【課題】部品などの対象物の形状やサイズが厳密に一様でなくても、対象物を固定する力が一様にかかり、十分に固定することが可能な搬送フレームを提供するとともに、金属板部材同士が良好に接合可能であり、過酷な使用環境下でも耐久性の高い搬送フレームの製造方法を提供する。
【解決手段】対象物の一時的固定のために、弾性体として平面スパイラルバネ４０、４２を用い、対象物の挿入時に平面スパイラルバネが圧縮されて効果的に対象物が２次元的に移動しつつ挿入されるようにした。表面より３nmの深さの酸素原子濃度が１５at％未満の素材からなる複数枚の金属板部材を用いて金属板部材同士が所定箇所でのみ接合されるよう、拡散接合を施し、使用時の耐久性を高めた。 （もっと読む）

【課題】容器本体に対して搬送部材を新規な取り付け構造によって固定することにより、容器本体の変形を防ぎ、たとえばシール性の確保等が図れた信頼性のある基板収納容器を得る。
【解決手段】基板収納容器は、開口を有しこの開口を通して基板を収納する容器本体と、容器本体の開口を閉鎖する蓋体と、容器本体の天面、開口から観た左右のそれぞれの側壁面、および底面のうち隣接する複数の面に対向して取り付けられる取り付け枠体と、前記取り付け枠に取り付けられた搬送部材と、を備えて構成される。これにより、搬送部材は取り付け枠体を介在させて間接的に容器本体に取り付けられる。また、前記取り付け枠体は、前記容器本体よりも剛性の高い材料で構成されている。 （もっと読む）

【課題】 電子デバイス用収納容器に関し、スタックさせた電子デバイス収納容器内での電子デバイスチップの乗り上げを防止する。
【解決手段】 電子デバイスを収納する第１の仕切り部で分離された収納用凹部を有する収納部の前記収納用凹部の周囲の前記第１の仕切り部に係合用凹部を設けるとともに、前記収納用凹部に対向する位置に設けられ、第２の仕切り部で分離された空間用凹部を有する蓋部の前記空間用凹部の周囲の前記第２の仕切り部に前記係合用凹部と係合する係合用凸部を設ける。 （もっと読む）

【課題】基板搬送装置（10）を使用する方法を提供する。
【解決手段】該装置はケーシング（11）及びドア（13）を有する。該ケーシングは調節された環境を内部に形成する。該ケーシングは少なくとも１つの基板（s）を該ケーシング内に保持すべく、内部にサポート部（12、14）を有している。該ケーシングは基板搬送開口部を画定し、かかる開口部を介して基板搬送システムがケーシング内の基板にアクセスする。該ドアは、ケーシング内の基板搬送開口部を閉鎖すべくケーシングに結合している。ケーシングは迅速に交換する構成要素を形成する構造を有し、よって基板搬送システムを退避せしめることなくケーシング内の基板のローディングとは独立して該装置からの基板を他の基板と交換することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、複数の基板に同時に薄膜を形成したり熱処理するための基板加工装置に関し、加工工程のために加工チャンバーに搬入されるボートに積載された複数の基板が均一に加熱されるようにすることによって、複数の前記基板を均一に加工することができる基板加工装置に関する。
【解決手段】本発明は、基板を支持するための基板支持台および一つまたは複数の噴射口が形成された第１ガス配管を含む基板ホルダーと、複数の基板ホルダーが積載され、前記第１ガス配管に連結される第２ガス配管を含むボートと、前記ボートに積載された複数の基板を加工するための空間を提供する加工チャンバーと、前記ボートを前記加工チャンバーの内部に搬入および搬出させるための移送部と、前記加工チャンバーの外側に位置する第１加熱手段と、前記第２ガス配管に連結される第３ガス配管を含み、前記第２ガス配管へ加熱または冷却されたガスを供給するためのガス供給部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】リブと半導体基板との間の貼り付きを防止し、洗浄液、エッチング液を半導体基板表面にスムーズに流し、均一なエッチングが実現できる方法を提供する。
【解決手段】基板カセットに設けられた複数のリブ１０の間に、単結晶シリコン基板を配置し、基板カセットをエッチング液が収容された槽内に浸漬し、単結晶シリコン基板の表面処理を行う半導体装置の製造方法であって、基板カセットのリブ１０の表面に単結晶シリコン基板との接触面積を低下させる穴部１０１が設けられている。 （もっと読む）

【課題】チップデバイスの上面中央部が蓋体と接触することを防止することができるとともに、蓋体をトレーからスムーズに取り外すことができる収納容器を提供する。
【解決手段】チップデバイス５０を収納する収納容器１０であって、上面１２ａに凹状のポケット２０が形成されているトレー１０と、トレー上に載置され、ポケットを覆う蓋体１０を有している。蓋体の下面１４ａには、ポケット内に進入する部分が形成されていない。トレー及び蓋体を平面視したときに、ポケットの底面２０ｅと重なる範囲内の蓋体の下面には、ポケットの開口面１２ａと同一面またはポケットの開口面よりも上側に位置する第１領域４１と、第１領域よりも上側に位置する第２領域４１が形成されている。第２領域は、トレー及び蓋体を平面視したときに、ポケットの底面の中心と重なる範囲内に形成されている。 （もっと読む）

【課題】ポッドオープナでのウエハの位置ずれを検出可能とする。
【解決手段】ポッドのドアを開閉するポッドオープナ２０のウエハ出し入れ口５０にロータリーアクチュエータ６０を設置し、ロータリーアクチュエータ６０のアーム６１にブラケット６２によってマッピング装置とウエハ位置ずれ検出装置とを設置する。ウエハ位置ずれ検出装置は複数個の限定反射形センサにより構成し、各限定反射形センサは投光部と受光部とを略同じ方向を向いてウエハに非接触に配置し、投光部からの検出光がウエハの外周面で反射し、反射光が受光部によって受光されたか否かで、ウエハの位置ずれの有無を判断するように構成する。ウエハの位置ずれを検出することで、ウエハ移載装置のツィーザがウエハに衝突する事故を未然に防止できる。 （もっと読む）

【課題】複数の進入部材１１を隣り合う仕切部材９０の間に対して確実に進入させることが可能な、小型のピッチ変換装置を提供する。
【解決手段】Ｘ方向に並列配置された複数の仕切部材９０のピッチを変換する装置であって、Ｘ方向に並列配置され、隣り合う仕切部材９０の間に進入する複数の進入部材１１と、Ｘ方向に移動しながら複数の進入部材１１を順番に押出して隣り合う仕切部材９０の間に進入させる押出部材３１と、を備えている。進入部材１１は、隣り合う仕切部材９０の間から退出する方向に付勢されている。 （もっと読む）

【課題】汚染物がドア体内に蓄積したり、コンテナ体内に侵入するのを抑制し、ドア体に要する作業の迅速化を図ることができ、しかも、経済性の向上が期待できる収納容器を提供する。
【解決手段】基板を収納するコンテナ体１と、コンテナ体１の開口した正面２を開閉するドア体３０とを備え、コンテナ体１の両側壁８前部に、コンテナ体１の正面２に嵌合されたドア体３０を施錠する施錠手段４０を配設する。施錠手段４０を、ドア体３０の施錠時に下方向にスライドし、ドア体３０の解錠時に上方向にスライドする被操作プレート４１と、被操作プレート４１の下方向へのスライド時にドア体３０の周壁に圧接し、被操作プレート４１の上方向へのスライド時にドア体３０の周壁から離隔する施錠プレート４６と、被操作プレート４１と施錠プレート４６に形成され、被操作プレート４１のスライドに伴う駆動力を施錠プレート４６に伝達するカム機構４８とから構成する。 （もっと読む）