【課題】スティッキングに関しての自己診断を行うことを可能としながらも、簡易な構成で済ませる。
【解決手段】制御回路は、自己診断の実行が指示されると、固定電極部と可動電極部との間に第２の自己診断用信号を印加してセンサ感度の良否を判定する感度診断を実行した後、第１の自己診断用信号に切替えてスティッキング診断を実行する。固定電極部に印加する搬送波ＦＥ１及びＦＥ２の波形は、５Ｖと０Ｖとの間での振幅を有し所定のデューティ比を有するパルス状の信号であり、可動電極部の共振周波数に近く５倍以上の共振倍率を得る自己診断周波数ｆとする。可動電極部に印加する信号を、所定のデューティ比を有し自己診断周波数ｆのパルス状の信号とすると共に、感度診断においては中間電圧（２．５Ｖ）と４．０Ｖとの間の振幅を有し、スティッキング診断においては中間電圧とより高い電圧（５Ｖ）との間の振幅を有するものとする。 （もっと読む）

【課題】電気ノイズや温度などの外乱の影響を抑制でき且つ高精度化が可能なセンサ装置を提供する。
【解決手段】センサチップ１の出力信号を信号処理する回路部Ｄｃが、第１のパッケージ用基板２におけるセンサチップ１との対向面側に形成されるとともに、第１のパッケージ用基板２に、センサチップ１および回路部Ｄｃと電気的に接続される貫通孔配線２４が形成されてなり、センサチップ１と第１のパッケージ用基板２とは、互いの対向面それぞれに形成されたパッド１９，２９の一方のパッド２９の表面に形成したバンプ９と他方のパッド１９とが常温バンプ接合により接合されている。回路部Ｄｃは、温度検出部、温度補償回路を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】自己診断出力の短絡異常を判別可能な容量式物理量検出装置を提供する。
【解決手段】物理量の変化に応じて変位する可動電極と該可動電極に対向配置された固定電極からなる検出部と、一方の入力が可動電極に接続され、他方の入力が、自己診断でない通常動作時には容量変化を検出するための基準電位に接続され、自己診断時には基準電位と異なる自己診断用電位に接続される差動増幅器を含み、可動電極と固定電極との間の容量変化に応じた電圧を出力するＣ−Ｖ変換回路と、を有する容量式物理量センサを複数備え、各センサの基準電位が互いに同電位であり、且つ、同一のタイミングで自己診断がなされる容量式物理量検出装置であって、２つの容量式物理量センサの自己診断用電位を互いに異なる電位とした。 （もっと読む）

【課題】 坂路および道路の混雑状況による影響を排除でき、より正確なゼロ点補正を実現することができる加速度検出装置および加速度センサのドリフト誤差補正方法を提供する。
【解決手段】 加速度検出装置は、車両が所定距離走行する毎のＧセンサ出力値を平均化してＧセンサ出力値のゼロ点からのドリフト量を算出するドリフト量算出部１３と、ドリフト量に基づいて、Ｇセンサ出力値のゼロ点補正を行うゼロ点補正部１４と、を備える。 （もっと読む）

【課題】基板１に対して相対的に変位可能なサイズモ質量体２と電極面３とを備え、該電極面３が、少なくともサイズモ質量体２の部分と共に回路技術的に、サイズモ質量体２の変位に基づく容量を有する少なくとも１つのキャパシタを形成している形式の、マイクロマシン構造の慣性センサを改良して、マイクロマシン構造の慣性センサ特にＺセンサの出力信号に作用する、変動する表面負荷の影響を低下させる可能性を提供する。
【解決手段】少なくとも１つの別の補助電極（５）が設けられていて、該補助電極（５）がキャパシタを形成する領域（４）の外側に位置していて、サイズモ質量体（２）の電位とは異なる電位に設定可能である。 （もっと読む）

【課題】 より正確なゼロ点補正を実現できる加速度検出装置および加速度センサのドリフト誤差補正方法ならびにそれを用いたニュートラル制御装置を提供する。
【解決手段】 加速度検出装置１１は、坂路停止時のＧセンサ信号に基づいて、坂路停止時加速度検出値を検出するＮ制御入りＧ算出部１５と、Ｇセンサ信号に基づいて、車両が当該坂路停止状態から走行状態へと移行する際の、車両のずり下がりに伴う加速度変化量ΔＧを検出するΔＧ算出部１７と、加速度変化量ΔＧに基づいて、当該坂路停止時の坂路停止時加速度推定値を算出する加速度推定部１８と、坂路停止時加速度推定値と坂路停止時加速度検出値との偏差から、加速度検出値のゼロ点からのドリフト量を算出するドリフト量算出部１９と、ドリフト量に基づいて、加速度検出値のゼロ点補正を行うゼロ点補正部１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、トリミング用の抵抗を追加することなく電気的出力の調整を行うことができる力学量センサの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の力学量センサの製造方法は、固定部１と、この固定部１に接続された弾性変形可能な第１の片持ち梁部２と、この第１の片持ち梁部２の先端に形成された作用部である第１のおもり部４と、前記第１の片持ち梁部２の上面に形成された第１のピエゾ抵抗素子６〜第２のピエゾ抵抗素子７と、この第１のピエゾ抵抗素子６〜第２のピエゾ抵抗素子７と電気的に接続された一対の接続電極１６とを形成した後、前記第１のピエゾ抵抗素子６〜第２のピエゾ抵抗素子７をトリミングして長方形の第１のピエゾ抵抗素子６〜第２のピエゾ抵抗素子７を形成する工程を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】外部から車速信号を入力することなく、角速度センサの出力のオフセットを診断することができるセンサ装置を提供する。
【解決手段】第１加速度センサ２０を車両が走行する面に対して車両の進行方向側に一定角度傾けると共に、第２加速度センサ３０を車両が走行する面に対して車両の進行方向とは反対側に第１加速度センサ２０と同じ角度で傾けて設置する。そして、マイコン６０にて、各加速度センサ２０、３０の各出力に基づいて取得した車両の速度から車両が停車しているか否かを判定し、車両が停車している場合、各角速度センサ５０の出力のオフセットを自己診断する。 （もっと読む）

【課題】加速度の検出と、センサ部の自己診断とを同時に実行可能な容量式加速度検出装置を提供する。
【解決手段】検出対象である加速度が変化する周波数の上限よりも高い周波数で可動部５を振動させ、このときに加速度センサ３０から出力されるセンサ信号に基づいて、判定部２４にてセンサ部２０の異常を自己診断する。加速度センサ３０からのセンサ信号は、デジタルフィルタ３２においてフィルタ処理され、可動部５の振動周波数に対応する周波数成分が除去される。その結果、可動部５に印加された加速度に応じた信号を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】センサチップを回路チップに対してバンプを介してフリップチップ接続するものにあって、それらの接合強度を高める。
【解決手段】センサチップ１２を回路チップ１３に対しフェースダウン状態とし、４個のバンプ２９により接続する。このとき、センサチップ１２と回路チップ１３との間に、バンプ２９に加えて、両者の機械的な接続を行う８個のダミーバンプ３１を設ける。ダミーバンプ３１（ダミーパッド２３）を、第１〜第４の仮想線Ｌ１〜Ｌ４が形成する仮想四角形の各頂点部に４個配置すると共に、第３の仮想線Ｌ３に沿って、各頂点と第３の電極パッド２１との中間点に位置して２個、第４の仮想線Ｌ４に沿って、各頂点と第４の電極パッド２２との中間点に位置して２個配置する。各バンプ２９及び各ダミーバンプ３１の、原点ＯからのＸ軸方向の距離の総和ΣＸと、原点ＯからのＸ軸方向の距離の総和ΣＹとの関係が、ΣＸ＞ΣＹとなる。 （もっと読む）