【課題】本発明は、センサ装置の信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、処理回路部１４Ａ、１４Ｂからのセンス信号を出力する第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂと、駆動回路部１１Ａ、１１Ｂ、検知素子１２Ａ、１２Ｂ、検出回路部１３Ａ、１３Ｂ、及び処理回路部１４Ａ、１４Ｂの内少なくともいずれか１つを被故障診断部とし、被故障診断部が正常か異常かを判断するとともに異常と判断した場合には故障検知信号を第２の出力端子１６Ａから出力する故障診断回路１６と、を備え、被故障診断部からの故障検知信号に関する出力が第２の出力端子１６Ａにたどり着くまでの時間が、被故障診断部からのセンス信号に関する出力が第１の出力端子１５Ａ、１５Ｂにたどり着くまでの時間よりも短いセンサ装置としたものである。 （もっと読む）

【課題】０点電圧の調整値を外部から簡単に設定可能な物理量検出装置、物理量検出システム及び物理量検出装置の０点電圧調整方法を提供すること。
【解決手段】本発明の角速度検出装置２（物理量検出装置の一例）は、振動子１００と角速度検出用ＩＣ１０を含む。角速度検出用ＩＣ１０は、振動子１００の出力信号に基づいて角速度（物理量の一例）に応じた検出信号６２を生成する。角速度検出用ＩＣ１０は０点電圧調整値設定回路５０と０点電圧調整回路６０を含み、０点電圧調整値設定回路５０は、外部入力端子１５から入力された０点電圧調整信号１８に基づいて０点電圧調整値５２を設定し、０点電圧調整回路６０は、０点電圧調整値５２に基づいて、検出信号６２の０点電圧を調整する。 （もっと読む）

【課題】 角速度センサの温度ドリフトによる誤作動を防止することができる電子機器装置、信号補償装置及び信号補償方法を提供すること。
【解決手段】 ユーザが手に持った状態で空間を移動されることで操作される電子機器装置である。この装置は、回転方向の角速度に応じた第１の信号を出力する角速度センサと、静止した状態の前記角速度センサが出力する第２の信号のデータを角速度算出用の基準値として予め記憶する記憶手段と、前記装置の空間内での静止状態を検出するための加速度センサと、前記加速度センサの単位時間あたりの出力電圧の変位に基づいて静止状態が検出されると、その時の前記角速度センサが出力する第１の信号のデータを用いて、前記第１の信号を補償するための新たな基準値を算出する算出手段とを具備する。 （もっと読む）

【課題】 車両の横方向挙動量を検出する横方向挙動量検出手段のゼロ点を短時間で精度良く補正する。
【解決手段】 規範ヨーレート算出手段Ｍ１および規範横加速度算出手段Ｍ２は、操舵角θおよび車速Ｖに基づいて規範ヨーレートγｒｅｆおよび規範横加速度ＹＧｒｅｆを算出し、直進走行状態判定手段Ｍ３が規範横加速度ＹＧｒｅｆに基づいて車両の直進走行状態を判定すると、ゼロ点補正手段Ｍ４が規範ヨーレートγｒｅｆおよび規範横加速度ＹＧｒｅｆに対するヨーレートγおよび横加速度ＹＧの偏差が減少するようにヨーレートセンサ１４および横加速度センサ１３の出力を補正するので、車両が概ね直線走行状態にあるときに常にヨーレートセンサ１４の出力および横加速度センサ１３の出力のゼロ点補正を行うことができ、そのゼロ点補正を速やかに完了させることができる。 （もっと読む）

【課題】航法装置の推定の精度を劣化させることなく、計算量を少なくする。
【解決手段】姿勢角外挿計算部１２２は、角速度センサ１１１が計測した移動体座標系における移動体８００の角速度ω^ｂに基づいて、慣性座標系における移動体８００の姿勢角ｑ^ｎを計算する。速度増分計算部１２６は、加速度センサ１１２が計測した移動体座標系における移動体８００に加わる加速度ａ^ｂと姿勢角ｑ^ｎとに基づいて、慣性座標系における移動体８００の速度の増分Δｖ^ｎを計算する。速度外挿計算部１２７は、速度の増分Δｖ^ｎに基づいて、慣性座標系における移動体８００の速度ｖ^ｎを計算する。速度減算部１３０は、速度ｖ^ｎと、ＧＰＳ受信機１１３が計測した慣性座標系における移動体８００の速度ｖ^ｇとの差ｄｖを計算する。第一推定部１４０は、姿勢角ｑ^ｎと、速度の増分Δｖ^ｎと、速度の差ｄｖとに基づいて、角速度の誤差ｂ_ｇと、姿勢角の誤差εとを推定する。 （もっと読む）

【課題】微小な可動部を有する微小構造体を簡易に精度よく検査できる微小構造体の検査装置および微小構造体の検査方法を提供する。
【解決手段】可動部を有する微小構造体を備えたウェハＷの検査を行う。まず、プローブカード５とウェハＷの位置合わせをし、プローブ針６と電極パッドＰの電気的接続を行う。テスタ２の制御部Ｔ２の指示で、駆動部Ｔ３はホルダー１１を上下に駆動させ、ホルダー１１に支持されたインカー１０でウェハＷを叩く。微小構造体周辺のウェハＷ上をインカー１０で直接叩打することで、ウェハＷが振動し、微小構造体の可動部は加振して自由振動する。これが可動部のステップ入力になり、自由振動特性を計測することができる。 （もっと読む）

【課題】被測定物の速度や移動距離等の動き情報を検出する加速度センサモジュールの回路のオフセット電圧等の誤差要因をキャンセルするためのオフセット調整が自動的に行われるようにする。
【解決手段】入力された電圧を非反転増幅し、第一の増幅電圧を出力する第一の増幅回路ＡＭＰ１と、第一の増幅回路ＡＭＰ１の出力端とグランド電位の間に接続され、第一の増幅電圧が印加されて充電されるホールド用コンデンサＣｈを有する。ホールド用コンデンサＣｈの両端電圧を非反転増幅し、第二の増幅電圧を出力する第二の増幅回路とＯＰ２、一端が第二の増幅回路ＯＰ２の出力端に接続されたフィードバック抵抗Ｒｆと、第一の増幅回路ＡＭＰ１の出力端とホールド用コンデンサＣｈとの接続点に挿入されたスイッチ素子ＡＳＷとを有するオフセット調整回路ＦＢｘを備える。加速度電圧に基づいてスイッチ素子ＡＳＷをオン・オフ制御するオフセット制御手段２４を備える。 （もっと読む）

【課題】安価で簡易な構成によりスライダの位置検出を安定して行うことができるとともに、設計の自由度の高い位置決め装置を実現する。
【解決手段】Ｘ軸方向に位置制御されるスライダ１と、このスライダ１と対向する面に磁極の歯が形成されてスライダ１と平面モータを構成するプラテン１０とを有するとともに、
スライダ１のＸ軸方向の位置に応じた信号を出力するレゾルバ３０と、スライダ１のＸ軸方向の加速度を検出する加速度センサ３１とを備えた位置検出装置３００を備え、
位置検出装置３００がレゾルバ３０と加速度センサ３１の出力に基づいてスライダ１の位置を求めることを特徴とする位置決め装置。 （もっと読む）

【課題】振動子の故障検出精度を高めた角速度検出回路及び角速度検出装置を提供する。
【解決手段】駆動信号に基づいて励振振動する振動子１０に接続され、角速度を検出する角速度検出回路５であって、振動子１０から、コリオリの力に基づく角速度成分と、励振振動に基づく自己振動成分とを含む検出信号が入力され、検出信号から自己振動成分を抽出する自己振動成分抽出手段３３１と、自己振動成分抽出手段３３１の出力信号を積分する積分手段３３６を含む直流変換手段３３２と、直流変換手段３３２の出力信号にオフセット値を加えるオフセット加算手段３４２とを含む。 （もっと読む）

【課題】振動子の故障検出精度を高めた角速度検出回路、角速度検出装置及び故障判定システムを提供する。
【解決手段】駆動信号に基づいて励振振動する振動子１０に接続され、角速度を検出する角速度検出回路５であって、振動子１０から、コリオリの力に基づく角速度成分と、励振振動に基づく自己振動成分とを含む検出信号が入力され、検出信号から自己振動成分を抽出する自己振動成分抽出手段３３１と、自己振動成分抽出手段３３１の出力信号を積分する積分手段３３６を含む直流変換手段３３２と、直流変換手段３３２の出力信号の温度による変動を補正する温度特性補正手段３３３とを含む。 （もっと読む）