【課題】カメラぶれが生じた場合であっても、短時間にて、亀裂や膜形成不具合などがあるろ過膜板の有無を判定することができる画像処理によるろ過膜板検査装置を提供することにある。
【解決手段】水槽の上方に取り付けられ、当該水槽内の液体に浸漬して配置された複数のろ過膜板を撮影するカメラ２と、複数のろ過膜板へ空気を圧送しつつカメラにより前記複数のろ過膜板を撮影して得られた画像信号から入力画像を作成する入力画像作成部２１ａと、入力画像作成部により作成された２つの前記入力画像に基づきオプティカルフローを計算してオプティカルフローの計算結果を出力するオプティカルフロー計算処理部２１ｂと、前記オプティカルフローの計算結果に基づき破損ろ過膜板の有無を判定し、結果データを出力する破損ろ過膜板の有無判断処理部２１ｃとを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】複雑な形状の検査対象物を精度よく外観検査可能な外観検査装置を提供する。
【解決手段】外観検査装置１００は、検査対象物１０に対し傾斜配置され所定回転角度毎に検査対象物１０を撮像する撮像部４０と、撮像部４０の画像信号を処理し輝度画像データＧ１〜Ｇ２４を生成する輝度画像生成部Ｓ１２と、輝度画像データＧ１〜Ｇ２４において同位置の画素を輝度値の大きさ順に並び変え輝度画像データＧ１〜Ｇ２４を変換画像データｇ１〜ｇ２４に変換する画像変換部Ｓ１４と、変換画像データｇ１又は変換画像データｇ２４の各画素の輝度値から、変換画像データｇ２〜ｇ２３のうちの一つの変換画像データの各画素の輝度値を差し引くことで、判定用画像データｇ’を生成する判定用画像生成部Ｓ１５と、判定用画像データｇ’の各画素の輝度値に基づいて、検査対象物１０の外観異常を判定する異常判定部Ｓ１６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】ノズル穴に生じる欠陥の種類を特定可能なノズル外観検査装置、およびノズル外観検査方法を提供すること。
【解決手段】ノズル外観検査装置１００は、ノズル穴の開口部の画像を取得する画像入力手段６０と、画像の二値化画像を生成する二値化手段６１と、二値化画像からノズル穴の内輪郭および外輪郭を検出する輪郭検出手段６２と、内輪郭の近似円である内輪郭近似円および外輪郭の近似円である外輪郭近似円を算出する近似円算出手段６３と、内輪郭および外輪郭と内輪郭近似円および前記外輪郭近似円とを比較して、内輪郭および外輪郭の形状の特徴を示す特徴フラグを内輪郭および外輪郭上の各点に対して設定するフラグ設定手段６４と、特徴フラグに基づいて欠陥の種類を示す欠陥フラグを設定し、欠陥の種類とその位置を検出する欠陥検出手段６５と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】複数のろ過膜板が搭載されるろ過装置において、亀裂や膜形成不具合などの欠陥の有るろ過膜板を自動的に特定することができる画像処理によるろ過膜板検査装置を提供することにある。
【解決手段】水槽内の液体に浸漬して配置された複数のろ過膜板を撮影する上部カメラ１１と、複数のろ過膜板を上部カメラにより撮影した基準画像と、複数のろ過膜板へ気体を圧送しつつ上部カメラにより撮影した入力画像とを比較して、差分画像を作成する差分処理部１３と、差分画像に対して二値化処理を行うことにより二値画像を作成する二値化処理部１４と、二値画像に基づき変化が発生した画素の分布を計算して分布データを出力する変化分布計算部１５と、分布データに基づき、欠陥の有るろ過膜板を特定して結果データを出力する欠陥有無判断部１７とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】全体のコンパクト化が図れるとともに、設置の際にブースを大幅に改造するのを抑えることができる塗布ムラ検査装置を提供する。
【解決手段】ステージ上の基板に光を照射する照射部と、塗布膜により反射された光を受光する受光部とを有し、受光部における受光状態から基板上に形成された塗布膜の塗布ムラを検出する塗布ムラ検査装置であって、前記塗布ムラ検査装置の照射部は、片面側に均一な光を照射する導光板と、この導光板の側面に設けられるＬＥＤ発光部と、を有しており、前記導光板の照射側と反対側には、導光板の一の側面側から吸気し他の側面側から排気することにより照射部から発生する熱を排出する排熱冷却部が設ける構成する。 （もっと読む）

【課題】液晶表示パネルを高速搬送しながら高精度に検査することで良質の液晶表示パネルを高速に連続生産することができる。
【解決手段】製造装置と検査装置とが液晶セルおよび液晶表示パネルを搬送する一連の搬送装置に配置されており、この検査装置は、搬送装置の一方面側であって、搬送装置により搬送される液晶表示パネルに対して、当該搬送装置の幅方向に平行なライン状光を照射する光照射部と、搬送装置の他方面側であって、光照射部によるライン状光の照射方向に対して搬送装置の搬送方向またはその反対方向に所定角度傾斜した位置に配置され、搬送装置により搬送される液晶表示パネルのライン状光が照射された領域を搬送装置の幅方向に平行なライン状にかつ連続的に撮像する撮像部とを有する。 （もっと読む）

【課題】ドライフィルムが積層された基板の蛍光イメージと散乱光イメージ、そして反射光イメージをさらに検出して、露光工程で発生する様々な欠陥を容易に検出できるようにしたパターン欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】光を生成して出射する光源１１と、光源１１から出射される光を基板２０にスキャンするスキャンミラー１４と、基板２０で蛍光された蛍光イメージを検出する蛍光イメージ検出部１７と、基板２０で散乱された散乱光イメージを検出する散乱光イメージ検出部１９と、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】被検査物が複雑な形状である場合でも、精度よく欠陥を検出することができる欠陥検出方法及び欠陥検出装置を提供する。
【解決手段】欠陥検出方法は、撮像工程により被検査物を撮像し、エッジ検出工程により得られた画像データに基づいて、構造パターンの外周形状であるエッジを検出し、ライン検出工程により、エッジの最外周画素の集合であるラインを検出し、構造ライン取得工程によりエッジが境界となる複数の構造パターンに対してそれぞれに接するラインである構造ラインを取得し、エッジ幅取得工程により２つの異なる構造ライン間の距離をエッジ幅として取得し、平均エッジ幅算出工程により同じ構造ライン上の任意の２点を始点及び終点として設定し、始点から終点までの平均エッジ幅を取得する。そして、欠陥検出工程により、平均エッジ幅とエッジ幅とを比較し欠陥を検出する。 （もっと読む）

【課題】パターンを形成したウェハの検査において、表面の内部もしくは表面上の異常の有無を判定できる表面検査法を提供する。
【解決手段】サンプル表面２０ａからの散乱光は表面２０ａに対して垂直な線に対して略対称の光を集束する集束器３８，５２によって集束される。集束光は、異なる方位角で経路へと導かれ、集束した散乱光の線に対する相対的方位角位置に関する情報が保存される。集束光は、垂直な線に対して異なる方位角で散乱した光線を表すそれぞれの信号に変換される。異常の有無および／または特徴は、この信号から判定される。あるいは、集束器３８，５２によって集束された光線は、予測されるパターン散乱の角度差に対応する角度の環状ギャップを有する空間フィルタによって濾波され、狭角および広角集束経路から得た信号は比較され、マイクロスクラッチと粒子との間を識別する。 （もっと読む）

【課題】客観的な劣化診断を可能とし、診断結果のばらつきを低減することを課題とする。
【解決手段】前記課題を解決するために、本発明の設備劣化診断装置１は、設備機器に発生した錆を撮影した錆画像を用いて、設備機器の劣化の程度を診断する設備劣化診断装置であって、錆画像を取得する情報取得部１０と、錆画像において色空間上の明度変化量と明度変化量に対応する色空間上の彩度変化量とに基づいて、錆の状態を診断する錆診断部２０と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）