【課題】簡易な方式で微小な可動部を有する微小構造体を精度よく検査するプローブカードおよび検査装置を提供する。
【解決手段】プローブカード６は、スピーカ２と、プローブ針４を固定する回路基板１００とを含み、回路基板１００にスピーカ２が載置される。そして、回路基板１００には開口領域が設けられ、その上にスピーカ２を載置することによりテスト音波が微小構造体の可動部に対して出力される。そして、このテスト音波に従って可動部が動くことにより変化する電気的特性の変化をプローブ針４により検出して微小構造体の特性を検査する。 （もっと読む）

【課題】 演算処理の効率化と低コスト化が実現された車載装置を提供すること。
【解決手段】 車両において、車両挙動状態を検出する車載装置が、自車両の現在位置を検出する位置検出手段と、位置検出手段により検出された自車両現在位置の履歴に基づいて自車両の挙動状態（車速、ヨーレート、又は、加速度）を表す第一の値を算出する算出手段と、自車両の挙動状態を検出し、該挙動状態を表す第二の値を出力する出力手段（車速センサ、ヨーレートセンサ、又は、加速度センサ）と、算出手段により算出された上記第一の値を用いて、出力手段により出力された上記第二の値に対する補正係数を決定する決定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、加速度センサのゼロ重力オフセットを高精度に検出できるようにする。
【解決手段】速度検出ユニット２は、ＧＰＳ処理部４から位置情報ＰＳを取得できる場合、（１５）式に従い、実際に加速度センサ１１から得られた実検出加速度αＧｒと、位置情報ＰＳに基づく車両加速度αＰ、距離Ｄｍ、気圧ＰＲに基づく高度変化量Ｄｈ及び重力加速度ｇを用いた演算を行うことにより、オフセット加速度αｏを高精度に算出することができ、当該オフセット加速度αｏを換算したゼロ重力オフセット値Ｖｚｇｏを基に、加速度検出信号ＳＡを精度良く検出加速度αＧに換算することができる。 （もっと読む）

【課題】簡易に且つ精度良くヨーレートセンサの出力値を補正することができるヨーレートセンサの補正装置を提供する。
【解決手段】本発明は、車両のヨーレートを検出するヨーレートセンサの出力値を補正するヨーレートセンサの補正装置（１，２０）であって、車両の走行路の路面凹凸度を検出する路面凹凸度検出手段（６，１４，２２）と、この路面凹凸度検出手段により検出された路面凹凸度に基づきヨーレートセンサの出力値の補正係数を算出する補正係数算出手段（８）と、この補正係数算出手段により算出された補正係数を用いてヨーレートセンサの出力値を補正する補正手段（８）と、を有する。 （もっと読む）

【課題】 コストアップや大型化を回避又は抑制しつつ、加速度センサの故障を検知することのできる加速度センサの故障診断装置等を提供する。
【解決手段】 各加速度センサの出力に基づき各々算出した各加速度が一定時間、所定範囲内にあるという条件を満たすか否かを判定し（♯２）、該条件を満たさない場合（♯２〜♯４でＮＯ）、パルスオキシメータが静止状態ではないと判断する。前記条件を満たす場合（♯２〜♯４で全てＹＥＳ）、パルスオキシメータが静止状態であると判断し、各加速度の合成値Ａを演算する（♯５）。そして、合成値Ａが前記所定範囲内に無い場合（♯６でＮＯ）該合成値Ａは異常と判定し（♯７）、異常判定回数が２回に達すると（♯９でＹＥＳ）、加速度センサに故障発生と判定して表示部に表示する（♯１０，♯１１）。 （もっと読む）

【課題】 テスタでのテスト結果を用いて製造段階でのばらつきを補償することが可能な微小構造体を有する半導体装置、その製造方法およびその製造方法プログラムおよび半導体製造装置を提供する。
【解決手段】 テスタ１において、テスト音波を入力して、テスト音波の入力に応答したデバイスの出力電圧を検出する。ボンダー６０は、テスタ１のテスト結果を受けて、デバイスの分類分けを実行する。そして、分類分けされたグループに対応する増幅器の増幅率となるようにボンディングを実行して調整する。 （もっと読む）

【課題】 簡易な方式で微小な可動部を有する微小構造体を精度よく検査する検査装置、検査方法および検査プログラムを提供する。
【解決手段】 テスト音波を入力して、テスト音波の入力に応答したセンサ出力電圧振幅の周波数特性を解析する。予め想定される使用条件等からデバイスに要求される最大周波数および最小周波数を算出し、その周波数帯域の中で望ましい特性が検出することができるかを判定する。具体的には、所定の周波数帯域において、応答特性がしきい値である最小特性レベルを越えているか否かに基づいて、良品もしくは不良品であると判定する。 （もっと読む）

【課題】加速度センサの零点や感度を補正する。
【解決手段】姿勢角演算器１４は、加速度センサ１０のセンサ出力からロボットの姿勢角を演算する。姿勢角比較器１６は、レジスタ２０に設定された特定姿勢における姿勢角と検出された姿勢角とを比較し、その差分を補正値演算器１８に出力する。補正値演算器１８は差分を解消するように零点補正器２６あるいは感度補正器２８に補正値を出力する。
レジスタ２０に設定される姿勢角は、入力器２２から設定してもよい。 （もっと読む）

姿勢角演算器（１４）は、加速度センサ（１０）の出力値からロボットの姿勢角を演算する。姿勢角比較器（１６）は、レジスタ（２０）に設定された特定姿勢における姿勢角と検出された姿勢角とを比較し、その差を補正値演算器（１８）に出力する。補正値演算器（１８）は差を解消するように零点補正器（２６）あるいは感度補正器（２８）に補正値を出力する。レジスタ（２０）に設定される姿勢角は、入力器（２２）から設定してもよい。
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【課題】シリコン基板にガラスを陽極接合した加速度センサの検査方法において、シリコン基板上の絶縁膜の膜厚を非破壊で簡単に評価できるようにする。
【解決手段】シリコン基板１と、シリコン基板１の上下に陽極接合されるガラス３、２と、シリコン基板１上に形成された絶縁膜のシリコン酸化膜７及びシリコン窒化膜８と、シリコン基板１内に形成された片持梁構造のカンチレバー１ａと、シリコン基板１の表面に形成されたピエゾ抵抗４とを備えた加速度センサ１０において、シリコン窒化膜８上に予め検査用を兼ねて設けたアルミ電極６と、シリコン基板１に導通するアルミ電極５bを備え、このアルミ電極５bとアルミ電極６の測定端子６aと間に容量計１１を接続して、シリコン基板１とアルミ電極６間の静電容量を測定する。この静電容量測定値から、シリコン基板１上の絶縁膜の膜厚を定量的に求めることができ、膜厚の良否を非破壊で容易に評価することができる。 （もっと読む）