【課題】微小構造体の可動部に対して音波を出力してその特性を評価する検査装置において、音源に過大な入力を必要とせず、正常に特性の動的試験を行うことができる検査装置を提供する。
【解決手段】ウエハ８に形成された微小構造体の可動部１６ａに対してテスト音波を出力して、微小構造体の特性を評価する評価手段と接続されるプローブカード４であって、テスト時においてウエハ８に形成された可動部１６ａの動きに基づく電気的変化量を検出するために、ウエハ８に形成された微小構造体の検査用電極と電気的に接続されるプローブ４ａと、テスト音波の反射又は干渉を抑制する吸音材１１、遮蔽部１８及びホーン１９の少なくとも１つと、を備える。吸音材１１に代えて、又は吸音材１１に加えて拡散部を備えてもよい。また、微小構造体の検査装置は吸音材１１、遮蔽部１８又はホーン１９を有するプローブカード４を備える。 （もっと読む）

トランスデューサ（２０）は、可動要素（２４）と、自己試験アクチュエータ（２２）と、感知要素（５６，５８）とを備える。感知要素（５６，５８）は、感知要素（５６，５８）の平面に対し垂直な軸に沿った第１の位置（９６）から第２の位置（１０２）への可動要素（２４）の移動を検出する。第２の位置（１０２）では、自由落下条件をシミュレートする出力信号（８２）が生じる。トランスデューサ（２０）を有するデバイス（７０）の保護フィーチャを試験する方法（９２）は、可動要素（２４）を第１の位置（１０２）に移動させ、感知要素（５６，６８）にて検出可能な負の重力を発生させることと、アクチュエータ（２２）に信号（８８）を適用し、静電気力（１００）によって可動要素（２４）を第２の位置（１０２）に移動させることと、シミュレートされた自由落下に応答して保護フィーチャの使用可能性を確認することとを含む。
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【課題】センサモジュールの全体的な高さを低くすることができ、かつ、センササイズの縮小によるセンサモジュールの特性低下を防止できるハイブリッド型センサモジュール及びそれを用いたセンシング方法を提供する。
【解決手段】センサモジュールは、印刷回路基板３１の一面に取付けられ、印刷回路基板３１と平行な２軸方向の信号成分をそれぞれ検出する第１及び第２センサ３２，３３と、印刷回路基板３１の一面に一側面が取付けられ、軸方向が印刷回路基板３１に対して垂直な方向から所定角度傾いており、軸方向にセンシングされる信号成分を検出する第３センサ３４と、第１ないし第３センサ３２，３３，３４に接続され、各センサから検出された信号成分を直交座標系での信号成分値に補正する信号補正部３５とを含む。 （もっと読む）

【課題】 サイズを拡大させることなく、オフセットのキャンセルを可能すること。
【解決手段】 加速度を錘の姿勢変化に基づいて検出する。錘の姿勢変化は、錘と固定電極間の静電容量の変化量に基づいて、Ｃ／Ｖ変換回路において検出される。Ｃ／Ｖ変換回路では、錘と固定電極からなる静電容量素子の差動容量に基づいて、キャリア信号を振幅変調し、これを復調することによって容量変化を電圧信号として取り出す。差動容量検出型のＣ／Ｖ変換回路の初期状態におけるオフセット電圧をキャンセルさせるための補正回路をセンサ構造体の内部に設ける。補正回路は、検出容量に対して並列に接続された、ＳＯＩ基板からなる複数のコンデンサ素子を有する補正用コンデンサにより形成される。容量バランスをとるように、補正用コンデンサの接続配線をレーザで切断することにより、初期状態のオフセット電圧のキャンセル化を図る。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出可能な複数方向それぞれについて容易に動作確認を行うことが可能な加速度センサを提供する。
【解決手段】重り部１２と４つの撓み部１３とからなる可動部にゲージ抵抗Ｒｘ１〜Ｒｘ４，Ｒｙ１〜Ｒｙ４，Ｒｚ１〜Ｒｚ４が設けられ３方向の加速度を検出可能なセンサ基板１と、センサ基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、センサ基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備え、各カバー基板２，３とセンサ基板１のフレーム部１１とでパッケージを構成する。可動部を電磁力により強制的に動かす動作確認用の駆動手段として、第１のカバー基板２に設けられたコイルからなる励磁部２６と重り部１２に設けられ励磁部２６に磁気結合可能な磁気結合部１５との対を複数有し、励磁部２６と磁気結合部１５との対ごとに独立して動作確認用の電磁力を発生可能としてある。 （もっと読む）

【課題】加速度を検出可能な複数方向それぞれについて容易に動作確認を行うことが可能な加速度センサを提供する。
【解決手段】重り部１２と４つの撓み部１３とからなる可動部にゲージ抵抗Ｒｘ１〜Ｒｘ４，Ｒｙ１〜Ｒｙ４，Ｒｚ１〜Ｒｚ４が設けられ３方向の加速度をそれぞれ検出可能なセンサ基板１と、センサ基板１の一表面側に接合された第１のカバー基板２と、センサ基板１の他表面側に接合された第２のカバー基板３とを備え、各カバー基板２，３とセンサ基板１のフレーム部１１とで、パッケージを構成している。可動部を静電気力により強制的に動かす動作確認用の駆動手段として、重り部１２に設けられた可動電極１５と第１のカバー基板２に設けられ可動電極１５に対向した固定電極２６との対を複数有し、可動電極１５と固定電極２６との対ごとに独立して動作確認用の駆動電圧を印加可能としてある。 （もっと読む）

【課題】誤判定のない横加速度センサの故障検知装置を提供する。
【解決手段】四輪車両１に取り付けられた横Ｇセンサ４５により検出される四輪車両に作用する実横Ｇと車両状態を表す所定のパラメータから推定算出される推定横Ｇとの差分が所定値以上であるときに横Ｇセンサ４５が故障していると判定する故障判定制御を行うように構成された横Ｇセンサ４５の故障検知装置１２０であって、旋回走行中において旋回外輪２ｏの回転速度が旋回内輪２ｉの回転速度以下であり、且つ、実横Ｇが推定横Ｇを下回るとともに差分が所定値以上であるときに、故障判定制御を中止する。 （もっと読む）

【課題】容量が変化する容量変化部を一面側に有するセンサチップを、回路チップに実装してなる半導体容量式センサの製造方法において、特性検査時において取り扱い性に優れた実装状態を実現し、且つ異物の容量変化部への付着防止をしながら、センサチップの特性検査を行えるようにする。
【解決手段】回路チップ２０となる構造体２０ａが複数個形成され個々の構造体２０ａに対して検査用のパッド２１が設けられた回路ウェハ２００を用意し、センサチップ１０の一面１１を回路ウェハ２００における構造体２０ａに対向させ、各構造体２０ａにバンプ３０を介してセンサチップ１０を搭載して電気的に接合した状態とし、この状態にて、検査用のパッド２１を介してセンサチップ１０の特性を検査した後、回路ウェハ２００を構造体２０ａの単位に分断する。 （もっと読む）

【課題】３軸加速度センサ検査装置の小型化を図ると共に、その検査効率を向上させる手段を提供する。
【解決手段】互いに直交する３軸の加速度成分を検出して加速度成分信号を出力する３軸加速度センサと、３軸加速度センサが装着され、装着された３軸加速度センサの加速度検出信号を測定する測定板と、測定板を回転支持する支持板と、支持板を回転させる主回転軸とを備えた３軸加速度センサ検査装置において、主回転軸の半径方向に沿って放射状に、かつ円周方向に沿って等角度に、支持板を少なくとも４枚設置する。 （もっと読む）

【課題】操作入力装置の状態と、操作入力装置の基準状態と、の状態差に対応する出力を行う情報処理装置において、ユーザが好適に操作を行えるように図ることが可能になる情報処理装置を提供すること。
【解決手段】状態情報出力部７２は、操作入力装置に備えられ、所定数値範囲内の数値を操作入力装置の状態に応じて出力する。基準値取得部７４は、操作入力装置の基準状態に対応する、上記所定数値範囲内の数値を基準値として取得する。有効範囲決定部７８は、上記所定数値範囲内の一部範囲である有効範囲を決定する。対応データ取得部８０は、状態情報出力部７２の出力値が有効範囲内である場合にその値に対応するデータを取得し、有効範囲内でない場合にその上限値又は下限値に対応するデータを取得する。このデータは出力制御処理に供される。 （もっと読む）