ガラス基板のIDコード読取装置
【課題】収納用トレイに収納された状態でガラス基板のIDコードを読取る装置を提供する。
【解決手段】積層されたガラス基板収納用トレイに収納されたガラス基板のIDコードを読取る装置であって、照明光を発生する照明手段と、照明手段から発せられた照明光を屈折する屈折手段と、屈折手段によって屈折された照明光によって照明されたIDコードの画像を撮像する手段と、前記照明手段と撮像手段をガラス基板収納用トレイと垂直な方向に移動する手段と、撮像したIDコードの画像を変換するデコード手段と、を備え、ガラス基板のIDコードを積層されたガラス基板収納用トレイに収納した状態で読取ることを特徴とするガラス基板のIDコード読取装置。
【解決手段】積層されたガラス基板収納用トレイに収納されたガラス基板のIDコードを読取る装置であって、照明光を発生する照明手段と、照明手段から発せられた照明光を屈折する屈折手段と、屈折手段によって屈折された照明光によって照明されたIDコードの画像を撮像する手段と、前記照明手段と撮像手段をガラス基板収納用トレイと垂直な方向に移動する手段と、撮像したIDコードの画像を変換するデコード手段と、を備え、ガラス基板のIDコードを積層されたガラス基板収納用トレイに収納した状態で読取ることを特徴とするガラス基板のIDコード読取装置。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体やカラー液晶表示デバイスに用いるガラス基板が収納トレイ内に収納されている状態でガラス基板のIDコードを読取る装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
図1はガラス基板の一例としてカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板の断面を示した図である。カラーフィルタ1は、ガラス基板2上にブラックマトリックス(以下、BM)3、レッドRの着色画素(以下、R画素)4−1、グリーンGの着色画素(以下、G画素)4−2、ブルーBの着色画素(以下、B画素)4−3、透明電極5、及びフォトスペーサー(Photo Spacer)(以下、PS)6、バーテイカルアライメント(Vertical Alignment)(以下、VA)7が順次形成されたものである。
【0003】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図2は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にBMを形成処理する工程(C1)、ガラス基板を洗浄処理する工程(C2)、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程(C3)、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程(C4)、露光処理する工程(C5)、現像処理する工程(C6)、着色フォトレジストを硬化処理する工程(C7)、透明電極を成膜処理する工程(C8)、PS、VAを形成処理する工程(C9)がこの順に行われ製造される。
【0004】
例えば、R画素、G画素、B画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程(C2)から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間(C7)ではレッドR、グリーンG、ブルーBの順に着色レジストを変更して3回繰り返されてR画素、G画素、B画素が形成される。
【0005】
図2に示されるカラーフィルタ基板の製造工程においては、ガラス基板を管理するためにガラス基板1枚毎に識別コード(以下、IDコード)が印刷等によって付与されている。一般的にはIDコードはカラーフィルタの非有効画像部に識別可能なバーコードや2次元コード形式で印字されている。そのIDコードに、ガラス基板の所在情報(投入中工程、収納カセット、段数など)や品質データや製造履歴データ等の各種データを紐付けて、コンピュータシステムに保存することで、カラーフィルタ基板のトレーサビリティ機構を構築している。
【0006】
IDコード読取装置は、主に画像データから文字列データにデコード(変換)するデコード装置とCCDカメラから構成され、CCDカメラで撮像されたIDコード画像データをデコード装置にてコード認識し文字データに変換処理を行うものである。CCDカメラによるIDコード撮像には、光量を得る為に専用光源を用いるのが一般的であり、その光源にはLED照明が多く用いられている。
【0007】
また、カラーフィルタの製造において、その主材料であるガラス基板を収納、工程搬送、輸送、保管するために、ガラス基板収納用トレイが使用されている。この収納用トレイの使用は、製造工程途中及び製造が終了されたガラス基板にも適用され、多岐に渡る使用用途を持つ。
【0008】
基板収納用トレイでガラス基板を収容、輸送及び保管する際の荷姿は通常、図3に示す
ように複数のトレイを積層し、トレイ搬送用パレット10上に搭載された状態となる。トレイ搬送用パレット10には、RFID(Radio Frequency Identification)等のデータキャリア11が取り付けられており、トレイに収納されたガラス基板の枚数やIDデータ等が保存される。このデータは主に、トレイへガラス基板を収納及び、トレイ上ガラス基板の取り出し装置(以下、トレイ移戴装置)で更新され、トレイ移戴装置やガラス基板を保管するための自動倉庫等で参照される。
【0009】
図3に示される複数のトレイの1つを図4に示す。ガラス基板収納用トレイ12は、フレーム部13、ガラス基板支持部14、ガラス基板サポート部15等を備えている。
【0010】
図5は、図4における線分A―Bで切断した断面を示す。
【0011】
また、近年のディスプレイサイズの大型化に伴いガラス基板サイズも大型となり、限られたスペースで、各ガラス基板同士が相互に接触することなく、効率よく収容、輸送及び保管することができるガラス基板収納用トレイが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0012】
【特許文献1】特開2004−359343号公報
【特許文献2】特開2007−314215号公報
【特許文献3】特開2006−319005号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0013】
ガラス基板収納用トレイに収納されたガラス基板枚数及び収納段数などの情報は、上記したように、通常、トレイ搬送用パレットに取り付けられたデータキャリアに保存されるが、トレイ移戴装置のトラブル等の何らかの理由で、実際に収納されているガラス基板とデータキャリアに保存されているデータが一致しない状況が発生することがある。
【0014】
トレイ移戴装置や自動倉庫は、データキャリアに記載された情報を元に、収納/取り出し枚数決定,パレット搬送先決定等の動作制御をおこなう。そのため、データに誤りがあると収納/取り出し枚数の誤りやパレット搬送先のトラブルが発生したり、装置停止等の原因となる。例えば、製品を収納し出荷したパレットを、得意先が自社工程に投入する際に、データキャリアに記録されているIDデータと、実際に投入したガラス基板IDとが異なっていた場合には、得意先のラインがエラー停止し、得意先クレームとなったり、トラブルの波及範囲の調査及びガラス基板選別作業のために、多大な労力,時間が必要となる。
【0015】
また別の例では、データキャリアに収納枚数20枚分のIDデータが記載されたパレット上のトレイから、ガラス基板をライン投入した際に、実際には21枚のガラスが収納されており、パレット上にガラス基板が1枚残ってしまうと云った問題も発生する。
【0016】
このようなトラブルを防止するためには、自動倉庫へのパレット入出庫前後に、実際にパレット上の各ガラス基板収納用トレイに収納されているガラス基板の有無と、データキャリア保存データとの整合性を確認する必要があるが、ガラス基板収納用トレイは積層された状態では収納されたガラス基板の防塵のために密閉されているため、外観では各トレイのガラス基板収納状況,ガラス基板IDを確認することは困難である。例えば、トレイ移戴装置を用いて、積層されたトレイ1枚1枚を持ち上げ、トレイ内ガラス基板の有無,ガラス基板IDを確認することも可能であるが、多大な時間が必要となり、確認時にガラス基板の傷つき等のロスが発生すると云った新たな問題が起こる恐れがあるため、望ましい方法とは云えない。
【0017】
そこで本発明は係る問題点に鑑みて、収納用トレイに収納された状態でガラス基板のIDコードを読取る装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0018】
本発明の請求項1に係る発明は、積層されたガラス基板収納用トレイに収納されたガラス基板のIDコードを読取る装置であって、
照明光を発生する照明手段と、
照明手段から発せられた照明光を屈折する屈折手段と、
屈折手段によって屈折された照明光によって照明されたIDコードの画像を撮像する手段と、
前記照明手段と撮像手段をガラス基板収納用トレイと垂直な方向に移動する手段と、
撮像したIDコードの画像を変換するデコード手段と、を備え、
ガラス基板のIDコードを積層されたガラス基板収納用トレイに収納した状態で読取ることを特徴とするガラス基板のIDコード読取装置である。
【0019】
本発明の請求項2に係る発明は、屈折手段はプリズムにハーフミラーと光反射材を備えたことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板のIDコード読取装置である。
【0020】
本発明の請求項3に係る発明は、照明手段と撮像手段は積層されたガラス基板収納用トレイが保管される自動倉庫のパレット入出庫ポジションに備えられることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板のIDコード読取装置である。
【発明の効果】
【0021】
収納用トレイに収納されたガラス基板のIDを読取る機構によって、これまで行われていたトレイ移戴装置を用いて、積層されたトレイ1枚1枚を持ち上げ、トレイ内ガラス基板の有無,ガラス基板IDを確認するための多大な時間と、更に確認時に発生していたガラス基板の傷つき等のロスを抑制することが可能となる。
【0022】
実際の収納ガラス基板とデータキャリア情報との不一致を迅速に発見することが可能となり、その結果、ガラス基板の実物とデータの不一致による装置トラブルや装置停止ロスを防止することが可能となり、更に、実際の収納ガラス基板とデータキャリア情報との不一致時に、迅速なデータ復旧が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0023】
【図1】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図。
【図2】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。
【図3】複数の積層されたトレイがトレイ搬送用パレット上に搭載された状態を示す図。
【図4】複数のトレイの1つを示す図。
【図5】図4における線分A―Bで切断した断面を示す図。
【図6】本発明に係るガラス基板収納用トレイのIDコード読取装置が自動倉庫入出庫ポジションに備えられた例を示す図。
【図7】一般的に使用されている自動倉庫の一例を示す図
【図8】本発明に係る積層されたガラス基板収納用トレイを示す図。
【図9】本発明に係る積層されたガラス基板収納用トレイの内の1枚のガラス基板収納用トレイを示す概略図。
【図10】図9のC−Dで示される断面を示す図。
【図11】本発明に係るIDコード反射機構を詳細に示した図。
【図12】本発明に係るIDコード読取り方法を示す図。
【図13】本発明に係るIDコード読取動作フローを示す図。
【図14】本発明に係る別のIDコード反射機構を示す図。
【発明を実施するための形態】
【0024】
以下、図面を参照して本発明に係るガラス基板収納用トレイ内のIDコード読取装置の実施形態を説明する。
【0025】
図6は本発明に係るガラス基板収納用トレイのIDコード読取装置が自動倉庫入出庫ポジションに備えられた例を示す図である。一般的に使用されている自動倉庫には図7に示されるように自動倉庫へのガラス基板収納カセットの搬入/搬出ポート45が備えられているが、自動倉庫入出庫ポジションとは、搬入/搬出ポート45を指すものである。一例として本発明のIDコード読取装置を自動倉庫へのガラス基板収納カセットの搬入/搬出ポート45に備えている。
【0026】
図7に示される自動倉庫の例では、ガラス基板収納カセットは搬入ポート45−1から搬入され自動倉庫に入庫される。入庫され保管されたガラス基板収納トレイに収納されているガラス基板は必要に応じてBM工程やRGB工程や検査工程やその他の工程(図示せず)に搬入(LD:LOAD)され処理された後、搬出(ULD:UNLOAD)されスタッカクレーによって自動倉庫内の保管ラックに保管される。また、出庫の際は搬出ポート45−2から搬出される。
【0027】
図6に示されるIDコード読取ヘッド51は、照明手段である照明用LED光源53と撮像手段であるCCDカメラ52を有し、照明手段と撮像手段をガラス基板収納用トレイと垂直な方向(Z軸方向)に移動する手段であるZ軸移動機構54によってZ軸方向に移動される。ガラス基板収納トレイ56はデータキャリア71を備えたトレイ搬送用パレット57に載置され、IDコード読取ヘッド51によってIDコードが読取られる位置まで搬送される。
【0028】
CCDカメラ52によって撮像されたIDコード画像は、カメラケーブルを用いてデコード手段であるIDコードデコード装置58に送信される。IDコード画像はIDコードデコード装置により、画像データから文字列データにデコード(変換)され、自動倉庫制御シーケンサ59の特定デバイスに格納される。IDコード画像はIDコード確認用モニタ60によって確認することが出来る。制御シーケンサに格納されたIDコード情報は、必要に応じネットワークを介してコンピュータシステム(図示せず)に送信される。
【0029】
図8は本発明に係る積層されたガラス基板収納用トレイを示す図であって、積層されたガラス基板収納用トレイ70はトレイ搬送用パレット57上に搭載される。トレイ搬送用パレット57には、RFIDのデータキャリア71が備えられている。
【0030】
図9は積層されたガラス基板収納用トレイ70の内の1枚のガラス基板収納用トレイ22を示す概略図であって、ガラス基板収納用トレイ22は、フレーム部23、ガラス基板支持部24、ガラス基板サポート部25、IDコード反射機構26、ガラス基板ID確認窓27を有している。
【0031】
図10は図9のC−Dで示される断面を示す図で、ガラス基板40のIDコード41はその下方に備えられたIDコード反射機構26によってガラス基板ID確認窓27を通して観察することが出来る構造となっている。
【0032】
図11は照明光を屈折する手段であるIDコード反射機構を詳細に示した図である。IDコード反射機構26は、三角柱形状のプリズム(断面形状は、直角二等辺三角形)28
にハーフミラー29、光反射材30を備えている。
【0033】
自動倉庫入出庫ポートにガラス基板が収納されたパレットが搬入され、位置決めした状態でIDコードの読取りを行う。読取動作フローを、図12のIDコード読取り方法を示す図と図13の読取動作フロー図を用いて説明する。
【0034】
先ず、開始(S1)後、図12(a)に示されるように、CCDカメラ52がパレット上の最下段トレイ(トレイA)のガラス基板ID確認窓27−1の位置と同じ高さにくるように、読取ヘッド51がZ軸方向に移動する(S2)。その際、照明用LED光源53が1つ上段のトレイ(トレイB)のガラス基板ID確認窓27−2の位置と同じ高さにくるようにする。CCDカメラ52と照明用LED光源53は、トレイ間の間隔と同じ間隔で設けられても良く、CCDカメラ52または照明用LED光源53のどちらかが可動する構造であっても良い。
【0035】
次に、図12(b)に示すように、照明用LED光源53から照射された光線a61の一部が、トレイBのIDコード反射機構のハーフミラー29−2を透過し、プリズム28−2の内部で拡散/乱反射し、光線b62としてトレイB下部からトレイAに載置されているガラス基板のIDコードX41−1上へ照射される(S3)。
【0036】
更に光線b62がIDコードX41−1を透過することで、IDコードX41−1の像がトレイAのハーフミラー29−1で反射される(S4)。
【0037】
ハーフミラー29−1で反射されたIDコードX41−1の像を、CCDカメラ52で撮像し、デコード装置にてIDコードに記録されたガラス基板ID(文字列データ)を読取る。以上のフローによってIDコードX41−1の読取動作は完了する(S5)。
【0038】
次に、全てのトレイの読取が終了していない場合(S6のNO)は、ステップ(S2)に戻って次のトレイのIDコードの読取動作に移行する。図7(a)の場合には、トレイBに載置されているガラス基板のIDコード41−2を読取るために、CCDカメラ52がトレイBのガラス基板ID確認窓27−2の位置と同じ高さにくるよう読取ヘッド51が移動(上昇)する。
【0039】
ステップ(S6)で全てのトレイのIDコードの読取りが終了した場合(S6のYES)には、読取り動作は終了する(S7)。
【0040】
尚、最上段トレイに収納されたガラス基板のIDコードを読取るためには、光源(a)27−nを確保する為にパレットの防塵用蓋にIDコード反射機構を取り付ける必要がある。
【0041】
本発明を実施するための形態では図10に示されるようにIDコード反射機構26はトレイ内に設けた例を示したが、これに限定されず図14に示すようにトレイと同数のIDコード反射機構を有するIDコード反射機構群46を積層されたトレイの外側に設け、矢印47で示された方向に移動しても良い。
【0042】
以上のように本発明によるガラス基板IDコード読取装置によれば、これまで行われていたトレイ移戴装置を用いて積層されたトレイ内のガラス基板を1枚1枚持ち上げてトレイ内ガラス基板の有無やガラス基板のIDコードを確認する必要がなく、その結果、多大な時間とを要することなく、更に確認時にガラス基板の傷つき等のロスの発生を抑制することが可能となる。
【0043】
実際の収納トレイに収納されているガラス基板とデータキャリア情報との不一致を迅速に発見することが可能となり、ガラス基板の実物とデータの不一致による装置トラブルや装置停止ロスを防止することが可能となり、更に、実際の収納ガラス基板とデータキャリア情報との不一致時には、迅速なデータ復旧が可能となり、多大な時間ロスを防ぐことが可能になる。
【符号の説明】
【0044】
1・・・カラーフィルタ
2・・・ガラス基板
3・・・ブラックマトリックス(BM)
4−1・・・レッドRの着色画素(R画素)
4−2・・・グリーンGの着色画素(G画素)
4−3・・・ブルーBの着色画素(B画素)
5・・・透明電極
6・・・フォトスペーサー(PS)
7・・・バーテイカルアライメント(VA)
10・・・トレイ搬送用パレット
11・・・データキャリア
12・・・ガラス基板収納用トレイ
13・・・フレーム部
14・・・ガラス基板支持部
15・・・ガラス基板サポート部
22・・・ガラス基板収納用トレイ
23・・・フレーム部
24・・・ガラス基板支持部
25・・・ガラス基板サポート部
26・・・IDコード反射機構
27・・・ガラス基板ID確認窓
27−1・・・トレイAのガラス基板ID確認窓
27−2・・・トレイBのガラス基板ID確認窓
28・・・プリズム
28−1・・・トレイAのプリズム
28−2・・・トレイBのプリズム
29・・・ハーフミラー
29−1・・・トレイAのハーフミラー
29−2・・・トレイBのIDコード反射機構のハーフミラー
30・・・光反射材
40・・・ガラス基板
41・・・IDコード
41−1・・・トレイAに載置されるガラス基板のIDコードX
41−2・・・トレイBに載置されるガラス基板のIDコード
45・・・ガラス基板収納カセットの搬入/搬出ポート
45−1・・・ガラス基板収納カセットは搬入ポート
45−2・・・搬出ポート
46・・・IDコード反射機構群
47・・・IDコード反射機構群を移動する方向を示す矢印
51・・・IDコード読取ヘッド
52・・・CCDカメラ
53・・・照明用LED光源
54・・・Z軸移動機構
56・・・ガラス基板収納トレイ
57・・・トレイ搬送用パレット
58・・・IDコードデコード装置
59・・・自動倉庫制御シーケンサ
60・・・IDコード確認用モニタ
61・・・光線a
62・・・光線b
70・・・積層されたガラス基板収納用トレイ
71・・・データキャリア
【技術分野】
【0001】
本発明は、半導体やカラー液晶表示デバイスに用いるガラス基板が収納トレイ内に収納されている状態でガラス基板のIDコードを読取る装置に関するものである。
【背景技術】
【0002】
図1はガラス基板の一例としてカラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタ基板の断面を示した図である。カラーフィルタ1は、ガラス基板2上にブラックマトリックス(以下、BM)3、レッドRの着色画素(以下、R画素)4−1、グリーンGの着色画素(以下、G画素)4−2、ブルーBの着色画素(以下、B画素)4−3、透明電極5、及びフォトスペーサー(Photo Spacer)(以下、PS)6、バーテイカルアライメント(Vertical Alignment)(以下、VA)7が順次形成されたものである。
【0003】
上記構造のカラーフィルタの製造方法は、フォトリソグラフィー法、印刷法、インクジェット法が知られているが、図2は一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程を示すフロー図である。カラーフィルタは、先ず、ガラス基板上にBMを形成処理する工程(C1)、ガラス基板を洗浄処理する工程(C2)、着色フォトレジストを塗布および予備乾燥処理する工程(C3)、着色フォトレジストを乾燥、硬化処理するプリベーク工程(C4)、露光処理する工程(C5)、現像処理する工程(C6)、着色フォトレジストを硬化処理する工程(C7)、透明電極を成膜処理する工程(C8)、PS、VAを形成処理する工程(C9)がこの順に行われ製造される。
【0004】
例えば、R画素、G画素、B画素の順に画素が形成される場合には、カラーフィルタ用ガラス基板を洗浄処理する工程(C2)から、着色フォトレジストを硬化処理する工程間(C7)ではレッドR、グリーンG、ブルーBの順に着色レジストを変更して3回繰り返されてR画素、G画素、B画素が形成される。
【0005】
図2に示されるカラーフィルタ基板の製造工程においては、ガラス基板を管理するためにガラス基板1枚毎に識別コード(以下、IDコード)が印刷等によって付与されている。一般的にはIDコードはカラーフィルタの非有効画像部に識別可能なバーコードや2次元コード形式で印字されている。そのIDコードに、ガラス基板の所在情報(投入中工程、収納カセット、段数など)や品質データや製造履歴データ等の各種データを紐付けて、コンピュータシステムに保存することで、カラーフィルタ基板のトレーサビリティ機構を構築している。
【0006】
IDコード読取装置は、主に画像データから文字列データにデコード(変換)するデコード装置とCCDカメラから構成され、CCDカメラで撮像されたIDコード画像データをデコード装置にてコード認識し文字データに変換処理を行うものである。CCDカメラによるIDコード撮像には、光量を得る為に専用光源を用いるのが一般的であり、その光源にはLED照明が多く用いられている。
【0007】
また、カラーフィルタの製造において、その主材料であるガラス基板を収納、工程搬送、輸送、保管するために、ガラス基板収納用トレイが使用されている。この収納用トレイの使用は、製造工程途中及び製造が終了されたガラス基板にも適用され、多岐に渡る使用用途を持つ。
【0008】
基板収納用トレイでガラス基板を収容、輸送及び保管する際の荷姿は通常、図3に示す
ように複数のトレイを積層し、トレイ搬送用パレット10上に搭載された状態となる。トレイ搬送用パレット10には、RFID(Radio Frequency Identification)等のデータキャリア11が取り付けられており、トレイに収納されたガラス基板の枚数やIDデータ等が保存される。このデータは主に、トレイへガラス基板を収納及び、トレイ上ガラス基板の取り出し装置(以下、トレイ移戴装置)で更新され、トレイ移戴装置やガラス基板を保管するための自動倉庫等で参照される。
【0009】
図3に示される複数のトレイの1つを図4に示す。ガラス基板収納用トレイ12は、フレーム部13、ガラス基板支持部14、ガラス基板サポート部15等を備えている。
【0010】
図5は、図4における線分A―Bで切断した断面を示す。
【0011】
また、近年のディスプレイサイズの大型化に伴いガラス基板サイズも大型となり、限られたスペースで、各ガラス基板同士が相互に接触することなく、効率よく収容、輸送及び保管することができるガラス基板収納用トレイが提案されている。
【先行技術文献】
【特許文献】
【0012】
【特許文献1】特開2004−359343号公報
【特許文献2】特開2007−314215号公報
【特許文献3】特開2006−319005号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【0013】
ガラス基板収納用トレイに収納されたガラス基板枚数及び収納段数などの情報は、上記したように、通常、トレイ搬送用パレットに取り付けられたデータキャリアに保存されるが、トレイ移戴装置のトラブル等の何らかの理由で、実際に収納されているガラス基板とデータキャリアに保存されているデータが一致しない状況が発生することがある。
【0014】
トレイ移戴装置や自動倉庫は、データキャリアに記載された情報を元に、収納/取り出し枚数決定,パレット搬送先決定等の動作制御をおこなう。そのため、データに誤りがあると収納/取り出し枚数の誤りやパレット搬送先のトラブルが発生したり、装置停止等の原因となる。例えば、製品を収納し出荷したパレットを、得意先が自社工程に投入する際に、データキャリアに記録されているIDデータと、実際に投入したガラス基板IDとが異なっていた場合には、得意先のラインがエラー停止し、得意先クレームとなったり、トラブルの波及範囲の調査及びガラス基板選別作業のために、多大な労力,時間が必要となる。
【0015】
また別の例では、データキャリアに収納枚数20枚分のIDデータが記載されたパレット上のトレイから、ガラス基板をライン投入した際に、実際には21枚のガラスが収納されており、パレット上にガラス基板が1枚残ってしまうと云った問題も発生する。
【0016】
このようなトラブルを防止するためには、自動倉庫へのパレット入出庫前後に、実際にパレット上の各ガラス基板収納用トレイに収納されているガラス基板の有無と、データキャリア保存データとの整合性を確認する必要があるが、ガラス基板収納用トレイは積層された状態では収納されたガラス基板の防塵のために密閉されているため、外観では各トレイのガラス基板収納状況,ガラス基板IDを確認することは困難である。例えば、トレイ移戴装置を用いて、積層されたトレイ1枚1枚を持ち上げ、トレイ内ガラス基板の有無,ガラス基板IDを確認することも可能であるが、多大な時間が必要となり、確認時にガラス基板の傷つき等のロスが発生すると云った新たな問題が起こる恐れがあるため、望ましい方法とは云えない。
【0017】
そこで本発明は係る問題点に鑑みて、収納用トレイに収納された状態でガラス基板のIDコードを読取る装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0018】
本発明の請求項1に係る発明は、積層されたガラス基板収納用トレイに収納されたガラス基板のIDコードを読取る装置であって、
照明光を発生する照明手段と、
照明手段から発せられた照明光を屈折する屈折手段と、
屈折手段によって屈折された照明光によって照明されたIDコードの画像を撮像する手段と、
前記照明手段と撮像手段をガラス基板収納用トレイと垂直な方向に移動する手段と、
撮像したIDコードの画像を変換するデコード手段と、を備え、
ガラス基板のIDコードを積層されたガラス基板収納用トレイに収納した状態で読取ることを特徴とするガラス基板のIDコード読取装置である。
【0019】
本発明の請求項2に係る発明は、屈折手段はプリズムにハーフミラーと光反射材を備えたことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板のIDコード読取装置である。
【0020】
本発明の請求項3に係る発明は、照明手段と撮像手段は積層されたガラス基板収納用トレイが保管される自動倉庫のパレット入出庫ポジションに備えられることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板のIDコード読取装置である。
【発明の効果】
【0021】
収納用トレイに収納されたガラス基板のIDを読取る機構によって、これまで行われていたトレイ移戴装置を用いて、積層されたトレイ1枚1枚を持ち上げ、トレイ内ガラス基板の有無,ガラス基板IDを確認するための多大な時間と、更に確認時に発生していたガラス基板の傷つき等のロスを抑制することが可能となる。
【0022】
実際の収納ガラス基板とデータキャリア情報との不一致を迅速に発見することが可能となり、その結果、ガラス基板の実物とデータの不一致による装置トラブルや装置停止ロスを防止することが可能となり、更に、実際の収納ガラス基板とデータキャリア情報との不一致時に、迅速なデータ復旧が可能となる。
【図面の簡単な説明】
【0023】
【図1】カラー液晶表示装置に用いられるカラーフィルタの一例を断面で示した図。
【図2】一般的に用いられているフォトリソグラフィー法の工程のフロー図。
【図3】複数の積層されたトレイがトレイ搬送用パレット上に搭載された状態を示す図。
【図4】複数のトレイの1つを示す図。
【図5】図4における線分A―Bで切断した断面を示す図。
【図6】本発明に係るガラス基板収納用トレイのIDコード読取装置が自動倉庫入出庫ポジションに備えられた例を示す図。
【図7】一般的に使用されている自動倉庫の一例を示す図
【図8】本発明に係る積層されたガラス基板収納用トレイを示す図。
【図9】本発明に係る積層されたガラス基板収納用トレイの内の1枚のガラス基板収納用トレイを示す概略図。
【図10】図9のC−Dで示される断面を示す図。
【図11】本発明に係るIDコード反射機構を詳細に示した図。
【図12】本発明に係るIDコード読取り方法を示す図。
【図13】本発明に係るIDコード読取動作フローを示す図。
【図14】本発明に係る別のIDコード反射機構を示す図。
【発明を実施するための形態】
【0024】
以下、図面を参照して本発明に係るガラス基板収納用トレイ内のIDコード読取装置の実施形態を説明する。
【0025】
図6は本発明に係るガラス基板収納用トレイのIDコード読取装置が自動倉庫入出庫ポジションに備えられた例を示す図である。一般的に使用されている自動倉庫には図7に示されるように自動倉庫へのガラス基板収納カセットの搬入/搬出ポート45が備えられているが、自動倉庫入出庫ポジションとは、搬入/搬出ポート45を指すものである。一例として本発明のIDコード読取装置を自動倉庫へのガラス基板収納カセットの搬入/搬出ポート45に備えている。
【0026】
図7に示される自動倉庫の例では、ガラス基板収納カセットは搬入ポート45−1から搬入され自動倉庫に入庫される。入庫され保管されたガラス基板収納トレイに収納されているガラス基板は必要に応じてBM工程やRGB工程や検査工程やその他の工程(図示せず)に搬入(LD:LOAD)され処理された後、搬出(ULD:UNLOAD)されスタッカクレーによって自動倉庫内の保管ラックに保管される。また、出庫の際は搬出ポート45−2から搬出される。
【0027】
図6に示されるIDコード読取ヘッド51は、照明手段である照明用LED光源53と撮像手段であるCCDカメラ52を有し、照明手段と撮像手段をガラス基板収納用トレイと垂直な方向(Z軸方向)に移動する手段であるZ軸移動機構54によってZ軸方向に移動される。ガラス基板収納トレイ56はデータキャリア71を備えたトレイ搬送用パレット57に載置され、IDコード読取ヘッド51によってIDコードが読取られる位置まで搬送される。
【0028】
CCDカメラ52によって撮像されたIDコード画像は、カメラケーブルを用いてデコード手段であるIDコードデコード装置58に送信される。IDコード画像はIDコードデコード装置により、画像データから文字列データにデコード(変換)され、自動倉庫制御シーケンサ59の特定デバイスに格納される。IDコード画像はIDコード確認用モニタ60によって確認することが出来る。制御シーケンサに格納されたIDコード情報は、必要に応じネットワークを介してコンピュータシステム(図示せず)に送信される。
【0029】
図8は本発明に係る積層されたガラス基板収納用トレイを示す図であって、積層されたガラス基板収納用トレイ70はトレイ搬送用パレット57上に搭載される。トレイ搬送用パレット57には、RFIDのデータキャリア71が備えられている。
【0030】
図9は積層されたガラス基板収納用トレイ70の内の1枚のガラス基板収納用トレイ22を示す概略図であって、ガラス基板収納用トレイ22は、フレーム部23、ガラス基板支持部24、ガラス基板サポート部25、IDコード反射機構26、ガラス基板ID確認窓27を有している。
【0031】
図10は図9のC−Dで示される断面を示す図で、ガラス基板40のIDコード41はその下方に備えられたIDコード反射機構26によってガラス基板ID確認窓27を通して観察することが出来る構造となっている。
【0032】
図11は照明光を屈折する手段であるIDコード反射機構を詳細に示した図である。IDコード反射機構26は、三角柱形状のプリズム(断面形状は、直角二等辺三角形)28
にハーフミラー29、光反射材30を備えている。
【0033】
自動倉庫入出庫ポートにガラス基板が収納されたパレットが搬入され、位置決めした状態でIDコードの読取りを行う。読取動作フローを、図12のIDコード読取り方法を示す図と図13の読取動作フロー図を用いて説明する。
【0034】
先ず、開始(S1)後、図12(a)に示されるように、CCDカメラ52がパレット上の最下段トレイ(トレイA)のガラス基板ID確認窓27−1の位置と同じ高さにくるように、読取ヘッド51がZ軸方向に移動する(S2)。その際、照明用LED光源53が1つ上段のトレイ(トレイB)のガラス基板ID確認窓27−2の位置と同じ高さにくるようにする。CCDカメラ52と照明用LED光源53は、トレイ間の間隔と同じ間隔で設けられても良く、CCDカメラ52または照明用LED光源53のどちらかが可動する構造であっても良い。
【0035】
次に、図12(b)に示すように、照明用LED光源53から照射された光線a61の一部が、トレイBのIDコード反射機構のハーフミラー29−2を透過し、プリズム28−2の内部で拡散/乱反射し、光線b62としてトレイB下部からトレイAに載置されているガラス基板のIDコードX41−1上へ照射される(S3)。
【0036】
更に光線b62がIDコードX41−1を透過することで、IDコードX41−1の像がトレイAのハーフミラー29−1で反射される(S4)。
【0037】
ハーフミラー29−1で反射されたIDコードX41−1の像を、CCDカメラ52で撮像し、デコード装置にてIDコードに記録されたガラス基板ID(文字列データ)を読取る。以上のフローによってIDコードX41−1の読取動作は完了する(S5)。
【0038】
次に、全てのトレイの読取が終了していない場合(S6のNO)は、ステップ(S2)に戻って次のトレイのIDコードの読取動作に移行する。図7(a)の場合には、トレイBに載置されているガラス基板のIDコード41−2を読取るために、CCDカメラ52がトレイBのガラス基板ID確認窓27−2の位置と同じ高さにくるよう読取ヘッド51が移動(上昇)する。
【0039】
ステップ(S6)で全てのトレイのIDコードの読取りが終了した場合(S6のYES)には、読取り動作は終了する(S7)。
【0040】
尚、最上段トレイに収納されたガラス基板のIDコードを読取るためには、光源(a)27−nを確保する為にパレットの防塵用蓋にIDコード反射機構を取り付ける必要がある。
【0041】
本発明を実施するための形態では図10に示されるようにIDコード反射機構26はトレイ内に設けた例を示したが、これに限定されず図14に示すようにトレイと同数のIDコード反射機構を有するIDコード反射機構群46を積層されたトレイの外側に設け、矢印47で示された方向に移動しても良い。
【0042】
以上のように本発明によるガラス基板IDコード読取装置によれば、これまで行われていたトレイ移戴装置を用いて積層されたトレイ内のガラス基板を1枚1枚持ち上げてトレイ内ガラス基板の有無やガラス基板のIDコードを確認する必要がなく、その結果、多大な時間とを要することなく、更に確認時にガラス基板の傷つき等のロスの発生を抑制することが可能となる。
【0043】
実際の収納トレイに収納されているガラス基板とデータキャリア情報との不一致を迅速に発見することが可能となり、ガラス基板の実物とデータの不一致による装置トラブルや装置停止ロスを防止することが可能となり、更に、実際の収納ガラス基板とデータキャリア情報との不一致時には、迅速なデータ復旧が可能となり、多大な時間ロスを防ぐことが可能になる。
【符号の説明】
【0044】
1・・・カラーフィルタ
2・・・ガラス基板
3・・・ブラックマトリックス(BM)
4−1・・・レッドRの着色画素(R画素)
4−2・・・グリーンGの着色画素(G画素)
4−3・・・ブルーBの着色画素(B画素)
5・・・透明電極
6・・・フォトスペーサー(PS)
7・・・バーテイカルアライメント(VA)
10・・・トレイ搬送用パレット
11・・・データキャリア
12・・・ガラス基板収納用トレイ
13・・・フレーム部
14・・・ガラス基板支持部
15・・・ガラス基板サポート部
22・・・ガラス基板収納用トレイ
23・・・フレーム部
24・・・ガラス基板支持部
25・・・ガラス基板サポート部
26・・・IDコード反射機構
27・・・ガラス基板ID確認窓
27−1・・・トレイAのガラス基板ID確認窓
27−2・・・トレイBのガラス基板ID確認窓
28・・・プリズム
28−1・・・トレイAのプリズム
28−2・・・トレイBのプリズム
29・・・ハーフミラー
29−1・・・トレイAのハーフミラー
29−2・・・トレイBのIDコード反射機構のハーフミラー
30・・・光反射材
40・・・ガラス基板
41・・・IDコード
41−1・・・トレイAに載置されるガラス基板のIDコードX
41−2・・・トレイBに載置されるガラス基板のIDコード
45・・・ガラス基板収納カセットの搬入/搬出ポート
45−1・・・ガラス基板収納カセットは搬入ポート
45−2・・・搬出ポート
46・・・IDコード反射機構群
47・・・IDコード反射機構群を移動する方向を示す矢印
51・・・IDコード読取ヘッド
52・・・CCDカメラ
53・・・照明用LED光源
54・・・Z軸移動機構
56・・・ガラス基板収納トレイ
57・・・トレイ搬送用パレット
58・・・IDコードデコード装置
59・・・自動倉庫制御シーケンサ
60・・・IDコード確認用モニタ
61・・・光線a
62・・・光線b
70・・・積層されたガラス基板収納用トレイ
71・・・データキャリア
【特許請求の範囲】
【請求項1】
積層されたガラス基板収納用トレイに収納されたガラス基板のIDコードを読取る装置であって、
照明光を発生する照明手段と、
照明手段から発せられた照明光を屈折する屈折手段と、
屈折手段によって屈折された照明光によって照明されたIDコードの画像を撮像する手段と、
前記照明手段と撮像手段をガラス基板収納用トレイと垂直な方向に移動する手段と、
撮像したIDコードの画像を変換するデコード手段と、を備え、
ガラス基板のIDコードを積層されたガラス基板収納用トレイに収納した状態で読取ることを特徴とするガラス基板のIDコード読取装置。
【請求項2】
屈折手段はプリズムにハーフミラーと光反射材を備えたことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板のIDコード読取装置。
【請求項3】
照明手段と撮像手段は積層されたガラス基板収納用トレイが保管される自動倉庫のパレット入出庫ポジションに備えられることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板のIDコード読取装置。
【請求項1】
積層されたガラス基板収納用トレイに収納されたガラス基板のIDコードを読取る装置であって、
照明光を発生する照明手段と、
照明手段から発せられた照明光を屈折する屈折手段と、
屈折手段によって屈折された照明光によって照明されたIDコードの画像を撮像する手段と、
前記照明手段と撮像手段をガラス基板収納用トレイと垂直な方向に移動する手段と、
撮像したIDコードの画像を変換するデコード手段と、を備え、
ガラス基板のIDコードを積層されたガラス基板収納用トレイに収納した状態で読取ることを特徴とするガラス基板のIDコード読取装置。
【請求項2】
屈折手段はプリズムにハーフミラーと光反射材を備えたことを特徴とする請求項1に記載のガラス基板のIDコード読取装置。
【請求項3】
照明手段と撮像手段は積層されたガラス基板収納用トレイが保管される自動倉庫のパレット入出庫ポジションに備えられることを特徴とする請求項1または2に記載のガラス基板のIDコード読取装置。
【図2】
【図6】
【図7】
【図13】
【図1】
【図3】
【図4】
【図5】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図14】
【図6】
【図7】
【図13】
【図1】
【図3】
【図4】
【図5】
【図8】
【図9】
【図10】
【図11】
【図12】
【図14】
【公開番号】特開2011−141724(P2011−141724A)
【公開日】平成23年7月21日(2011.7.21)
【国際特許分類】
【出願番号】特願2010−1814(P2010−1814)
【出願日】平成22年1月7日(2010.1.7)
【出願人】(000003193)凸版印刷株式会社 (10,630)
【Fターム(参考)】
【公開日】平成23年7月21日(2011.7.21)
【国際特許分類】
【出願日】平成22年1月7日(2010.1.7)
【出願人】(000003193)凸版印刷株式会社 (10,630)
【Fターム(参考)】
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