【課題】 仕切り壁を設けて複数に区画した各収納部に板状体を上下に積み重ねて収納する板状体の搬送容器において、仕切り壁の破損を防いで繰り返し使用に耐えうる耐久性の高い搬送容器を提供する。
【解決手段】 発泡樹脂からなる蓋体２と容器本体１とを備えて、容器本体１の収納部１４に板状体を上下に積み重ねて収納するように構成された板状体の搬送容器であって、容器本体２の底部１０の内面１０ａには複数の収納部１４を形成すべく仕切り壁１３が突設され、蓋体２の内面には仕切り壁１３の横倒れを防止すべく仕切り壁１３の上部をその厚み方向に支持可能な仕切り壁支持部としての凹部３１が形成され、容器本体２と仕切り壁１３とは一体に形成されている。 （もっと読む）

【課題】露光用のマスクを安定に接地可能とする。
【解決手段】レチクルＲを収容するレチクルポッド２０であって、レチクルＲを収容可能なインナーポッド４１と、インナーポッド４１を収容可能なアウターポッド３９と、インナーポッド４１に設けられて、レチクルＲの接地領域８Ａに接触可能な導電性の可動な接触部１３２Ａと、インナーポッド４１のアウターポッド３９との接触部であるベースプレート５３と接触部１３２Ａとを導通する板ばね１５４とを備える。 （もっと読む）

【課題】基板のクラックの発生を防止することができ、また、支持部材本体を長寿命化することができる支持部材およびキャリアを提供する。
【解決手段】可動基板受け１８ａは、回動自在に取り付けられた支持部材本体３０を備え、支持部材本体３０は、回動中心軸４４から放射状に延設された複数の突起３１を備え、突起３１を基板の端部に当接させて基板を支持するため、基板のクラックの発生を防止することができ、また、支持部材本体３０を長寿命化することができる。 （もっと読む）

【課題】バッファ機能と反転機能とを統合運営できるバッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】本発明によるバッファユニット４０００は、ベースプレート４１１０と、ベースプレート４１１０に互いに離隔されて設置される第１垂直プレート４１２０と第２垂直プレート４１３０とを有するフレーム４１００と、フォトマスクＭが置かれ、第１及び第２垂直プレート４１２０，４１３０間に反転自在に設置される第１バッファ４２００と、及び第１及び第２垂直プレート４１２０，４１３０の外方に設置され、第１バッファ４２００に置かれるフォトマスクをグリップし、反転されるように第１バッファ４２００を駆動させる駆動部と、を含む。 （もっと読む）

【課題】本発明は、密閉型容器内部の雰囲気に起因する反応物の生成を抑制することを目的とする。
【解決手段】半導体製造装置１は、被処理物であるウエーハ１０、ウエーハ１０を収納する密閉型容器のＦＯＵＰ２０、半導体処理装置であるエッチング装置３０及びＦＯＵＰ２０とエッチング装置３０との間を密閉状態でウエーハ１０の搬送を行うＥＦＥＭ４０を有する。ＦＯＵＰ２０は、前面扉２０ａ、内側に温度と湿度とガス濃度との少なくとも一つを検知するセンサ部２１及びこのセンサ部が検知した情報を送信する送信装置２５を有する。受信装置３１は、送信装置２５からの情報を受信し、その情報をパージ部４３に供給する。パージ部４３は、ＦＯＵＰ２０内の温度などが予め定められた基準値を満足するまでパージを行う。 （もっと読む）

【課題】輸送時に基板搬送容器格納棚の分解を必要とせず、又再組立てを必要とせず、輸送コストを低減できると共に作業性の向上を図る基板処理装置を提供する。
【解決手段】複数枚の基板２１が収納される基板搬送容器９と、該基板搬送容器を搬送する基板搬送容器搬送装置１５と、該基板搬送容器搬送装置１５により搬送された複数の基板搬送容器９が格納される基板搬送容器格納棚１１とを具備し、該基板搬送容器格納棚１１を高さ方向に伸縮可能とした。 （もっと読む）

【課題】異物が搬送時の振動で飛散するのを防ぐことができるチップトレイを得る。
【解決手段】チップトレイ１は、複数に区画されたポケット２を有するワッフル形状である。このポケット２に半導体チップ３を収納する。ポケット２の底面に粘着材４と突起部５が設けられている。突起部５は粘着材４よりも突出している。半導体チップ３をポケット２に収納した際に、半導体チップ３の裏面は突起部５のみに接触し、粘着材４には接触しない。 （もっと読む）

【課題】より好適にウェーハを支持することによって、パーティクルの発生を効果的に防ぎ、ウェーハの更なる汚染防止を図ることができるウェーハ収納容器を提供する。
【解決手段】前側に開口３を有すると共に、円盤状のウェーハ２を支持する支持部材２５を備える容器本体４と、開口３を塞ぐと共に、ウェーハ２を保持するリテーナ２１を備える蓋体５と、からなるウェーハ収納容器１であって、ウェーハ２の外周部のうち、結晶方位に起因してエッジが形成される領域を非接触領域Ａとして設定し、リテーナ２１及び支持部材２５は、非接触領域Ａを避けた位置でウェーハ２と接触する。 （もっと読む）

【課題】梱包・開梱作業を容易に行うことができ、しかも、外気温が変化しても基板が汚染することを防止できる基板収納容器及び基板収納容器用梱包体を提供する。
【解決手段】基板を収納する容器本体４と、この容器本体４の開口を塞ぐ蓋体とからなる基板収納容器１であって、容器本体４の上壁７、側壁９の外面に、この外面を覆い、且つ、容器本体４の外部と内部の間における熱伝導を抑制する断熱壁３１、３２、３３を設けてなる。さらに、蓋体、背面壁８、ボトムプレート１１を覆う断熱壁３４、３５、３６を追加することで、合計６枚の断熱壁により、基板収納容器用梱包体を構成することもできる。 （もっと読む）

【課題】ペーストと保持容器との接触によるペーストのパターン不良が発生することなく、公差を含む基板を保持することが可能な保持容器を提供する。
【解決手段】基板２０の保持容器１０は、対向する少なくとも１組の側面１０２，１０３を有する基板の保持容器であって、１組の側面の間の距離が下方に向かって狭まるように傾斜しており、側面の内側が、基板の端辺２０２〜２０５と当接することによって、基板を保持する。保持容器を用いることにより、公差を含む基板の端までペースト３０を載置するパターンを用いることが可能となった。 （もっと読む）