【課題】簡易な操作にてセンサの異常判定を行い、異常センサによる検査を防止する。
【解決手段】被検査機器より発せられる予め定められた特定音をセンサによって検知する検知手段と、前記検知手段によって検出した前記特定音が予め定められた規定値に収まっているか否かによって前記センサの異常を判断する第１の異常判断手段と、を備える。 （もっと読む）

【課題】車両運動の状態に関わらず、安定してセンサのドリフト量を推定することができるようにする。
【解決手段】姿勢角オブザーバ２４によって、各センサの検出値に応じたセンサ信号に基づいて、車体の鉛直軸に対する姿勢角の微分量を算出する。運動方程式微分量算出手段２６によって、センサ信号及び姿勢角オブザーバ２４によって推定された姿勢角に基づいて、車両運動の運動方程式より得られる姿勢角の微分量を算出する。ドリフト量推定手段２８によって、センサ信号のセンサドリフト量を考慮したときに、姿勢角オブザーバ２４により算出された姿勢角の微分量と、運動方程式微分量算出手段２６により算出された姿勢角の微分量にセンサドリフト量を考慮した値とが等しくなる関係を用いて、各センサ信号のセンサドリフト量を推定する。ドリフト量補正手段２２によって、推定されたセンサドリフト量に基づいて、各センサ信号を補正する。 （もっと読む）

【課題】微小な可動部を有する微小構造体を簡易に精度よく検査できる微小構造体の検査装置および微小構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】ウェハ検査装置１は、テスタ２と、プローバ３と、ステージ４と、プローブカード５と、磁石７と、パフォーマンスボード８と、テストヘッド９と、を備える。プローブカード５は、プローブ針６を備える。磁石７は、プローブカード５とテストヘッド９の間に、ウェハＷに対向するように設けられる。磁石７によって磁場が付与された中で、微小構造体の可動部に電流を印加することにより、磁束の方向と電流の方向に対して垂直にローレンツ力が作用する。微小構造体の可動部は強制的に動かされ、変位を与えられ続ける。その後、電流を遮断しローレンツ力を失わせ、微小構造体の可動部を変位させた状態から解放して自由振動させる。これが可動部のステップ入力になり、自由振動特性を計測することができる。 （もっと読む）

【課題】微小な可動部を有する微小構造体を簡易に精度よく検査できる微小構造体の検査装置および微小構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】可動部を有する微小構造体を備えたウェハＷの検査を行う。まず、プローブカード５とウェハＷの位置合わせをし、プローブ針６と電極パッドＰの電気的接続を行う。テスタ２の制御部Ｔ２の指示で、駆動部Ｔ３はホルダー１１を上下に駆動させ、ホルダー１１に支持されたインカー１０でウェハＷを叩く。微小構造体周辺のウェハＷ上をインカー１０で直接叩打することで、ウェハＷが振動し、微小構造体の可動部は加振して自由振動する。これが可動部のステップ入力になり、自由振動特性を計測することができる。 （もっと読む）

【課題】微小な可動部を有する微小構造体を簡易に精度よく検査できる微小構造体の検査装置および微小構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】ウェハ検査装置のプローブカードは、プローブ針７と近接電極８と、それらを固定するプローブ板６と、を備える。近接電極８は、測定対象物のＭＥＭＳ可動部１４ａに近接し、かつ接触しない高さとする。電極パッド１３にプローブ針７を接触させ、電気的に接続するとともに、ウェハとプローブカードの位置合わせを行う。近接電極８からＭＥＭＳ可動部１４ａへ向けて、インパルス電圧を印加する。ＭＥＭＳ可動部１４ａは、近接電極８に発生する静電引力に引き寄せられ、強制的に変位を与えられた後は、振動しながら減衰し、静止する。プローブ針７を介して、静電容量の変化やピエゾ抵抗の変化などにより電気信号を検出し、可動部の周波数特性（Ｑ値、減衰特性）などを評価する。 （もっと読む）

【課題】被測定物の速度や移動距離等の動き情報を検出する加速度センサモジュールの回路のオフセット電圧等の誤差要因をキャンセルするためのオフセット調整が自動的に行われるようにする。
【解決手段】入力された電圧を非反転増幅し、第一の増幅電圧を出力する第一の増幅回路ＡＭＰ１と、第一の増幅回路ＡＭＰ１の出力端とグランド電位の間に接続され、第一の増幅電圧が印加されて充電されるホールド用コンデンサＣｈを有する。ホールド用コンデンサＣｈの両端電圧を非反転増幅し、第二の増幅電圧を出力する第二の増幅回路とＯＰ２、一端が第二の増幅回路ＯＰ２の出力端に接続されたフィードバック抵抗Ｒｆと、第一の増幅回路ＡＭＰ１の出力端とホールド用コンデンサＣｈとの接続点に挿入されたスイッチ素子ＡＳＷとを有するオフセット調整回路ＦＢｘを備える。加速度電圧に基づいてスイッチ素子ＡＳＷをオン・オフ制御するオフセット制御手段２４を備える。 （もっと読む）

【課題】ウエハ状態で精密なリーク電流検査を行うことができ、製品形態でのロスを低減させたピエゾ式センサ装置を提供する。
【解決手段】 半導体基板５上にピエゾ抵抗１１の両端に接続された少なくとも一対の拡散配線１２を実素子として備え、ピエゾ抵抗１１の出力値に応じて物理量を計測するピエゾ式センサ装置１であって、実素子の拡散配線１２とは別に拡散配線１２の最短配線間寸法Ｌ１と同一の最短配線間寸法Ｌ２を有し、相互に接続されない一対の検査用拡散配線１３と、各検査用拡散配線１３に電気接続された電極パッド１４と、を半導体基板５上に備える。 （もっと読む）

【課題】 複数のセンサで測定された加速度のうち、車両の実加速度を精度よく表す加速度情報を選択することができる加速度判定装置を提供する。
【解決手段】 車両挙動に異常な状態が生じているか否かを判定する処理と、車両挙動に異常な状態が生じていると判定したときに、加速度センサ１５で測定された車両の第１加速度と、車速センサ２１で測定された車速を演算して求めた第２加速度との差が第１しきい値以上であるか否かを判定する処理と、第１加速度と第２加速度との差が第１しきい値以上であるときに第１加速度を車両の実加速度として記憶部１７４に記憶させる処理とを実行する制御部１７を有している。 （もっと読む）

【課題】短時間で高精度な調整を可能とする物理量センサの特性調整方法を提供する。
【解決手段】センサ素子８と、このセンサ素子８からの出力を一定倍率で増幅し最終出力を出力する増幅回路９と、前記増幅回路９の増幅率を調整するための調整手段１０を備えた物理量センサ７において、外部より物理量を加えて前記センサ素子８からの出力を測定する第一の工程と、この出力に基づき前記増幅率を決定した後、電気信号を前記増幅回路９に入力しながら前記調整手段１０を調整して最終出力とした。 （もっと読む）

【課題】複数のモーションの誤検出を抑制し、かつ、使用状態やオフセットに起因する誤差を低減したモーションセンサを提供すること。
【解決手段】加速度を検出して加速度信号を出力する加速度センサ１と、加速度信号に基づいてモーション判定を行う演算処理部２と、演算処理部２の判定結果に応じて、被制御機器５の制御信号を出力する制御信号出力部３とを備える。演算処理部２は、加速度信号に基づいて静止判定を行う静止判定部２１と、静止判定部２１が静止していないと判定した場合に、加速度信号から基準オフセットを除去して、運動加速度信号を出力する基準オフセット除去部２３と、基準オフセット除去部２３が出力する運動加速度信号の正ピーク及び負ピークを検出するピーク検出部２４と、正ピーク及び負ピークの検出結果からピーク対を検出するピーク対検出部２５と、ピーク対に基づいてモーションの判定を行うモーション判定部２７とを備える。 （もっと読む）