閉ドリフトイオン源の電気絶縁アノード電極に電子を供給するステップを含む、基板の表面を改質するプロセスが、提供される。アノード電極は、正のアノード電極帯電バイアスを有するが、閉ドリフトイオン源の他の構成要素は、電気的に接地され、または電気的浮動電圧を保持する。電子は、イオン形成を誘導する閉ドリフト磁場と交差する。アノード汚染は、ガスの存在下で電極帯電バイアスを負に切り替えることによって防止され、プラズマが、アノード電極の近傍に生成され、アノード電極から汚染堆積物を浄化する。次に、電極帯電バイアスは、反復電子源の存在下で正に戻され、反復イオン形成を誘導し、基板の表面を再び改質する。このプロセスによって基板の表面を改質する装置が、提供される。
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励起したおよび／または原子状態のガスの注入を利用するイオン源を開示する。イオンビームに適用する場合、ソースガスはそのまま使用して従来どおり供給する。代替的にまたは付加的に、ソースガスをイオン源チャンバに導入する前にリモートプラズマ源を通過させることにより変質させることができる。これにより励起中性種、重イオン、準安定分子、または多価イオンを生成することができる。他の実施形態において、複数のガスを用い、１つ以上のガスがリモートプラズマ源を通過するようにする。特定の実施形態においては、複数のガスをイオン源チャンバへ供給する前に単一のプラズマ源において混合する。プラズマ浸漬に適用する場合、１つ以上の追加ガス注入箇所を介して、プラズマをプロセスチャンバに注入する。これら注入箇所により、プロセスチャンバの外部におけるリモートプラズマ源で生成した追加プラズマの流入が可能になる。 （もっと読む）

【課題】 アルミニウムイオンを含むイオンビームを発生させるイオン源において、部品点数の削減および構造の簡素化を可能にする。
【解決手段】 このイオン源は、フッ素を含むイオン化ガス８が導入されるプラズマ生成容器２と、この容器２内の一方側に設けられた熱陰極１２と、プラズマ生成容器２内の他方側に設けられていて、バイアス電源２４から当該容器２に対して負電圧Ｖ_B が印加されて電子を反射する対向反射電極２０と、プラズマ生成容器２内に、熱陰極１２と対向反射電極２０とを結ぶ線に沿う磁界２８を発生させる磁石３０とを備えている。対向反射電極２０はアルミニウム含有物質から成る。 （もっと読む）

【課題】絶縁不良が生じにくく、メンテナンスの頻度を低減することのできるイオン発生装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかるイオン発生装置１００は、カソード孔１２、リペラ孔１４、ガス入口１６、およびイオン取出口１８を備えたアークチャンバ１０と、フィラメント２２およびサーマルブレイク２４を備え、カソード孔１２を介してアークチャンバ１０内に突出して設けられたカソード２０と、支柱３２および支柱３２の先端に設けられた反射板３４を備え、リペラ孔１４を介してアークチャンバ１０内に突出して設けられたリペラ３０と、を有し、サーマルブレイク２４および反射板３４は、アークチャンバ１０内で互いに対向しており、アークチャンバ１０は、カソード２０およびリペラ３０と電気的に絶縁されており、平面視において、リペラ孔１２は、反射板３４の輪郭の内側に形成される。 （もっと読む）

【課題】ビーム電流のより大きな負イオンビームを出射する負イオン源、及び負イオン源の運転方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、プラズマ容器１２と、熱電子を放出して原料ガスからプラズマを生成するフィラメント１６と、プラズマ容器１２の外周に沿って設けられてカスプ磁場を形成する複数の磁石Ｍ１と、プラズマから負イオンを外部に引き出して負イオンビームを生成する引出電極２０と、プラズマ容器１２の内部空間を放電空間Ｓ１と引出空間Ｓ２とに分割するような位置にフィルタ磁場ＭＦを形成するフィルタ磁場形成手段Ｍ２とを備える負イオン源１０を用い、出空間Ｓ２内に形成されたプラズマのプラズマポテンシャルＶｐが測定され、このプラズマポテンシャルＶｐの測定値に対して引出電極２０の電位が同電位又は略同電位となるように引出電圧が調節されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 同軸構造の熱陰極の内部導体の温度上昇を抑制して、内部導体の寿命ひいては熱陰極の寿命を長くする。
【解決手段】 この熱陰極１０は、中空の外部導体２と、その内側に同軸状に配置されている中空の内部導体１と、両導体１、２の先端部を電気的に接続する接続導体３とを備えている。加熱電流Ｉ_H は、接続導体３を通して折り返されて、外部導体２と内部導体１とで互いに逆向きに流される。 （もっと読む）

【課題】プラズマ生成容器に複数の被加熱体が設けられるイオン源において、安定した熱電子の放出が可能であり、被加熱体を交換するまでのイオン源の運用時間を長くする。
【解決手段】イオン源は、ガスが供給されてプラズマを生成する、導体面を有する内部空間を備えたプラズマ容器と、このプラズマ容器と電気絶縁され、内部空間の内壁面から突出し、通電することにより前記内部空間に熱電子を放出する一対の熱電子放出素子と、 一対の熱電子放出素子のそれぞれに電流を流す電源と、を有する。プラズマ容器内のプラズマに曝される内壁面の材料と、一対の熱電子放出素子の、プラズマに曝され、熱電子を放出する部分の材料が、同じ金属を主成分とする材料で構成される。 （もっと読む）

【課題】より高い電流密度を得ることを可能とすることにより、プロセスの高速化を図ることが可能なイオンガン及び成膜装置を提供する。
【解決手段】本発明のイオンガン１は、スリット状の開口部１１が形成された陰極２と、開口部１１の幅方向に磁場を発生させる磁石３と、この磁場に対して略垂直方向に電界を生じさせるように陰極２の裏面から離間して配置された陽極４と、を備え、陰極２の表面の開口部１１からイオンビームＢが引き出されるもので、陽極４を構成する材料が強磁性材、または非磁性のステンレス鋼を熱処理により弱磁性材化した弱磁性材である。 （もっと読む）

【課題】 組立てが容易であり、カソードの加熱効率を高めることができ、振動が加わってもカソードの少なくとも下方への位置ずれや脱落を防止することができ、かつねじ加工を使わずに済み、構造が簡単なカソード保持構造を提供する。
【解決手段】 このカソード保持構造は、熱電子を放出させるための前部２２、その背後の後部２４およびその側壁の周囲に形成された溝２６を有しているカソード２０と、筒状のものであってその先端部付近内にカソード２０の後部２４が通る貫通穴３４を有する棚部３２を備えているカソードホルダー３０と、平面形状がＣ形、断面形状が円形をしているロックワイヤ４０とを備えていて、カソード２０の後部２４を貫通穴３４に挿通し、溝２６にロックワイヤ４０を嵌めて、ロックワイヤ４０でカソード２０をカソードホルダー３０の棚部３２に係止している。 （もっと読む）

イオンソース１００は、プラズマ生成部１０４と、第１ガスを受け取る第１ガス注入口１２２とを有する第１プラズマ室１０２であって、プラズマ生成部１０４および当該第１ガスが協働して上記第１プラズマ室１０４内に第１プラズマを生成し、上記第１プラズマ室１０２が、上記第１プラズマから電子を取り出す開口部１１４をさらに規定した第１プラズマ室１０２、および、第２ガスを受け取る第２ガス注入口１２４を有する第２プラズマ室１１６であって、第２プラズマ室１１６が、第１プラズマ室１０２の開口部１１４と合う位置に開口部１１７を規定し、当該開口部から取り出された電子を受け取り、電子および第２ガスが協働して第２プラズマ室１１６内に第２プラズマを生成し、第２プラズマ室１１６が、第２プラズマから各イオンを取り出す取り出し開口部１２０をさらに規定した第２プラズマ室１１６を有する。
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