【構成】 MEMSガスセンサを用いてガスを検出する。ガスセンサのヒータへの電力を、低レベルと、検出対象ガスの検出に適した高レベルと、０レベルとの間で変化させることにより、低レベルで被毒ガスを蒸発もしくは酸化し、高レベルで検出対象ガスを検出する。
【効果】 MEMSガスセンサの被毒を防止する。 （もっと読む）

【課題】製造工程の簡素化と信頼性の向上を図ることができるジュール熱を利用するガスセンサを提供すること。
【解決手段】ガス導入口８ａを供えたケース８にガス検知素子１と温度検出素子５とを収容したガスセンサにおいて、ガス検知素子１がその両端を第一と第二のステー３，３の上端に固定され、また温度検出素子５が、チップ型素子でケース８の底部の蓋を構成する基板６に実装され、ガス検知素子１が収容されている空間と、温度検出素子５が収容されている空間とが連通孔４ｂを介して接続され、かつ非見通し状態にある。 （もっと読む）

【課題】薄膜ヒータのオンオフに伴いベースに働く熱応力を、緩和する。
【解決手段】半導体基板のキャビティ８に、中心に孔１１を備えかつ薄膜ヒータを有する絶縁膜７を配置する。孔１１から見た絶縁膜７の一端とその反対側の端部との間に、孔１１の周囲を取り巻きかつ折り返すように薄膜ヒータが配置され、薄膜ヒータの各部は互いに直列に接続されている。孔の一方で他方に比べて薄膜ヒータの配線１２が１本少なく、孔の一方に薄膜ヒータと同材質でかつヒータ電流が流れないダミーの配線１６，１７が１本設けられている。
【効果】薄膜ヒータのオンオフに伴う熱応力を緩和できる。 （もっと読む）

【課題】測温抵抗体（ＲＴＤ）を用いたステータ巻線の熱異常の診断システムを提供する。
【解決手段】ステータ巻線内の少なくとも１つのセンサから長時間にわたりＲＴＤ読取り値を得る入力システム（１９）と、各ＲＴＤ読取り値を電機子電流に関して正規化する正規化システム（２０）と、１組の正規化されたＲＴＤ読取り値における傾向を分析して、ステータ巻線の熱挙動を示す分析システム（２４）とを含む、第１のシステム（１０）が提供される。ステータ巻線内の共通の軸方向位置にある複数のセンサから、１組のＲＴＤ読取り値を得る入力システム（１９）と、１組のＲＴＤ読取り値から、最大値と中間値との差値を計算する計算システム（２２）と、１組の差値の長時間にわたる傾向を分析して、ステータ巻線の熱挙動を示す分析システム（２４）とを含む、第２のシステムが提供される。 （もっと読む）

【課題】ガスの特性を容易に測定可能な温度拡散率測定システムを提供する。
【解決手段】発熱素子が複数の発熱温度で発熱したときの計測対象混合ガスの放熱係数又は熱伝導率の値を計測する計測機構１０と、複数の発熱温度に対する放熱係数又は熱伝導率を独立変数とし、温度拡散率を従属変数とする温度拡散率算出式を保存する温度拡散率算出式記憶装置４０２と、温度拡散率算出式の複数の発熱温度に対する放熱係数又は熱伝導率の独立変数に、複数の発熱温度に対する計測対象混合ガスの放熱係数又は熱伝導率の値を代入し、計測対象混合ガスの温度拡散率の値を算出する温度拡散率算出部３０５と、を備える温度拡散率測定システムを提供する。 （もっと読む）

【課題】構成部品数が少なく簡単な構成からなり、オゾン濃度を継続的かつ良好に測定することが可能なオゾン濃度計を提供する。
【解決手段】複数の貫通孔３が形成されたシート状である金属製の検知用基材５Ａ、この検知用基材５Ａに担持されてオゾンと接触することにより熱を発生させる触媒、及び、検知用基材５Ａに固定され、検知用基材５Ａの温度変化を感知する検知用感知部材７を有する検知部１１Ａと、検知用感知部材７が接続され、検知用感知部材７で生じた電気的な変化を受信して温度に換算する検知用換算部１３と、を備えるオゾン濃度計１Ａ。 （もっと読む）

【課題】簡単に検出素子と比較素子との熱的バランスを評価することができるガスセンサの性能評価方法及びガスセンサの性能評価装置を提供する。
【解決手段】検出素子Ｒｓ及び比較素子Ｒｒを含むブリッジ回路Ｂに交流電源３から交流電圧を供給する。その後、検出素子Ｒｓ及び比較素子Ｒｒの温度が２００℃〜４００℃になるように交流電圧の大きさを調整する。次に、交流電圧を供給したときのブリッジ回路Ｂの中点電位差Ｖ０が最小になるようにブリッジ回路Ｂを構成する可変抵抗Ｒｖを調整する。可変抵抗Ｒｖを調整した後に検出素子Ｒｓ及び比較素子Ｒｒの温度が２００℃〜４００℃になるように交流電圧の大きさを再び調整する。その後、ブリッジ回路Ｂの中点電位差Ｖ０の大きさに基づいてガスセンサ２を評価する。 （もっと読む）

【課題】ガス検出部への水分の浸入を防止することができるガスセンサを提供すること。
【解決手段】ガス検出部（１４）を覆う疎水性の第１の膜（１６）と、前記第１の膜（１６）の隣に設けられた、親水性の第２の膜（１７）または吸水性の第３の膜（１８）とを備えている。本発明によれば、ガスセンサの使用時、不使用時共に、水分がガス検出部に浸入・接触しない構造を有する耐水性の優れたガスセンサを実現でき、湿潤雰囲気中にセンサオフの状態で長時間置いた後でも、センサオン時に速やかに正常なガス検出を行うことが可能となる。 （もっと読む）

【課題】高速応答性及び検出精度をそれぞれ向上させることができる水素センサを提供することを目的としている。
【解決手段】水素に反応して性質が変化する特性を有する検出部２を備え、検出部２の性質変化を基に空気中の水素濃度を検出する水素センサ１であって、検出部２が、少なくとも一部が屈曲又は湾曲した線状部材２２により構成されている。 （もっと読む）

【課題】 全体の小型化、コストダウンを図りつつ、測定対象ガスと酸化触媒粒子との接触断面積の増大及び酸化反応熱の伝達性の効率化を図るとともに、サーモパイルに熱的、力学的なストレスを与えないようにして測定感度及び測定精度の著しい向上を実現できる可燃性ガスセンサを提供する。
【解決手段】 Ｓｉ基板２の上面に、サーモパイル４が形成され、このサーモパイル４の温接点部表面の絶縁膜５ａ上に、有機シラン化合物の有機官能と絶縁膜５ａとの結合により自己組織化膜６を生成し、この自己組織化膜６の表面にＰｔ等の酸化触媒粒子７を化学結合により担持させてなる。
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