【課題】微振動の計測が可能でかつ衝撃に強く、しかも自己診断が可能な圧電型加速度センサを得る。
【解決手段】圧電素子１０２と圧電素子１０２に設けられる錘１０３とを収容するケース１０４の内壁の一部に、電気信号を機械振動に変換する圧電セラミックスを金属板上に取り付けてなる圧電プレート４１を設ける。これにより、センサ自体の故障診断や校正が可能となり、微振動の計測が可能でかつ衝撃に強く、しかも自己診断が可能な圧電型加速度センサを実現できる。 （もっと読む）

【課題】試験時間を短縮することができる加速度センサの試験装置および試験方法を実現する。
【解決手段】本発明の試験装置１は、被試験デバイス２に対して規則的に変化する加速度を付与する加速度付与部１２と、被試験デバイス２から出力される電圧値を測定する電圧測定部１３と、測定した電圧値に対応する特性値を算出するための演算処理を行う演算処理部１４とを備えている。 （もっと読む）

【課題】検出感度の小さいセンサやセンサ部が外界から遮断された構成となっているセンサでも、動的試験を行うことができる検査装置及び検査方法を提供する。
【解決手段】基板上に形成された可動部１６ａを有する、少なくとも１つの微小構造体１６の特性を評価する微小構造体の検査装置であって、微小構造体１６の電気信号を取り出すために、微小構造体１６に形成されたパッド８ａに電気的に接続するプローブ針４ａと、微小構造体１６の可動部１６ａに振動を伝達するために、微小構造体１６に接触する接触子１１と、接触子１１を介して可動部１６ａに振動を印加するための振動制御素子１０と、振動制御素子１０から接触子１１を介して微小構造体１６に印加された振動に応答した微小構造体１６の可動部１６ａの動きを、プローブ針４ａを介して得られる電気信号によって検出し、検出結果に基づいて微小構造体１６の特性を評価する評価手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】外部ノイズなどによって誤って自己診断が行われることで、物理量が印加されたと誤認識されることを防止する。
【解決手段】ＰＩＮ信号がＨｉになったときに、ＰＩＮ信号が外部ノイズなどよりも長い時間と想定される時間継続した場合にのみ、自己診断モードに移行するようにする。これにより、外部ノイズなどによってＰＩＮ信号がＨｉになったとしても、自己診断モードに移行しないようにできる。このため、自己診断時でないにもかかわらず、外部ノイズなどに起因して加速度センサから加速度を示す出力信号Ｇｏが出力されることで、加速度が印加されているとご認識されることを防止することができる。そして、加速度センサに基づいて作動する装置などが誤作動を起こすことも防止することができる。 （もっと読む）

【課題】ウエハレベルパッケージによって形成される気密空間を有する物理量センサ及びその製造方法において、気密空間の気密性の検査を容易かつ確実に可能とする。
【解決手段】測定する物理量に応じて電気信号を出力するセンサ部２が、ウエハレベルパッケージによって形成される気密空間Ｒ１に半導体微細加工プロセスによって形成され、ダイヤフラム３０を介して気密空間Ｒ１に隣接する気密室Ｒ２と、ダイヤフラム３０の変形量を測定する歪ゲージとを有した圧力センサ３を備えて、この圧力センサ３によりセンサ部２の特性の維持に必要な気密空間Ｒ１の気密性を検査可能とする。 （もっと読む）

【課題】従来の速度センサを用いて、移動体が停止していることを判定し、停止判定をしている間に閾値を用いて、自立センサのバイアスやドリフト等の誤差を補正する方法では、センサの個体差から適切な閾値を設定することが難しい。
【解決手段】移動体の加速度を検出する加速度センサ１１と、加速度センサ１１のデータ系列のランダム性を判定する独立性判定手段１２と、移動体が走行している路面の傾斜角を算出する傾斜角演算手段１３と、加速度センサの補正値を格納する記憶媒体１４と、加速度センサの補正値を算出する加速度センサの補正値演算手段１５とを備え、移動体の走行状況を正確に判定し、路面の傾斜角を算出することで、閾値を用いなくともセンサを補正することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】ホイートストンブリッジ回路を構成する各抵抗の抵抗値を測定できる装置を提供する。
【解決手段】ホイートストンブリッジ回路を構成する抵抗の抵抗値を測定するホイートストンブリッジの抵抗測定システムであって、ホイートストンブリッジ回路の４つの端子電極それぞれに２本ずつ接触させるためのプローブカード４のプローブ針と、ホイートストンブリッジ回路の端子電極と、プローブ針をフリッティング現象を利用して導通させるフリッティング用回路５と、４つの端子電極のそれぞれと導通する２本のプローブを用いて、四端子法によってホイートストンブリッジ回路の端子間の電流及び電位差を測定する抵抗測定部３と、を有する。また、抵抗測定部３によって測定された端子間の電流及び電位差を用いて、ホイートストンブリッジ回路を構成する各抵抗の抵抗値を演算する抵抗測定制御部２を備える。 （もっと読む）

本発明は、車両重心における車両縦速度Ｖ_xを求めるステップと、
前記車両縦速度Ｖ_xとヨーレートω_zとから、基準縦速度と基準横速度への走行度特性の寄与成分




を計算するステップと、車両重心について計算した前記基準加速度における走行動特性


の変換により、平面内で、前記センサの位置における前記基準加速度への走行動特性の寄与成分


と向きθでの前記基準加速度への走行動特性の寄与成分


を計算するステップと、
状態に依存した平均化プロセスによって、センサの測定値と該測定値における走行動特性成分とからセンサの長期オフセットドリフトを求めるステップを有することを特徴とする自動車の加速度センサの長期オフセットドリフトを求める方法に関する。
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【課題】センサ素子のブリッジ回路の断線又は短絡等の故障と、センサ素子の出力を増幅するための増幅器に生じた故障とを検知することができるセンサ検出装置を提供する。また、このセンサ検出装置を備えるセンサを提供する。
【解決手段】入力段差動増幅器２０の２つの入力信号Ｖａ、Ｖｂをそれぞれ監視する２つの監視回路４０ａ、４０ｂと、２つの出力信号Ｖｃ、Ｖｄをそれぞれ監視する２つの監視回路４０ｃ、４０ｄを設ける。センサ素子のブリッジ回路又は入力段差動増幅器２０に故障が発生した場合には、監視部４０ａ、４０ｂ又は監視部４０ｃ、４０ｄにて異常が検知されるため、センサ素子及び入力段差動増幅器２０の故障を検知できる。 （もっと読む）

【課題】加速度ベクトルのオフセットを補償する方法を提供すること。
【解決手段】少なくとも二つの直角軸に対する加速度値の測定に適した加速度検出器から出力される加速度ベクトルのオフセットを補償する方法において、各軸で測定された加速度値を利用して加速度ベクトルを算出し、所定時間の間に得られた加速度ベクトルを参照して、加速度検出器が安定状態にあるか否かを判断する過程と、加速度検出器が安定状態にあると判断されれば、測定された加速度値を利用して、少なくとも二つの直角軸のうち何れか一つがメイン軸であるか否かを判断する過程と、加速度検出器が安定状態にあり、少なくとも二つの直角軸のうち何れか一つがメイン軸であると判断されれば、加速度検出器の加速度ベクトルオフセットを補償するための加速度ベクトルの補償動作を行う過程と、を含む。 （もっと読む）