【課題】 ウェハ状態での特性がアセンブリ行程により変化することを抑制する微小構造体を有する半導体装置および微小構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 微小構造体のチップＣＰが複数形成されたウェハ１００に対して接着層１５を用いてダミーウェハ１０と貼り合わせる。そして、ＭＥＭＳデバイス１は、カッティングしたダミーウェハ１０をチップＣＰの台座としてハウジング部材１１０と接着させることにより、ハウジング部材１１０を用いてパッケージする際の下からの応力等をダミーウェハ１０で吸収する。 （もっと読む）

【課題】 車種が異なっても傾き検出の正確性を高めることで、実際の車体の状況に即した表示を可能とする。
【解決手段】 この車載機器には、車体に取り付けられる車載機器本体と、種々の情報を表示する表示手段と、車載機器本体の進行方向に対する傾き及び水平方向に対する傾きを検出することで加速度を検出する加速度検出手段と、加速度検出手段の検出結果に基づいて表示手段を制御する制御手段と、加速度検出手段のキャリブレーションの開始指示を制御手段に入力する入力手段とが備えられている。制御手段は、入力手段からの開始指示に基づいて、表示手段を制御してキャリブレーションの手順を表示させ、当該表示後に加速度検出手段が検出した進行方向に対する傾き及び水平方向に対する傾きからキャリブレーションを行う。 （もっと読む）

【課題】 部品点数の増大を招くことなく、横加速度センサの異常を検出することができる横加速度センサ異常検出装置を提供する。
【解決手段】 横加速度センサ異常検出装置２０は、電動パワーステアリング装置１０における電動モータ１３の電流／電圧値を検出する電流／電圧センサ２２および操舵系に掛かるトルクを検出するトルクセンサ２３を備えている。横加速度センサ異常検出装置２０では、電流／電圧センサ２２から出力される電流値から算出される推定横加速度と、横加速度センサ８から出力される横加速度と、を比較する。その比較結果に基づいて、横加速度センサ８の異常を検出する。 （もっと読む）

【課題】加速度センサ、特に微細加工プロセスによって製造される加速度センサにおいて感度を容易に調節するとともに、形成された加速度センサの形成不良に関して、良否判定を容易に行うことを可能にする加速度センサ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、台座部と、台座部に接続される梁部と、梁部に接続される錘部とを有する加速度センサであって、梁部の直下に梁部を支持する突起部を有することを特徴とする加速度センサを提供する。さらに、突起部は梁部を支持する第１の突起部分と第１の突起部分に隣接する第２の突起部分を有することを特徴とする加速度センサを提供する。 （もっと読む）

【課題】車両挙動センサの検出値の信頼性を高める。
【解決手段】ブレーキ液圧車両制御装置の制御用基板２１に挙動センサ用加速度センサＧｘ、Ｇｙの基板３１を搭載する。その基板を重力軸線に対し直交又は平行状態で、加速度センサの出力を検出して、前者の検出値を加速度センサ特有の０点誤差、後者の検出値を同ゲイン誤差とする。基板取付後の車両の水平停止時、その状態である旨の命令を電子制御ユニットに送り込んで車両の水平状態と認識させ、その時の加速度センサの出力から加速度センサのＸＹ軸中心周りのズレθｘ、θｙを得る。車両の水平走行時、車輪速センサに基づきＸ軸方向加速度Ｇ₀を導き出し、この加速度Ｇ₀及び前記ズレθｘ、θｙによって、加速度センサのＸ軸中心周りのズレθｚを導出する。このズレθｘ、θｙ、θｚ、０点誤差、ゲイン誤差に基づき加速度センサの出力を補正して、車両走行時の加速度センサＧによる真の検出値とする。 （もっと読む）

【課題】 多軸半導体加速度センサの直交する２つの検出軸についての感度を加振に基づき同時に検査するに際し、それら２つの検出軸において感度誤差に対する許容値（余裕度）が異なる場合であれ、加振軸と同加速度センサの傾斜角との間の角度ずれ等を吸収して、それら各検出軸についてのより適正な感度検査を行う検査方法を提供する。
【解決手段】 直交する２軸の検出軸（Ｘ軸、Ｙ軸）の各感度誤差に対する許容値の差である感度仕様差と、ソケット４０に対する加速度センサ３０の装着誤差等を含めた同加速度センサ３０の加振軸に対する加振時の角度誤差とを求め、これらの要素に基づき感度仕様差が同一となるように加振軸に対する加速度センサ３０の傾斜角度を設定する。こうして傾斜角度を設定したうえで、加速度センサ３０をソケット４０やソケット固定治具４１と共々、加振機６０により加振軸方向に加振して加速度センサ３０の感度を検査する。 （もっと読む）

【課題】物体の傾斜角と物体に働く並進の加速度とを応答性よく、かつ、誤差なく同時に検出できるようにする。
【解決手段】鉛直面内の４方向の加速度成分とそれらの幾何学的な関係から傾斜角の２階時間微分を、測定値から求められる傾斜角の２階時間微分値をデジタル的に積分して傾斜角を知る。初期誤差や近似の累積誤差を避けるため、鉛直面内に検算用の検算用加速度検出器を置き、計算で求められた傾斜角、並進加速度および角速度の値を使って出力値を合成し、検算用加速度検出器の出力値と合致するように各サンプル点での傾斜角の値に修正を加える。加速度運動中であっても傾斜角を必要な精度で知ることができるだけでなく、加速度検出器に働く鉛直方向および水平方向の加速度の値もそれぞれ分離して求めることができる。 （もっと読む）

【課題】増幅率を大きく変更させる増幅率切換回路を信号処理回路の増幅回路に用いること無く、従来、ノイズの影響で不良品の加速度センサを良品と誤判定していた、自己診断の判定ミスの発生を低減する。
【解決手段】加速度センサの自己診断回路側における昇圧回路部は、電圧リファレンス回路と印加電圧調整回路と昇圧回路とを備えており、電圧リファレンス回路は電圧検出用負荷１４０と電圧検出用負荷１４０に定電流を流す定電流回路１５０とを備えている。しかも、自己診断時にセンサチップの自己診断電極に印加される昇圧回路の出力電圧の温度特性がセンサチップの静電容量の温度特性及びセンサチップの信号処理回路の温度特性を相殺し得る様に、電圧リファレンス回路が出力するリファレンス電圧Ｖｒｅｆの温度特性が設定されている。 （もっと読む）

ジャイロスコープの出力に関する加速度の効果の力効果モデルが決定される。それから、回転シーケンスは、これらのパラメータの較正情報を提供するために、力効果のモデルのパラメータを励起し、観察することを許すよう考案される。ジャイロスコープの力効果モデルのパラメータを含む状態ダイアグラムは、状態ダイアグラムにおいてある位置から別の位置に移ることにより、対応する動きにしたがってジャイロスコープのトライアドが回転することで起きるジャイロスコープのエラーを示す力効果モデルに由来する。状態ダイアグラムを通して達成可能な、全てのあり得るクローズドなループパスを、指定された回転数だけ回数させた複数の軸を持つレートテーブルを用いることで、ジャイロのトライアドのエラー較正を加速度の較正から分離する。最小限の長さを有し、より大きなエラー感度を示すクローズドなループパスは、エラーのパラメータを較正し、力に依存するジャイロスコープの感度を下げるために選択される。
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【課題】センサの自動校正機能を有する測定装置とそれに用いるセンサの自動校正方法を提供すること。
【解決手段】加速度センサ１と校正回路とＭＣＵ３とからなる測定装置であって、校正回路は、センサアンプ２とデジタルポテンション４と固定抵抗５とＭＣＵからなる。校正方法は、デジタルポテンションを用いてセンサ出力信号を自動的に校正する方法である。センサに校正する加速度を印加しながら自動校正プログラムを実行させて、校正する物理量に対するセンサアンプの出力電圧が所定の校正電圧に合うように、デジタルポテンションの抵抗値を自動的に選択して、センサアンプの利得を調整する。 （もっと読む）