【課題】簡易な方式で微小な可動部を有する構造体を精度よく検査する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供する。
【解決手段】テスト音波をスピーカ２から出力する。スピーカ２から出力される疎密波であるテスト音波の到達すなわち空気振動により検出チップＴＰの微小構造体である３軸加速度センサの可動部は動く。この動きに基づいて変化する抵抗値の変化を、プローブ針４を介して与えられる出力電圧に基づいて測定する。制御部２０は、測定された特性値すなわち測定データに基づいて３軸加速度センサの特性を判定する。 （もっと読む）

【課題】 異なる入力軸まわりの角速度をそれぞれ検出する複数のジャイロを備えたセンサの組立方法において、作業効率を向上させることができ、試験校正作業を低コストで簡単に行うことができるようにする。
【解決手段】 １つの平面上に配置された複数の基板要素１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃにそれぞれ対応するジャイロ１６Ｘ、１６Ｙ、１６Ｚをすべての入力軸を同じ方向に揃えて装着する工程と、入力軸の方向が揃ったジャイロ１６Ｘ、１６Ｙ、１６Ｚに対して、試験機２８により該入力軸回りの角速度を与えて、各ジャイロ１６Ｘ、１６Ｙ、１６Ｚの校正のための補正情報を取得する工程と、補正情報取得後に、それぞれのジャイロ１６Ｘ、１６Ｙ、１６Ｚの入力軸が異なる所望の方向に向くように基板要素１２Ａ、１２Ｂ、１２Ｃを立体的に配置する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】サーボ制御を行う容量式加速度検出装置において、自己診断用の電極を設けることなく自己診断を行えるようにする。
【解決手段】加速度検出を行う検出回路２０は、可動電極２ｄと固定電極３、４間の容量を電圧に変換するＣ−Ｖ変換器２１と、その電圧に応じたデューティ比のパルス信号を発生するＰＷＭ信号発生回路２２と、そのパルス信号により固定電極３、４に互いに逆相になるパルス信号を印加するインバータ２３〜２５から構成されており、可動電極２ｄを所定の位置に保つようにサーボ制御を行って、加速度を検出する。また、インバータ２３には、電圧変調器３１が設けられており、自己診断時にインバータ２３の出力パルス信号の振幅を変調し、可動電極２ｄに疑似的な加速度を発生させる。ＥＣＵ３０は、そのときにＰＷＭ信号発生回路２２から出力されるパルス信号のデューティ比の変化量から自己診断を行う。 （もっと読む）

【課題】 加速度センサの出力値と基準値とに基づいて加速度を求めるナビゲーション装置で、加速度センサの出力値の基準値を精度良く得ることによって加速度を較正する方法、及びナビゲーション装置を提供する。
【解決手段】 加速度測定部２を備えるナビゲーション装置１は、略水平に作られていることが多い交差点に自動車が停止したときに加速度センサ２１の出力値を取得し、取得した出力値を記憶し、記憶した複数の出力値を平均することによって、自動車が水平に静止している状態での加速度センサ２１の出力値である基準値を計算する。またナビゲーション装置１は、同一の交差点で自動車の進行方位が互いに対向する方位である状態で取得した二つの出力値に対して重み係数を設定しておき、基準値を計算する際に重み係数で重み付けした出力値の重み付け平均を行う。 （もっと読む）

【課題】加速度センサのドリフト誤差を一層正確に補正することができる車両用加速度センサの出力補正装置を提供する。
【解決手段】加速度補正手段１６８において、平坦路直進定速走行判定手段（１６６）により前記車両の平坦路直進定速走行が判定されたときの加速度センサ９０、９２の出力に基づいてその加速度センサ９０、９２の出力が補正される。このため、車両の左右回転速度差が所定値内を直進走行としてそのときの加速度センサ９０、９２の出力値をドリフト誤差とする従来の補正装置に比較して、加速度センサからの加速度値に対して正確に補正が行われる利点がある。 （もっと読む）

【課題】 検出機器の取り付け後に取付角度が変化したような場合には、この変化を判定し、これを報知できる検出機器類の取付状態検出装置を提供する。
【解決手段】 車体の所定部位に取り付けられ第一検出手段１ｂを有する検出器１と、該検出器１の配置部位とは異なる部位２に取り付けられる第二検出手段２ｂと、前記第一検出手段１ｂによって検出される前記検出器１の傾斜角度信号と前記第二検出手段２ｂによって検出される前記車体の傾斜角度信号とを比較して両傾斜角度差が所定値を超えるか否かを判定する判定手段２ｃと、この判定手段２ｃの判定結果に基づいて、前記傾斜角度差が所定値を超える場合に報知信号を出力する報知手段５を備える。 （もっと読む）

【課題】加速度センサのドリフト誤差を一層正確に補正することができる車両用加速度センサの出力補正装置を提供する。
【解決手段】加速度補正手段１６８において、路面勾配推定手段（１６６）により推定された前後方向の路面勾配θに基づいて加速度センサ９０、９２の出力が補正される。このため、車両の左右回転速度差が所定値内を直進走行としてそのときの加速度センサ９０、９２の出力値をドリフト誤差とする従来の補正装置に比較して、加速度センサからの加速度値に対して正確に補正が行われる利点がある。 （もっと読む）

【課題】固定電極と可動電極をビームで結合し、両電極間の静電容量で物理量を検知する加速度センサにおいて、ビーム折れを自動的に検知できるようにする。
【解決手段】加速度センサ１のセンサチップ２のマス部２１に対向して上ガラス部３面上に固定電極３１を設け、この固定電極３１の周辺に、固定電極３１と略同じ面積を有するビーム折れ検知のための検知電極３４を形成し、マス部２１と固定電極３１との間の静電容量と、マス部２１と検知電極３４との間の各静電容量とを比較し、それらの差分によりビーム２２の折れを検知し、それらの和によりセンサ感度を約２倍に向上する。 （もっと読む）

【課題】
本発明では、別途精密な回転台等の冶具を設けることなく簡易に校正を行うことが可能な加速度センサの校正方法を提供することを目的とする。また、簡易に加速度センサの校正を行って、加速度の測定を行うことが可能な加速度測定装置を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明に係る加速度センサの校正方法は、１の軸方向の加速度を検出する加速度センサをランダムに回転させた状態で、前記加速度センサの前記１の軸方向において出力しうる値の最大値を前記１の軸方向における１Ｇでの前記加速度センサの出力値とし且つ最小値を前記１の軸方向における−１Ｇでの前記加速度センサの出力値とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構成で高信頼性を図った半導体センサ装置と、及びその製造工程の簡素化を実現した製造方法と補正方法を提供する。
【解決手段】 観測部での物理量の電気的特性の変化を変換部で計測し、上記変換部の出力信号の校正を行う補正部を備えた半導体センサ装置において、上記変換部と識別情報発生回路は第１半導体集積回路に搭載し、上記補正部と不揮発性記憶部とを第２半導体集積回路に搭載し、上記第１半導体集積回路と組み合わされた第２半導体集積回路の不揮発性記憶部には、上記第１半導体集積回路の識別情報発生回路で形成された識別情報と、上記変換部の出力信号の検査結果から得られる校正情報とを用い、第２半導体集積回路の上記不揮発性記憶部に上記該当する校正情報を記憶する。 （もっと読む）