センサユニット１０は、基準ベース１２を有する。基準ベース１２の底面１２Ａ及び一側面１２Ｂを基準面として用い、加速度センサブロック１４及び角速度センサ取付支柱を基準ベース１２上に設ける。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ方向の加速度をそれぞれ検出する３個の加速度センサ１６を加速度センサブロック１４の各面に接着し、各軸回りの角速度を検出する３個の角速度センサ２４を防振ゴムとしてのゴムブッシュ２０を介して支柱にネジ２２で締め付け固定する。
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【課題】半導体チップ上の陽極接合パターンにガラスを陽極接合して形成される加速度センサの検査方法において、陽極接合の接合評価を精度良く効率的に検査する。
【解決手段】センサ１０のシリコン基板１上のアルミ電極６に上部ガラス３を接触させて陽極接合することにより形成される加速度センサの検査方法において、アルミ電極６の両端に測定端子６ａ、６ｂを設け、これにプローブ９を当て、その間の陽極接合前後の抵抗値を抵抗計１１で測定する。この測定された抵抗値の比較からアルミ電極６と上部ガラス３の接合度の検査を定量的に、高精度で効率的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】シリコン基板にガラスを陽極接合した加速度センサの陽極接合の検査方法において、シリコン基板と陽極接合されたガラスの位置ズレを確実に検出する。
【解決手段】シリコン基板１に、シリコン基板１上に陽極接合するアルミ電極７を介して上部ガラス３を接合する陽極接合の検査方法において、アルミ電極７にその両端を上部ガラス３の外側に伸延した伸延部７ａを設け、この両端の伸延部７ａ間にプローブ１１ａ、１１ｂを接続して抵抗計１３により導通抵抗を測定する検査工程を設ける。この検査工程で測定した導通抵抗から、陽極接合後の上部ガラス３の位置ズレの検査を簡単、かつ効率的に行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 複数のリンクからなるロボットの体幹に固定された加速度センサの出力に含まれるバイアス値をキャンセルするオフセット値を設定する。
【解決手段】 ロボット本体１００に所定の静止姿勢をとらせる。その状態で体幹に固定された加速度センサの出力と、加速度センサの鉛直方向に対する姿勢角を検出する姿勢角センサの出力を読み込む。姿勢角から加速度センサの加速度検出方向を算出する。その方向の重力加速度ベクトルの成分を算出する。取り込んだ加速度センサの値から、算出した重力加速度ベクトルの成分を減算する。減算した結果の値がバイアス値に対するオフセット値となる。ロボット制御時には、加速度センサの出力値を取り込む際、取り込んだ値からオフセット値を減算して制御に用いる。ロボット制御装置内で正確な加速度の値を使用することができる。 （もっと読む）

【課題】 個体差があっても精度良くオフセット値を補正すること。
【解決手段】 温度センサの測定温度と基準温度との温度差の絶対値が所定値を越えているか否かを判定するステップ（ステップＳ２〜ステップＳ４）。温度差が所定値を越えた場合に、加速度センサから出力される出力値に基づいて、本体が静止しているか否かを判定する（ステップＳ６〜ステップＳ１１）。本体が静止していると判定した場合に、加速度センサから出力される出力値に基づいて、本体が水平面であるか否かを判定する（ステップＳ１２〜ステップＳ１５）。本体が水平であると判定した場合、加速度センサから出力された出力値に応じた新たなオフセット値としてオフセット値格納手段に格納し、測定温度を新たな基準温度としてオフセット値格納手段に格納する（ステップＳ１６） （もっと読む）

【課題】 小型で高い感度を有する３軸加速度センサを提供する。
【解決手段】 加速度センサ１は、支持枠２と、支持枠２で囲まれた空間に、Ｘ軸方向に沿って順に配置された第２の錘５、第１の錘３および第３の錘４を備える。第１の錘３と第２の錘５とは第１接合部１１で連結され、第１の錘３と第３の錘４とは第２接合部１０で連結されている。第１接合部１１から＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向にそれぞれ第１の梁６、第２の梁７が細長く延在して、第１接合部１１とそれが対向する支持枠部分２Ａ，２Ｂとを連結している。第２接合部１０から＋Ｙ軸方向、−Ｙ軸方向にそれぞれ第３の梁８、第４の梁９が細長く延在して、第２接合部１０とそれが対向する支持枠部分２Ａ，２Ｂとを連結している。第１乃至第４の梁６，７，８，９に梁の変形を表す信号を出力する複数のセンサ素子が配置されている。 （もっと読む）

【課題】 簡易な方式で微小な可動部を有する構造体を精度よく検査する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供する。
【解決手段】 テスト音波をスピーカ２から出力する。スピーカ２から出力される疎密波であるテスト音波の到達すなわち空気振動により検出チップＴＰの微小構造体である３軸加速度センサの可動部は動く。この動きに基づいて変化する抵抗値の変化を、プローブ針４を介して与えられる出力電圧に基づいて測定する。制御部２０は、測定された特性値すなわち測定データに基づいて３軸加速度センサの特性を判定する。 （もっと読む）

【課題】電子部品の温度を低温、常温あるいは高温に維持した状態で、電子部品の姿勢を変えて傾斜角度に対する電気的特性を効率的に測ることを可能にする。
【解決手段】調整検査装置によって、電子部品Ａの姿勢を所定角度に傾斜した状態で該電子部品の特性を調整検査する際に、電子部品Ａの姿勢を垂直方向に回転する角度制御ユニットにて傾斜させ、角度制御ユニットには該角度制御ユニットとともに回転する温度調節ユニットが配されるようにする。更に、温度調節ユニットの表面が電子部品Ａと直接的または該電子部品を搬送するキャリアを介して間接的に接触し、電子部品の温度を所定温度に維持する構造とする。 （もっと読む）

【課題】 Ｃ−Ｖ変換回路におけるオペアンプに印加する自己診断用の電圧を１つの値として、２つの出力の双方の自己診断を同時に行えるようする。
【解決手段】 第２ＧＡＩＮ回路２３ｃの増幅率が通常の加速度検出時と自己診断時とで切り替えられるようになっており、自己診断時にその増幅率が１倍となるようにする。これにより、第１ＧＡＩＮ回路２３ｂの出力１と第２ＧＡＩＮ回路２３ｃの出力２とを同時に自己診断することができる容量式加速度センサとすることができる。 （もっと読む）

【課題】簡易な方式で微小な可動部を有する構造体を精度よく検査する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供する。
【解決手段】テスト音波をスピーカ２から出力する。スピーカ２から出力される疎密波であるテスト音波の到達すなわち空気振動により検出チップＴＰの微小構造体である３軸加速度センサの可動部は動く。この動きに基づいて変化する抵抗値の変化を、プローブ針４を介して与えられる出力電圧に基づいて測定する。制御部２０は、測定された特性値すなわち測定データに基づいて３軸加速度センサの特性を判定する。 （もっと読む）