【課題】ウェハ搬送容器を外気に晒すことなく運搬可能で、ウェハ搬送容器の収容・取り出しが容易なウェハ搬送容器保護ケースを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、ウェハ搬送容器としてのＦＯＵＰ４００を収容し、積載型搬送装置によって搬送されるウェハ搬送容器保護ケースとしてのＦＯＵＰ保護ケース１００である。ＦＯＵＰ保護ケース１００は、積載型搬送装置へ積載される底板１と、底板１上に設置される防振部材２と、天面が開放された箱状であり、防振部材２を介して底板１に支持され、ウェハ搬送容器を載置して収容する下ケース４と、取っ手５１を有し、下ケース４に上方から装着されて下ケース４を密閉する上ケース５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】金属板の全体厚さより小さいサイズの孔を形成することができる極小型化したチップ素子用キャリアプレートを簡単な構造で作る技術を提供する。
【解決手段】金属薄板にチップ挿入用の第１孔２２０を形成するに当たって、加工しようとする孔のサイズより格段に薄い厚さの金属薄板多数枚を接合する方式によりキャリアプレート接合体を製作する。接合方式には、高温の真空雰囲気で高圧を加える拡散接合方式、母材である金属薄板より軟質である接合触媒剤を付加する拡散接合方式、または金属接合用接着剤で接合する方式を利用する。 （もっと読む）

【課題】複数のウエハ型被処理物を一時保管するための装置および方法を提供する。
【解決手段】本発明は複数のウエハ型被処理物１７を一時保管するための装置に関し、この装置は、フレーム１と、少なくとも２つの搬送要素３とを備え、搬送要素は、各々、フレームに接続された上側と下側の偏向装置５の周りを垂直方向に循環し、被処理物１７を水平方向に載せるための等間隔の複数の支持領域４を有し、各搬送要素３の偏向装置５のうち少なくとも一方が駆動され、搬送要素３間に空きスペースがある。装置はさらに上側の偏向装置５間の搬入位置３３を備える。搬入位置で、各被処理物１７を対応する支持領域４上に配置できる。装置はさらに、搬入位置３３の下方の、水平搬送装置７、８、９を含む静止取出し装置を備え、静止取出し装置の第１の端部は、搬送要素３間の空きスペース内にある。本発明はまた、上記装置を用いる、複数のウエハ型被処理物１７の一時保管方法に関する。 （もっと読む）

【課題】基板、蓋体、施錠機構の損傷等を排除し、施錠機構の施錠動作を安定させて蓋体の引き込み量を確保し、施錠機構の組み立ての迅速化を図るとともに、回転操作体と施錠バーが外れること等で施錠機構が解錠するのを防ぐ基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハ収納用の容器本体と、容器本体の正面に嵌合される蓋体１０と、蓋体１０施錠用の施錠機構４０を備え、施錠機構４０を、蓋体１０に支持されてカバープレート３０側から操作される回転操作体４１と、回転操作体４１の回転で上下方向にスライドして容器本体の施錠穴に先端部６５を接離させる施錠バー６４とから構成し、回転操作体４１を第一、第二の回転操作体４２・４２Ａに分割し、第一、第二の回転操作体４２・４２Ａに、カムを形成する第一、第二のカム部５１・６０を形成し、第一、第二のカム部５１・６０に、蓋体１０の厚さ方向に揺動する施錠バー６４の末端部を挟持させる。 （もっと読む）

【課題】軽量かつ高い曲げ剛性を備えた繊維強化樹脂製サポートバーを早いサイクルで安価に製造する基板収納カセット用繊維強化樹脂製サポートバーの製造方法を提供することである。
【解決手段】断面角形状の長尺状の芯材２に繊維強化樹脂製のプリプレグ３を複数層巻きつけて内筒体４を形成する内筒体形成工程と、前記内筒体４の側面に、該内筒体４の軸方向に沿って、繊維強化樹脂製のプリプレグ３からなる補強層５を積層して予備成形体６を形成する積層工程と、前記予備成形体６の外層にラッピングテープ７を巻きつけるラッピング工程と、前記ラッピングされた予備成形体６を加熱する加熱硬化工程と、により、基板収納カセット用繊維強化樹脂製サポートバーを製造する。 （もっと読む）

【課題】ウェーハ保持具からウェーハを取り外す際にウェーハが破損されることがなく、特性試験の実施コストが低く、高温における特性試験を可能とし、ウェーハ面に垂直に力が働いても保持具からウェーハが外れたり破損したりすることがなく、ウェーハを容易に特性試験の実施装置の載荷ステージ面に平坦に装着させることが可能であるウェーハ保持具を提供する。
【解決手段】リング状に周辺部を残し中空部が設けられた保持フレーム１０の中空部をふさぐように金属シート１２がこの保持フレーム１０に固定され、この金属シート１２には、複数の細かな孔が開けられた穿孔領域１４が形成されている。この穿孔領域１４の一部または全部を覆うようにウェーハ３０を配置させることが可能とされていて、金属シート１２上に配置されたウェーハ３０をこの金属シート１２に対して動かないように固定する耐熱性素材で形成されたウェーハ固定機構２０を備えている。 （もっと読む）

【課題】ストッカの搬送の高効率化およびストッカの省スペース化を実現することができるストッカを提供する。
【解決手段】ストッカＳＴは、複数の保管物ＣＡを保管するための保管スペースＳＳに複数の保管物ＣＡを入出庫口ＧＡから入出庫するためのストッカＳＴであって、保管スペースＳＳ内に配置されたストッカクレーンハンド部ＳＨと、ストッカクレーンハンド部ＳＨを移動させるためのストッカクレーンＳＣとを備えている。ストッカクレーンハンド部ＳＨは、ストッカクレーンＳＣに支持されたアーム部ＡＲと、アーム部ＡＲに支持された２つのハンド部ＨＡと、２つのハンド部ＨＡのいずれかに配置されたバッファ部ＢＵとを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ウェハ同士の貼り付きを防止し、移送中の揺れによるウェハへのダメージを軽減するウェハカセットを得ること。
【解決手段】対向する一対の側面１ａの双方の内壁に、底面に対して傾きを有するように形成された複数の保持溝１１を備え、複数の保持溝１１の各々に、複数のウェハＷの各々を傾いた状態で収容する。ウェハカセットは、保持溝１１同士の間に設けられた複数のリブ１ｂを備え、複数のウェハＷの各々を複数のリブ１ｂの各々にもたれ掛かった状態で保持する。 （もっと読む）

【課題】被処理基板に対するプラズマ処理の均一化を損なうことがなく、また、プラズマ処理によって消耗したときの交換部分を極力少なくすることができるプラズマ処理装置用トレイ及びそのようなトレイを備えたプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】 本発明のプラズマ処理装置用トレイ１０は、反応容器２内に設けられた基板載置台２７の上面に、被処理基板１１を収容した状態で載置されるトレイであって、前記基板載置台２７の上面に載置されるトレイ本体１０１と、前記トレイ本体１０１に設けられた、該トレイ本体１０１の厚み方向に貫通する開口１０２と、開口１０２に着脱可能に装着される環状の基板保持部材と１０３とを備える。基板保持部材１０３は、開口１０２に係合する係合部１０６と、該基板保持部材１０３の内周縁の下部に形成された被処理基板１１の下面の外周縁を支持する基板支持部１０５とを有する。 （もっと読む）

【課題】施錠機構による施錠を安定させ、容器本体、蓋体、施錠機構の変形や損傷のおそれを排除できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを整列収納可能な容器本体１と、容器本体１の開口した正面５に嵌合される蓋体１０と、嵌合された蓋体１０を施錠する施錠機構３０とを備え、施錠機構３０の回転操作リールに、進退動リンク３８の進退動用のカム溝部を形成し、カム溝部の変形を変形防止リブに防止させるようにする。施錠機構３０の施錠時に、回転操作リール３１が施錠方向に回転して進退動リンク３８を蓋体１０の周壁方向に進出させ、施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０から容器本体１の施錠穴７内に直線的に進入し、この容器本体１の施錠穴７内に進入した施錠ラッチ４５が案内補強ブロック５１に案内されながら蓋体１０の厚さ方向に揺動して施錠穴７を区画する正面側壁面８に接触する。 （もっと読む）