【課題】複数の支持片が配置された前面開閉一体型ポッド（ＦＯＵＰ）を提供する。
【解決手段】本ＦＯＵＰの複数の支持片の位置は、該支持片がポッド内のウェハを水平に支持するよう対称になるように較正される。また、天井吊下式搬送パッド（ＯＨＴパッド）がＦＯＵＰとウェハとの重量を均一に分配するので、ＯＨＴヘッドによるＦＯＵＰとウェハの搬送を更に安定化でき、プロセスの要求を満たすようより多くの重量を装填できる。 （もっと読む）

【課題】平板状の基板を収納する基板収納ケースの内部に基板が収納されているかどうかの判別を基板収納ケースの外部から容易に認識できる基板収納ケースを提供すること。
【解決手段】収納される基板が平行に載置される底面部と、少なくとも一部が底面部に支持されて該基板を保持できる基板固定治具と、底面部と咬合して基板を密封収納できる蓋部とを有する基板収納ケースであって、ケース内部の基板の有無を表示する基板有無表示部がケース外部から目視可能となるように設置され、基板固定治具への基板の載置の有無に対応して、基板有無表示部の表示変更が行われる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、一般的には、ＲＦＩＤアンテナが、コンテナ上に取付けられたＲＦＩＤタグから情報を入手することを可能にする装置に関する。
【解決手段】本装置は、アンテナが発生したＲＦ場を、ＲＦＩＤタグの近くの位置に再現する。一実施の形態では、本装置は、ピックアップデバイスと、ピックアップデバイスに電気的に結合された再現デバイスとを具備する。別の実施の形態では、本装置は、アンテナとＲＦＩＤタグとの間を走るＲＦ場のための磁路を作る少なくとも１つの磁気ロッドを具備する。別の実施の形態では、本装置は、ピックアップアンテナと再現アンテナとを具備し、再現アンテナは、該再現アンテナからＲＦＩＤタグの近くにＲＦ信号を伝送するようになっている。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を搬送可能なトレイを備えるプラズマ処理装置において、トレイの効果的な冷却と消耗抑制を実現する。
【解決手段】トレイ３の基板収容孔２７Ａ〜２７Ｉの孔壁には基板５の下面ｃの外周縁部分を支持する基板支持部１１が設けられている。ステージ２１の基板載置部２７Ａ〜２７Ｉは、基板収容孔４Ａ〜４Ｉに挿入され、基板載置面２８に基板支持部１１から基板５が受け渡される。基板支持部１１の下側部は、突出量がトレイ３の上面３ａ側に向けて漸次増加するテーパ状面１１ｂである。基板載置部１１の側面はテーパ状面１１ｂと適合する傾斜面２９であり、ステージ２１の基部２１ａとトレイ３との間に間隔Ｓ１が形成されるように、テーパ状面１１ｂに当接して支持する。 （もっと読む）

【課題】基板を支持する支持部材の寸法精度を向上させることができ、例え基板が大きく重い場合にも、支持部材が撓んでしまうおそれを抑制できる基板収納容器を提供する。
【解決手段】半導体ウェーハを収納可能な容器本体に、半導体ウェーハを支持する支持部材３０を固定部材６０を介して内蔵固定した基板収納容器であり、支持部材３０を、容器本体の側壁に装着される取付壁３１と、取付壁３１の表面前部に配設されて半導体ウェーハの側部周縁前方を水平に支持する複数の第一の支持片３９と、取付壁３１の表面後部に配設されて半導体ウェーハの側部周縁後方を水平に支持する複数の第二の支持片４５とから構成し、取付壁３１、第一、第二の支持片３９・４５を別体とする。第一の支持片３９を、取付壁３１の表面前部に挿入支持される挿入部４０と、挿入部４０から容器本体の内方向に張り出す半導体ウェーハ用の支持張り出し部４２とから構成する。 （もっと読む）

【課題】施錠機構の施錠時に回転操作体を円滑に回転させたり、適切な位置に停止させることができ、しかも、回転操作体の回転に要するトルクを抑制できる蓋体及び基板収納容器を提供する。
【解決手段】蓋本体１１とカバープレートの間に介在され、回転操作リール３１の回転で施錠爪４１が出没する施錠機構３０と、回転操作リール３１の回転位置を制御する位置制御手段５０とを備え、位置制御手段５０を、回転操作リール３１の回転に応じて揺動するリンク５１と、回転操作リール３１とリンク５１に連結されるバネ５５と、リンク５１の接触溝５２と接触する位置規制ピン５７とから構成する。回転操作リール３１が解錠位置から施錠方向の施錠位置に回転する途中で、リンク５１を揺動させてその回転途中の回転操作リール３１に対する向きを変化させ、回転操作リール３１に作用する付勢力の方向を回転操作リール３１の回転方向に変更する。 （もっと読む）

【課題】ＦＯＵＰとプロセスツールとの間のインタフェースのパージにもかかわらず、ＦＯＵＰ環境は、依然として、多数の源からの粒子状の汚染物質および空気中の分子の汚染物質（ＡＭＣ）の両方の不純物の影響を受けやすい。
【解決手段】移送容器９００は、筐体９１０と、浄化材料を含む浄化器９６０とを備え、浄化器９６０は、筐体９１０に取り付けられ、かつ筐体９１０内に流れる流体を浄化するように構成され、移送容器９００はさらに、筐体９１０に取り付けられ、浄化器９６０を通って筐体９１０内へ流体を推進させるための流体推進手段９３０を備える。 （もっと読む）

【課題】 直方体状の枠体(1) 内に複数枚の板体(B) を縦姿勢でかつ並列にかつその板体
(B) 面が枠体(1) の両側面と平行になるように収容する板体収容カセットであって、板体
(1) の出入および運搬を円滑に行うことができることはもとより、板体(1) が大サイズで
かつ重量が大の基板やパネルであっても、カセット側の板体(1) 支承部にも損傷を与え難
くかつ板体(1) 側の下端エッジにも割れや欠けを生じ難いカセットを提供することを目的
とする。
【解決手段】 直方体状の枠体(1) において、その低所位置には板体下端受けとめ用ロー
ラ(2) 群、低所位置であって前記ローラ(2) 群の設置位置よりも高い位置には板体下部規
制用ローラ(3) 群、枠体(1) の中所ないし高所位置には板体上部側規制用ローラ(4) 群を
それぞれ設けることにより、板体(1) を３点支持しうるようにしたカセットである。 （もっと読む）

【課題】 FOUP固定時に被クランプ部に付与される負荷荷重が増加した場合でも該被クランプ部の変形を抑制し得るロードポート装置を提供する。
【解決手段】 FOUPの底面に対して傾斜した回転軸の周りに回動して退避位置とクランプ位置をとの両位置を取り得るクランプアームを配し、該退避位置では該クランプアームを載置台表面よりも下となるように収容し且つ該クランプ位置では載置台表面から突出して被クランプ部と係合可能となる収容凹部内に該クランプアームを収容したロードポート装置とする。 （もっと読む）

【課題】 基板収納容器等の内容品の輸送に適し、梱包体のサイズの大型化を招くことがなく、しかも周囲の汚染のおそれ、保管スペースの拡大、リユースやリサイクルに支障を来たすおそれを抑制できる梱包体を提供する。
【解決手段】 梱包体１は、包装箱２と、基板収納容器１０を挟むように包装箱２に配置される上下一対の緩衝体３０、３１と、基板収納容器１０と各緩衝体３０、３１との間に介在される弾性体５０、５２とを備え、弾性体５０、５２を、間隔を開けて複数個所に設ける。 （もっと読む）