【課題】容器本体に装着可能であり、基板支持部の寸法精度の向上を図り、基板支持部によって支持された基板の撓みを抑制することができる支持部材、及び支持部材を備えた基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体の内面に設けられ基板を支持する支持部材５と、支持部材を容器本体に固定する支柱部材５１Ａ，５１Ｂとを有する基板収納容器であって、支持部材５は、基板を載置可能な複数の支持片６１を有し、支柱部材５１Ａ，５１Ｂは、支持片６１を所定間隔で挟持する複数の棚部５２を有し、支持片６１は、棚部５２間に嵌入されている。これにより、複数の支持片６１が支柱部材５１Ａ，５１Ｂとは、別部材として形成されているため、支持片６１の成形が容易となり寸法精度を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】基板収納容器を保管中の工場で火災が発生したときに、延焼を抑制可能な基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を有し基板を収納する容器本体２と、容器本体の開口をシールガスケット部材２１によってシール可能に閉鎖する蓋体３と、容器本体の外表部に取りつけられる搬送部品とを有する基板収納容器１であって、前記容器本体２と前記蓋体３、並びに前記搬送部品の何れもが自己消火性の材料から形成する基板収納容器１。 （もっと読む）

【課題】搬送部とステージ等との間の受け渡しにおいて、電力が供給されない時間を短縮する。
【解決手段】基板を載置するホルダ本体と、基板をホルダ本体に静電吸着させる静電吸着部と、ホルダ本体を搬送する第１の搬送部から静電吸着部へ電力を供給する第１の搬送部用端子と、第１の搬送部との間でホルダを受け渡してホルダを搬送する第２の搬送部から静電吸着部へ電力を供給し、第１の搬送用端子と異なる位置に配された第２の搬送部用端子とを備える基板ホルダが提供される。 （もっと読む）

【課題】薄く研削されたデバイス領域に欠けを生じさせることのないウエハの加工方法を提供する。
【解決手段】複数のデバイスが形成されたデバイス領域と外周余剰領域とを有するウエハを加工する方法であって、表面に保護テープ２３を貼着する工程と、チャックテーブル２５にウエハ１１の保護テープ側を保持しウエハ１１の裏面１１ｂに切削ブレード３１を位置づけチャックテーブル２５を回転させてデバイス領域と外周余剰領域との境界部を切削して分離溝３３を形成しデバイス領域からリング状の外周余剰領域を切り離す工程と、保護テープ２３によってデバイス領域とリング状の外周余剰領域とが一体になったウエハ１１のデバイス領域に対応する裏面１１ｂのみを研削して円形凹部を形成するとともにリング状の外周余剰領域をリング状補強部として残存させる裏面研削工程と、保護テープ２３を介してリング状補強部に支持されたウエハを搬送する工程と、を具備した。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、半導体ウェーハの移送のためのコンテナの向上に関する。
【解決手段】ウェーハの側部保護の向上と、回転を最小化するために向上したカバー設計、簡単な上部カバー配向機構、自動化のために向上した下部保持機構を有する。ウェーハの側部保護は、内壁と外壁を複合的にずらせることによって得る。回転を最小化するために向上したカバー設計は、運搬や移動の際上下部のハウジングのアライメントと、ハウジング回転を最小化することによって得る。ハウジングは、双方向にロッキングでき、壁に埋め込まれたタブランプフィーチャーを有し、この双方向のロッキングは二つのハウジングがアセンブルされた際に、格納装置の剛性も向上させる。ラッチ機能は、保護ラッチウェル内に配置され、不注意でラッチが開口する事態を最小化する。自動化のために向上した下部保持機構は、下部ハウジングに形成され、二次的な操作ではアセンブリされない、統合されたフィーチャーである。 （もっと読む）

【課題】基板に異物が付着するのを防ぐことができる基板カートリッジ、基板処理装置、基板処理システム、制御装置及び表示素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板が出し入れされる開口部を有し、前記開口部を介した前記基板を収容するカートリッジ本体と、前記カートリッジ本体に設けられ、外部接続部に対して着脱可能に接続されるマウント部とを備え、前記開口部は、前記マウント部と前記外部接続部との間の接続状態に応じて、前記基板によって閉塞可能に設けられている。 （もっと読む）

【課題】基板を収納する基板用カセットに対して、様々なサイズの基板に対応して棚板の位置決めを行うことができる、汎用性の高い位置決め冶具を提供する。
【解決手段】枠体内に互いに平行に設けられた複数対の棚板の対向する面に、同一方向に平行に延びる複数の溝を備え、複数の基板を各対の棚板の溝に差し込んで収納する基板用カセットの棚板の位置決めに用いられる位置決め治具であって、前記基板と同じ幅のダミー基板７、第一の挟持部を有する支持板１、前記第一の挟持部の端縁に突状に設けられたサイドガイド３及び第二の挟持部を有する押さえ板２から構成され、前記ダミー基板７は、前記ダミー基板７の端面と前記サイドガイド３の端面とを合わせて配置され、前記第一の挟持部と前記第二の挟持部で挟持され、固定されることを特徴とする基板用カセットの位置決め治具である。 （もっと読む）

【課題】容器本体内にウエハーを収納して搬送を行なう場合に、容器本体へ上蓋をセットする時の回転動作や搬送中の振動により、容器本体内に収納されたウエハーが回転してしまうことがある。
【解決手段】半導体ウエハー３０を保護する防塵シート３１と前記半導体ウエハー３０とを、容器本体内に収納された摩擦シート２１上に交互に積層して収納する。この摩擦シート２１は、当該摩擦シート２１と当接する防塵シート３１の回転を防止する摩擦係数を有する。 （もっと読む）

【課題】トレイからガラス基板を取り出してガラス基板の確認をするのではなく、パレットに収納された基板枚数、基板の種別（以下、基板種別）を判定することを可能としたガラス基板枚葉トレイ段積み用パレットを提供する。
【解決手段】ガラス基板を収納したトレイを段積みするパレットであって、段積みパレットの蓋部または段積みパレットの土台部に備えられたレーザー発光手段と、段積みパレットの土台部または段積みパレットの蓋部に備えられたレーザー検知手段と、レーザー発光手段とレーザー検知手段の間にガラス基板の種別によって異なる形状を有する１角を配置し、１角を透過したレーザー光を検知手段によって得られた検知情報を出力する情報出力部と、検知情報を処理する情報処理部と、を有することを特徴とするガラス基板枚葉トレイ段積み用パレット。 （もっと読む）

【課題】容器本体を成形するための設備の大型化を抑制し、設備投資金額の増大を抑えて、容器本体の大型化を図ることが可能な基板収納容器を提供すること。
【解決手段】開口２ａを有し基板Ｗを収納する容器本体２と、容器本体２の開口２ａを閉鎖する蓋体３と、搬送用のフランジ部品４とを有する基板収納容器１において、容器本体２を、複数のパーツ７〜９に分割して形成し、分割された複数のパーツ７〜９を組み立てることで一体化する。このように、容器本体２を複数のパーツに分割することで、設備投資金額の増大を抑えて、容器本体２の大型化を図ることができる。 （もっと読む）