【課題】保護層を有する平版印刷版原版の非アルカリ現像処理において、保護層成分が現像液に混入しても、画像記録層の現像除去性低下や現像カスの発生が抑制できる平版印刷版の作製方法を提供すること。および、着肉性に優れ、耐傷性、機上現像性および細線再現性も良好な機上現像型の平版印刷版原版および平版印刷方法を提供すること。
【解決手段】支持体、画像記録層および保護層を有する平版印刷版原版を、画像様露光後、ｐＨが２〜１０の現像液の存在下、自動処理機の擦り部材で版面を擦ることにより、保護層および非露光部の画像記録層を除去する平版印刷版の作製方法。ならびに、支持体上に、印刷インキおよび／または湿し水により除去可能な画像記録層および分子中にカルボキシル基および／またはスルホン酸基を有するポリビニルアルコールを含有する保護層を有する平版印刷版原版、および機上現像を含む平版印刷方法。 （もっと読む）

【課題】品質不具合が起こらず、ランニングコストが低く、プロセス管理が容易な現像装置、現像方法、及び現像液循環方法を提供すること。
【解決手段】１）現像処理が行われる現像槽と、現像液を収容する現像液循環タンクと、前記現像液循環タンク内の現像液を前記現像槽に送る手段と、前記現像槽において現像処理に使用された後の現像液を前記現像液循環タンクに戻す手段とを備える現像液循環系、２）前記現像液を濾液と濃縮液とに分離する限外濾過フィルタ、及び３）前記現像液循環タンクから一部を取り出された現像液を収容する限外濾過濃縮液タンクと、前記限外濾過濃縮液タンク内の現像液を前記限外濾過フィルタに送る手段と、前記限外濾過フィルタにおいて分離された濃縮液を前記限外濾過濃縮液タンクに戻す手段と、前記限外濾過フィルタにおいて分離された濾液を前記現像液循環系に戻す手段とを備える濾液・濃縮液循環系を具備する現像装置。 （もっと読む）

【課題】現像処理時に、感光性平版印刷版の表面に筋状のむらが発生することを防止できるブラシローラ、感光性平版印刷版の現像装置、および平版印刷版の製造方法を提供する。
【解決手段】感光性平版印刷版の現像装置に適用され、感光性平版印刷版の表面をブラッシングするためのブラシローラ７１は、軸部材８１と、ブラシ素材をチャンネル部材に固定して形成され、軸部材７１の外周面に巻き付けられた複数のチャンネルブラシ８３と、を備える。複数のチャンネルブラシ８３は、それぞれが軸部材８１の外周面に所定のピッチでらせん状に巻き付けられており、軸部材８１の周方向にて互いに離隔して配設されている。 （もっと読む）

【課題】 酸化亜鉛系結晶からなる薄膜の微細加工において、現像及びホトレジスト剥離のいずれの処理においても酸化亜鉛系結晶からなる薄膜の溶解を抑制し、導電特性及び可視光透過性の大幅な劣化を生ずることなくパターニング可能な方法の提供すること。
【解決手段】 基板上に酸化亜鉛系結晶からなる薄膜を成膜し、該薄膜表面にホトレジストを形成した後にパターンマスクを介して露光し、前記ホトレジストの露光部を現像液により現像処理を施して前記露光部のホトレジストを除去し、残存した前記ホトレジストを介して前記薄膜にエッチングを施した後に剥離液により前記ホトレジストを剥離処理するパターニング方法であって、前記現像液及び前記剥離液のｐＨが１０．５〜１３．５であり、且つ液温が１５〜５０℃の温度範囲であることを特徴とする酸化亜鉛系結晶からなる薄膜のパターニング方法とする。 （もっと読む）

【課題】液浸保護膜、又は撥水性レジストを含め、広範な種類の膜が成膜された基板を露光し、現像する場合にも、基板表面内でのＣＤ値の均一性を向上させることができ、処理時間を短縮することができる現像処理方法を提供する。
【解決手段】表面にレジストが塗布され露光された後の基板を回転させながら現像処理する現像処理方法において、基板Ｗの上方に配置された現像液ノズル４ｂを基板Ｗの中心側から外周側へ移動させ、現像液ノズル４ｂから基板Ｗの表面に現像液Ｄを供給する現像液供給ステップと、基板Ｗの上方に配置された第１のリンス液ノズル４ｃを基板Ｗの中心側から外周側へ移動させ、第１のリンス液ノズル４ｃから基板Ｗの表面に第１のリンス液Ｒを供給する第１のリンス液供給ステップとを有し、第１のリンス液ノズル４ｃが現像液ノズル４ｂよりも基板Ｗの中心側に配置された状態を保ったまま、第１のリンス液供給ステップを現像液供給ステップと同時に行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】アルカリ現像液中の炭酸系塩類の濃度を簡便かつ制度良く測定可能な装置及び方法、及びこれを用いたアルカリ現像液管理システムを提供する。
【解決手段】アルカリ現像液の屈折率に関する情報、前記アルカリ現像液の導電率に関する情報、前記アルカリ現像液の吸光度に関する情報をそれぞれ取得するデータ取得部９１と、屈折率に関する情報、記導電率に関する情報、及び、吸光度に関する情報に基づいて、アルカリ現像液中の炭酸系塩類の濃度に関する情報を取得する炭酸系塩類濃度取得部９４と、を備える炭酸系塩類濃度測定装置９９である。 （もっと読む）

【課題】水置換工程における現像液から水洗水への水置換の際に、水洗槽に混入した現像液の成分が、循環して基板に汚れを発生させない現像装置を提供する。
【解決手段】水置換工程の水置換槽Ｓ４へ水洗水を供給する循環タンクＳＴ１に、循環タンク内の水洗水の現像液成分による汚染度を計測する測定器４０を備え、測定器で計測された汚染度が予め設定された公差外となった際に、循環タンク内の水洗水の排水Ｄ３及び循環タンク内へ水洗槽から回収された水洗水の補充を行い、汚染度を公差内に調整する。現像液成分による汚染度として水洗水の導電率を用いる。循環タンクとして２基の循環タンクを並列に設け、一方の循環タンク内の水洗水の汚染度が公差外となった際に、他方の循環タンクに切り換えること。 （もっと読む）

【課題】スリットノズルを使用するスピンレス塗布法において塗布処理直後に行われる減圧乾燥処理の効率性の向上および処理時間の短縮化を実現するとともに、減圧乾燥処理後のレジスト塗布膜の膜質均一性を向上させる。
【解決手段】レジスト塗布ユニットで当該基板Ｇに対して右辺Ｇ_Rから左辺Ｇ_Lに向かって塗布走査する第２モードが選択されたときは、減圧乾燥ユニット（ＶＤ）５２では、減圧乾燥処理中に左側のガス噴出部１０２を選択的に作動させて右側のガス噴出部１０４を止めておくような気流制御が行われる。この場合、手前（左側）の排気ポート１００ａ，１００ｂの排気流路が閉められ、向かい側（右側）の排気ポート１００ｃ，１００ｄを通じてチャンバ内の排気が行われる。 （もっと読む）

【課題】 フォーカス余裕度（ＤＯＦ）及びラフネス特性に優れ且つブリッジ欠陥及び欠けの少ないパターンを形成可能とするパターン形成方法並びに感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 本発明に係るパターン形成方法は、（Ａ）感活性光線性又は感放射線性樹脂組成物を用いて膜を形成することと、（Ｂ）前記膜を露光することと、（Ｃ）有機溶剤を含んだ現像液を用いて前記露光された膜を現像することとを含み、前記組成物は、（ａ）酸の作用により前記現像液に対する溶解度が減少する樹脂であって、酸素原子を含んだ基がエステル結合及び芳香環基の何れも含んでいない２価の連結基又は単結合を介して主鎖と結合している繰り返し単位を備え、前記樹脂に占める前記繰り返し単位の含有率は、前記樹脂中の全繰り返し単位に対して２０ｍｏｌ％乃至１００ｍｏｌ％の範囲内である樹脂と、（ｂ）活性光線又は放射線の照射により酸を発生する化合物と、（ｄ）溶剤とを含有している。 （もっと読む）

刷版(１１２)のための現像装置(１００)は、直線経路において現像装置の内側に刷版を輸送するよう構成される直線輸送ユニット(１１６)と、浸漬経路(１２０)において現像装置の内側に刷版を輸送するよう構成される浸漬輸送ユニット(１２０)と、直線輸送ユニット(１１６)と浸漬輸送ユニット(１２０)との間を切り換えるよう構成される切換え素子(２３２，２４４ｂ)とを含む。
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