【課題】大掛かりな装置を特に必要とすることなく、簡単な構成によって、基板の収納空間に気流を生じさせ、内部をクリーンな状態に保持できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】開口を備え前記開口から基板を収納できる容器本体と、前記容器本体の前記開口を閉鎖する蓋体と、前記容器本体に取り付けられた搬送部材とを備える基板収納容器であって、前記基板収納容器の搬送時に、空気を前記基板収納容器内に取り込む吸い込み口と、前記吸い込み口から流入する空気をろ過するろ過手段と、前記基板収納容器内の空気を外部に排気する排気口とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】使用環境に応じて，収納された基板に異物が付着することを効果的に防止する。
【解決手段】基板収納装置１００内に外気を取り込む給気部１１０と，給気部に対向して配置された排気部１２０と，給気部と排気部との間に設けられ，これらの間を連通する連通孔１４２を有する基板載置板１４０と，給気部に設けられた給気フィルタ１１２と，給気部又は排気部に設けられたファン１２２とを備え，基板収納装置１００内の状態を検出する状態センサと，パーティクル帯電装置と，温調装置とのいずれか又は２つ以上の組合せを装着孔１５０に着脱自在に設けた。 （もっと読む）

【課題】ウエハー容器内を容易にパージできる方法を提供する。
【解決手段】ウエハー容器の内部と外部を連通する流路と、該ウエハー容器の外側に露出した着座面と、を提供する弾性材で作られたグロメット１２４，１２５にパージガス源を連結する段階、及びパージガスをウエハー容器に導入する段階を備えた方法で達成する。 （もっと読む）

【課題】 減圧環境下であっても変形を回避でき、収納された基板の信頼性ある保管を実現できる基板収納容器を提供することにある。
【解決手段】 ボトムプレートと、前記ボトムプレートに載置される基板収納カセットと、前記基板収納カセットを被って前記ボトムプレート上に配置されるシェルとを備える。前記シェルは、前記ボトムプレート側の一端が開口され、他端が閉じられた天面を有する円筒形状をなしている。前記天面は、外側に凸面となるドーム状の湾曲面となっているとともに、前記シェルの周側面とのコーナにＲ加工がなされている。前記ボトムプレートと前記シェルによって形成される容器内を真空環境から大気圧の環境に変化させた際に最大変形量が１ｍｍ以下となる。 （もっと読む）

【課題】 乱れの無い安定した層流状態の置換ガスの流れを得るには、供給管における置換ガスの圧力変動を断つ必要がある。
【解決手段】 基板を収納するための中空部と開口とを有する本体容器と、該開口に挿嵌され、該開口を密閉可能な蓋部材と、該蓋部材の内部に画定されるバッファ空間と、該バッファ空間に置換ガスを供給するための給気ポートと、前記本体容器の開口に挿嵌された状態において、該本体容器の中空部に対向する該蓋部材の内面と該バッファ空間との間に連通するように配置され、該バッファ空間に供給された置換ガスを該中空部に送出する複数の孔とを備える基板収納ポッドにより解決する。 （もっと読む）

【課題】 容器本体の取付機構に対する搬送部品の取付作業の作業性を向上させ、取付機構から搬送部品が外れ易くなるおそれを排除し、取付機構や搬送部品に洗浄水等の液体が残存するのを抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】 半導体ウェーハ収納用の容器本体１の天井２に取付機構２０を設け、取付機構２０に搬送部品３０であるロボティックフランジ３１を着脱自在に装着する基板収納容器であり、取付機構２０は、天井２に対設される複数対の支持レール２１と、天井２に設けられる複数のガイド片２３と、各ガイド片２３に形成される干渉係合部２４とを備え、ガイド片２３と干渉係合部２４を組み合わせてその前部を二股部２５に形成する。また、搬送部品３０は、複数対の支持レール２１間に支持される部品本体３２を備え、部品本体３２に、流体用の流通口３６を穿孔するとともに、二股部２５に干渉する弾性変形可能な弾性係合片３５を内蔵する。 （もっと読む）

【課題】マスクを収容するカセットの管理棚からのカセット取り出しから、マスクを露光装置に供給するまでの全工程を自動的に行うことができるマスクストッカー、マスク供給システム、及びマスク供給方法を提供する。
【解決手段】シャッター１を介して外部と隔離されたチャンバー２と、チャンバー２の外部に配置されてマスクＭを収納する多数のカセット３を収容管理する管理棚４と、チャンバー２の外部でチャンバー２と管理棚４との間を自在に走行する自動搬送装置６と、チャンバー２内にそれぞれ配置された露光装置７、マスクローダ８、及びマスクストッカー１０と、を備え、マスクストッカー１０は、カセット３を載置してカセット受け渡し位置ＣＰとマスク受け渡し位置ＭＰとの間で移動可能なカセット載置ステージ１２と、カセット載置ステージ１２に載置されたカセット３の位置を、マスクローダ８がカセット３からマスクＭを取り出し可能な位置精度にアライメント調整するアライメント調整機構１３と、を備える。 （もっと読む）

【課題】 排気側の背圧を低めることで、ポッドの内部の塵を排気側へ集められる。
【解決手段】 基板を収納するためポッドであって、基板を収納する中空部と開口とを有する本体容器と、その開口を密閉可能な蓋部材と、その本体容器の中空部の置換ガスを排気する排気ポートと、その排気ポートに連通し、その中空部内に画定される排気空間を有する基板収納ポッドにより解決する。排気空間は、複数の孔を有する多孔仕切部材と本体容器の内面とによって中空部内に画定される。 （もっと読む）

【課題】基板品種の切替に伴う労力面および設備費用面の負荷を低減することができるプラズマ処理における基板保持用のトレイおよびプラズマ処理方法を提供することを目的とする。
【解決手段】板状のトレイ本体部７１ａの上面に設けられ処理対象の基板８１を収納する第１収納部７１ｂと、トレイ本体部７１ａの下面に第１の支持面１３ａにおける凸状部１４の配列に対応して設けられた複数の第２収納部７１ｄとを備え、トレイ７１を基板サセプタの誘電体板１３に載置した状態で、第２収納部７１ｄに凸状部１４が嵌合して第２の支持面１４ａが第２収納部７１ｄの凹底面７１ｅに当接し、且つトレイ本体部７１ａの下面は第１の支持面１３ａから離隔するような形状とする。これにより、既設のプラズマ処理装置の基板サセプタの段取り替えを行うことなく、基板品種の切替を行うことができる。 （もっと読む）