手段を用いた非接触で試料内部の観察を行うことにより、稼動部分が無く、コンパクトな構成で、高感度で非破壊・非接触に内部欠陥を検査する。
【解決手段】
検査対象の試料から離れた場所から超音波を発射してこの超音波を試料に照射し、この試料の表面の超音波が照射された箇所に偏光の状態が制御された偏光光を照射し、この偏光光が照射された試料の表面からの反射・散乱光のうち照射した偏光光と同じ偏光特性を持つ光を光検出器で検出し、この光検出器で検出した信号を処理して試料の内部の欠陥を検出する内部欠陥検査方法及びその装置とした。 （もっと読む）

【課題】検査対象物について検査装置を用いて得た検査計量値を基に検査対象物の良否を判定する検査装置において、検査対象物が良品であるか不良品であるかを判定する良品判定基準を設定する良品判定基準設定方法。
【解決手段】複数の良品について検査装置を用いて得た良品計量値の分布と、複数の不良品について検査装置を用いて得た不良品計量値の分布とを求め、前記良品計量値の分布と、前記不良品計量値の分布とを、横軸を検出画素数、縦軸をサンプル数として同一の画面上に表示し、当該同一の画面上において両者を比較して、上限の良品判定基準を、前記良品計量値の分布において上限側における不良品計量値の分布の下限より小さなものに設定し、下限の良品判定基準を、下限側における不良品計量値の分布の上限より大きなものに設定する。 （もっと読む）