【課題】密着層から基板を容易に取り外すことができ、耐熱性を付与したり、構成の簡素化を図ることのできる基板用保持治具を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハＷと略同じ大きさの積層保持体２に薄い半導体ウェーハＷを保持させる基板用保持治具１で、積層保持体２を、剛性を有する複数の基材層３と、基材層３に着脱自在に積層されて半導体ウェーハＷに密着可能な複数の自己密着層４とから積層構造に形成し、積層保持体２の表面に自己密着層４を位置させ、積層保持体２の裏面には基材層３を位置させる。また、複数の基材層３と自己密着層４とに可撓性と耐熱性とをそれぞれ付与する。積層保持体２が複数の基材層３と自己密着層４の多層化により十分な抗張力を有するので、半導体ウェーハＷのハンドリングや搬送の便宜を図ることができる。 （もっと読む）

【課題】半導体装置の電気的特性がウェハ（半導体基板）間でばらつくことを抑制し得る半導体装置の製造方法及び基板収容構造を提供する。
【解決手段】この製造方法は、トレー１０の上に２次電子吸収材を含む保護シート２２Ａ，２２Ｂを配置し、半導体基板２１Ａ，２１Ｂを保護シート２２Ａ，２２Ｂ上に配置してトレー１０に収容する工程と、半導体基板２１Ａ，２１Ｂにトレー１０側とは反対側から荷電粒子線を照射して半導体基板２１Ａ，２１Ｂ内に格子欠陥を形成する工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】ウェハ特性に影響がでたり、ウェハトレイ自体にひび割れが生じたりするのを防ぐため、温度分布が均一となるＣＶＤ装置用ウェハトレイ、ＣＶＤ装置用加熱ユニット及びＣＶＤ装置を提供する。
【解決手段】一面にウェハを載置可能なキャビティが設けられたウェハトレイ本体と、前記ウェハトレイ本体の他面に突出して形成された接続部と、を備え、前記接続部には、ウェハトレイ本体を回転可能な回転軸を着脱自在に接続できる接続用凹部が設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 FIMSシステムにおいてポッドの蓋に付随する極微小な塵等のミニエンバイロンメント内への拡散を抑制するポッド及び該ポッドに応じたFIMSシステムを提供する。
【解決手段】 ポッドの蓋外側面内に被係合部を配置し、ポッド開口周囲に配される該蓋が嵌合可能なフランジ部に対して外部空間より該被係合部にアクセス可能となる挿通孔を配する。ラッチ機構はフランジ部におけるポッド本体側の面においてフランジ側壁に平行な方向に摺動可能に支持され、該ラッチ機構における係合部は該挿通孔を介して被係合部に至り、該ラッチ機構の移動に応じて係合及び非係合の状態変化を為す。 （もっと読む）

【課題】複数の板材を収納する板材収納枠において、板材の挿入が禁止される平行溝内への板材の挿入を確実に防止する。板材の挿入が許容される平行溝内への板材の挿入を高能率に行えるようにする。
【解決手段】対向に配置され、その内面に複数条の平行溝７がそれぞれ同一ピッチで形成された側板５，６を有し、一方の側板５に形成された平行溝７と、これと対向に配置される他方の側板６に形成された平行溝７とに板材Ｐの外周部を挿入することにより、これを保持する板材収納枠１Ａにおいて、側板５，６の端面に、板材Ｐの挿入が禁止される平行溝７を選択的に塞ぎ、板材Ｐの挿入が許容される平行溝７を開放状態とする収納位置規制部材６０Ａを、連結部材５０を介して着脱可能に取り付ける。 （もっと読む）

【課題】チャンバ内でガラス基板が割れたときにガラス破片を速やかに回収することができる基板処理方法を提供すること。
【解決手段】
本発明の基板処理方法は、チャンバ内に配置されたガラス基板に表面処理を施す基板処理方法であって、上方が開口された凹状の基板保持ケース２０にガラス基板１０を収容した状態でチャンバ内に搬送し、かつ、該基板保持ケース２０に収容した状態でガラス基板１０に表面処理を施すことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】収納用トレイに収納された状態でガラス基板のＩＤコードを読取る装置を提供する。
【解決手段】積層されたガラス基板収納用トレイに収納されたガラス基板のＩＤコードを読取る装置であって、照明光を発生する照明手段と、照明手段から発せられた照明光を屈折する屈折手段と、屈折手段によって屈折された照明光によって照明されたＩＤコードの画像を撮像する手段と、前記照明手段と撮像手段をガラス基板収納用トレイと垂直な方向に移動する手段と、撮像したＩＤコードの画像を変換するデコード手段と、を備え、ガラス基板のＩＤコードを積層されたガラス基板収納用トレイに収納した状態で読取ることを特徴とするガラス基板のＩＤコード読取装置。 （もっと読む）

【課題】基板の直径が大きくなる傾向にある近年において、回路が形成された２枚の基板を、接合すべき電極同士が接触するように高い精度で位置合わせするために、その２枚の基板をそれぞれ保持する２枚の基板ホルダを精密に管理する機構が求められている。
【解決手段】基板を挟持して搬送するときに対で用いられる第１基板ホルダと第２基板ホルダを対で収容するホルダ対ケースと、ホルダ対ケースを載置する棚とを備えるホルダラック。 （もっと読む）

【課題】基板の汚染を排除し、基板を高精度に支持でき、しかも、基板に関する作業の簡素化や容易化を図り得る基板収納容器を提供する。
【解決手段】ガラスウェーハＷ収納用の容器本体１と、ガラスウェーハＷをサポートするサポート治具３０とを備え、容器本体１の内部両側に、ガラスウェーハＷとサポート治具３０を水平支持可能な支持体５を配設したもので、支持体５は、ガラスウェーハＷ用の支持片７を備え、支持片７の前部に、ガラスウェーハＷの飛び出しを規制する段差部８を形成し、支持片７の後部に、ガラスウェーハＷの収納位置を規制する位置規制壁９を形成する。サポート治具３０は、ガラスウェーハＷに対向する治具本体３１と、治具本体３１に形成されて容器本体１の上下方向に湾曲する屈曲支持部３２・３２Ａと、治具本体３１の両側端部に突出形成されて支持片７に支持される平坦なレール３６とを備え、段差部８と位置規制壁９に挟持される。 （もっと読む）

【課題】マスクブランク、転写マスクなどの膜付きガラス基板の外周端面が挿入保持される基板収納容器の溝の断面形状を改良して、基板表面に形成されている膜が溝側面に干渉して剥離するなどの弊害が発生しないようにすること。
【解決手段】容器本体と容器蓋とから成る収納容器の容器本体の左右および底にはマスクブランク１０の左右および下側の外周端面１１ｂが収納保持されている保持溝４３、４５が形成されており、保持溝４３（４５）は、溝底面４３ａ（４５ａ）と溝側面４３ｂ、４３ｃ（４５ｂ、４５ｃ）の入り隅の角度θａを適切に設定することにより、当該溝側面がマスクブランク１０の遮光膜およびレジスト膜の端１４に干渉しないようにしてある。 （もっと読む）