【課題】半導体ウェーハのエッジ部の破壊強度の評価において、測定結果のバラツキを低減して、精度の良い評価を実施できる方法及び装置を提供することを目的とする。
【解決手段】半導体ウェーハのエッジ部の破壊強度を評価する方法であって、前記評価する半導体ウェーハの所定の結晶方位に対応するエッジ部に荷重を付与して、前記半導体ウェーハのエッジ部の破壊強度を評価することを特徴とする半導体ウェーハの評価方法及び半導体ウェーハの評価装置。 （もっと読む）

【課題】 斜め耐衝撃性試験をばらつきなく行うことができ、もってＪＩＳ規格試験等の試験を正確に行うことが可能な耐衝撃性試験装置を提供する。
【解決手段】 被試験物に重りを衝突させることで耐衝撃性を試験する耐衝撃性試験装置であって、上記被試験物を載置する架台１Ａと、該架台１Ａに囲設される機枠１Ｂと、を備えており、上記重り１７は、ベルト１５Ｅを介して上記機枠１Ｂの上端部から吊り下げられており、上記ベルト１５Ｅの上端部は、上記機枠１Ｂ上に設置されている巻き上げ機構１５に巻き取られており、更に上記機枠１Ｂの上端部からは、下方に向かって支持台１４が吊下されており、上記支持台１４は、左右二本の支柱１４Ａと、該支柱１４Ａの下端部に取付けられている開閉式の支持扉１４Ｂとからなり、上記支持台１４は、上記架台１Ａに載置された被試験物に対して所定の傾斜角度となるように、上記機枠１Ｂに対して傾動自在に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】防護柵等に対して土砂や土石流を加え、客観性の高い耐衝撃性能評価を可能にするシンプルな構成の土砂流下試験装置を提供する。
【解決手段】傾斜面１２の上流側に設置され、底面２４ａが傾斜面１２の向きに傾斜した土砂収容部１６を有し、当該土砂収容部２４の最深部の側面に、土砂Ｗを排出する排出口２６が開口した土砂貯留槽を備える。板状体の一端である軸着端１８ａが排出口２６の周縁部外面に軸着され、排出口２６を外側から閉鎖できる回動自在な開閉部材を備える。開閉部材１８の内面の開閉端部１８ｂ寄りの位置に、一端が固定されたワイヤを備える。開閉部材１８を内側に引っ張るワイヤを２０保持することによって開閉部材１８が排出口２６の閉鎖状態を維持すると共に、ワイヤ２０を解放することによって開閉部材１８を回動自在な状態にする。 （もっと読む）

【課題】一定の周期で繰り返し錘を落下させて、迅速に精度よく耐衝撃性を評価することが可能なコンベヤベルトの衝撃試験装置および方法を提供する。
【解決手段】上下方向に架設される環状体４の周方向長さを二分割する位置のそれぞれにラック３ａ、３ｂを設け、一方のラック３ａに錘６を保持した状態で、環状体４を回転駆動して錘６を所定の位置まで上方移動さて、保持解除部材２ｃによって錘６を前方に押出してラック３ａの保持から解除し、本体フレーム２に上下方向に延設されたガイド溝２ｂにガイドさせて錘６を自由落下させ、その際に姿勢矯正機構７により錘６をガイド溝２ｂに沿った方向に姿勢矯正させ、下方に配置されたコンベヤベルトの試験体ＣＶに衝突させて跳ね上がった錘６を、回転駆動されてきた他方のラック３ｂで捕捉して保持した状態にして錘６を所定の位置まで上方移動させて錘６の自由落下を繰り返す。 （もっと読む）

【課題】車輪を対象物に衝突させたときの変位を正確に計測することが可能な落錘試験装置を提供する。
【解決手段】車輪が横まくらぎ７１に衝突したときの変形を計測するための落錘試験装置１である。そして、上方から横まくらぎに向けて落下させる重錘２と、重錘の下面に設けられる車輪を模擬した車輪型接触子３と、車輪型接触子から水平方向に延伸される複数のターゲット板４Ａ，４Ｂ，・・・と、時刻とともにターゲット板の変位をそれぞれ計測する変位計５，・・・と、時刻とともに重錘の加速度を計測する加速度計６とを備えている。 （もっと読む）

【課題】衝撃パルス幅の調整のための時間を短縮して、効率的に衝撃環境試験を行うことが可能なばねの弾性エネルギを利用した衝撃試験装置を提供する。
【解決手段】供試体１７が固定される搭載台１４と、搭載台１４を所定高さに固定して、所定以上の力が作用することによって破断する破断ボルト１３と、破断ボルト１３を介して搭載台１４を上方に引き上げるシリンダ９と、搭載台１４に設けられて、シリンダ９によって圧縮されることにより搭載台１４に下方に向かう力を付加するばね１６と、搭載台１４の下方に設けられて、ばね１６に付加された下方に向かう力によって搭載台１４が衝突する衝突部材１５と、を備え、ばね１６の弾性係数が変更可能とされていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 従来特許の方法ではシリコンウェーハの破壊強度の評価が極めて困難になり、評価法の改善が求められてきた。
【解決手段】 半導体ウェーハの衝撃強度を評価するための装置であって、少なくとも、打撃物質と、該打撃物質を任意の所望の高さから落下させるための落下手段と、半導体ウェーハである試料を、ウェーハの径方向が前記打撃物質の落下方向と等しくなるように支持する押さえ手段とを具備し、前記押さえ手段により前記試料を、ウェーハの径方向が前記打撃物質の落下方向と等しくなるように支持した状態で、前記落下手段により前記打撃物質を前記所望の高さから前記試料のエッジ部に向けて落下させることができるものであることを特徴とする半導体ウェーハ評価装置。 （もっと読む）

【課題】試験対象物を載置するテーブル形状を変更して、装置構成が簡単でかつ小型化が図れると共に、操作も簡単な落下試験機を提供する。
【解決手段】試験対象物１０の落下試験装置２０を、基台１１に突設した支柱１２、支柱１２にスライド可能に取り付けられて基準位置に固定できる昇降部材１３、昇降部材１３を所定距離だけ重力加速度を超える加速度で強制落下させる垂直移動機構１４、昇降部材１３に対して水平方向に移動可能で移動方向に対して左右に４５度ずつの角度を備える切欠部１６を備える試験対象物の載置テーブル１５、及び昇降部材１３の強制落下中に載置テーブル１５を移動させて試験対象物１０の落下範囲から取り除く水平移動機構１８とから構成する。そして、載置テーブル１５に試験対象物１０を斜めに置くことにより、落下試験時の載置テーブル１５の水平方向の移動量を低減して落下試験機を小型化した。 （もっと読む）

【課題】 対象物の衝撃強さの評価を容易に高精度で行うことができる製品の衝撃強さ評価装置を提供する。
【解決手段】 衝撃試験により得られる対象物の破損部位の衝撃強さに対応する時系列加速度データを、波形が異なる２つの衝撃パルスのそれぞれについて記憶する記憶手段２１と、時系列加速度データを用いて各衝撃パルスに対する衝撃応答スペクトルを算出し、２つの衝撃応答スペクトルから破損部位の固有振動数を取得する固有振動数取得手段２３と、取得した固有振動数を用いて破損部位の伝達加速度を算出し、固有振動数および伝達加速度から破損部位の損傷境界曲線を導出するＤＢＣ導出手段２４とを備える衝撃強さ評価装置。 （もっと読む）

【課題】電池の側面の面積が非常に小さく、電池の側面を接地面に接地させて電池を立てることが難しい電池であっても、縦圧壊試験を安定して正確に行うことができる電池試験方法及び電池試験装置を提供する。
【解決手段】本発明の電池試験装置は、直方体あるいは略直方体の電池４の側面に対し、衝突力を与えて電池の安全性を確認する電池試験方法であって、電池４の第１の側面に衝突力を与える場合、電池４の第１の側面とは反対側の第２の側面が接地面に接地するように、電池４の両主面側から挟持部材７を用いて挟持する接地工程を含む。 （もっと読む）