【課題】パーティクルの発生や基板処理への構造物の影響が抑制され、基板温度制御性が改善され、さらに量産装置に対応し基板の脱着が容易な基板トレイを提供する。
【解決手段】基板を搬送し処理する間、基板を保持するための基板トレイであって、前記トレイは、トレイ本体と、基板を載置するための基板載置部を備えた基板載置板とからなり、前記トレイ本体は開口を有し、前記トレイ本体は該開口の端部に前記基板の周端部を保持する基板保持部を備えており、更に、前記基板載置板を前記トレイ本体に保持すべく、前記トレイ本体には、前記基板保持部より外側に磁石を配設したこを特徴とする基板トレイ。 （もっと読む）

【課題】プラズマ処理中に基板の縁部およびトレイに付着した副生成物の除去を行って、製品の品質を向上させる。
【解決手段】基板が収容される複数の基板収容孔が設けられ、基板収容孔の内壁から突出する基板支持部を有するトレイを基板ステージのトレイ支持部上に載置するとともに基板保持部上に基板を載置して、基板保持部の端縁よりはみ出した基板の縁部と基板支持部とを離間させる基板載置工程と、トレイおよび基板が基板ステージ上に載置された状態にて、チャンバ内を減圧するとともに処理ガスを供給し、基板に対するプラズマ処理を行う第１プラズマ処理工程と、チャンバ内を減圧するとともに処理ガスを供給してプラズマ処理を行い、第１プラズマ処理工程により基板の縁部と基板支持部とに付着した副生成物を除去する第２プラズマ処理工程とを実施する。第２プラズマ処理工程は、副生成物の基板保持部への付着を抑制する位置までトレイを上昇させて行う。 （もっと読む）

【課題】手動にて、ウェハをウェハキャリアに収納する場合もしくはウェハキャリアから取り出す場合において、ウェハ同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止する。
【解決手段】ウェハキャリア用の治具であって、ウェハキャリア１１が備える複数のスロット１２の数に対応し、スロット１２の並び間隔と等しい間隔で平行な状態で固定されたウェハ保護プレート群２０からなり、各ウェハ保護プレート２１は、スロット１２内に収納されるウェハ１０の直径以下の幅を有しスロット１２に差し込まれる挿入部２２と、挿入部２２の幅方向に延びてスロット１２の開口面１５に接する一対のストッパー部２３とを有し、挿入部２２が隣り合うウェハ１０同士の接触を防ぎ、疵やチッピングの発生を防止することを特徴とするウェハキャリア用治具１。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、高い密度で集積された薄板基板を、湾曲させた状態で損傷したり汚したりすることなく、安全に搬送および保管することができるパレットの提供を目的とする。
【解決手段】 本発明は、薄板基板１を湾曲させて収納する基板保持用枠体１０を、多段に積層し載置するための湾曲形状保持部３０と、移動搬送装置のための移動搬送装置対応部４０を上下に固着した２層構造からなり、湾曲した湾曲形状保持部３０の上面に固着した嵌合用枠体２０の嵌合用金属枠部２１の上面から内周下方向に傾斜して突出しているパレット側嵌合部２２と、載置される基板保持用枠体１０の金属枠部１１の下面から内周下方向に傾斜して突出している第１嵌合部１２との嵌め合わせにより、上記の課題を解決した。 （もっと読む）

【課題】収納容器の反りを解消し、収納容器に収納したまま検査などができる収納容器および収納容器保持方法を提供する。
【解決手段】収納容器１００は、収納部１０と、形状変形手段２０と、を備える収納容器であって、形状変形手段２０は、収納部１０を形成する樹脂１２に設けられた磁性体２１を有し、磁性体２１に作用する磁力によって収納容器１００の形状が変形する。収納容器１００によれば、磁性体２１に磁力を作用させることによって収納容器１００に力を加えることができる。この力を利用することで、収納容器１００が変形している場合には、変形部分が矯正される方向に磁力を作用させることにより、収納容器１００に接触することなく力を加えて保持することができる。 （もっと読む）

【課題】 ２メートル角程度の大サイズ薄板基板を安全に保管・輸送できる基板保持用枠体等を提供する。
【解決手段】
本発明の基板保持用枠体１０は、矩形状の薄板基板の１枚を、枠体内に収め、当該薄板基板を収めた状態の該枠体を位置合わせして多段に積み重ねた状態で、搬送または保管の用途に供する基板保持用枠体であって、左右の辺が平坦で、前後の辺が基板の下方に湾曲している金属枠部１１と、金属枠部の上面または下面からさらに四辺内周側に延出された基板支持部１３と、該金属枠部１１の四辺内周側に向かって下方に傾斜した嵌合部１２ａ及び１２ｂと、薄板基板接触面側に装着された樹脂製の基板保持部材１４と、からなることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】半導体ウェハを傷つけることなく、半導体ウェハの裏面に材料が堆積されることを抑制することができる半導体ウェハカバーを提供する。
【解決手段】半導体ウェハカバーは、第１のカバー部と、第２のカバー部とを備える。第１のカバー部は、半導体ウェハの表面を露出させつつ半導体ウェハの裏面の少なくとも外縁部を被覆するように半導体ウェハを収容し、半導体ウェハの裏面の中心部分において第１の開口部を有する。第２のカバー部は、第１の開口部に嵌合し、半導体ウェハの裏面の中心部分を被覆する。第１の開口部の径が半導体ウェハの搭載面から半導体ウェハの非搭載面に向かって小さくなるように該第１の開口部の内側面はテーパーを有する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプパネル部材等の表面に機能層を備えた板状物からなる基板を、その表面の機能層を損傷したり汚したりすることなく、効率良く輸送及び保管することが可能な基板用トレイの基板保持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の基板保持部材は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた基板用トレイにおいて、前記基板支持部に固定された基板保持部材が、前記基板支持部下面より下側に突出して設置され、上下方向の基板振動時のみ前記基板と接触する面を有する振動制御部を少なくとも有することにより、前記基板の搬送およびまたは保管において、振動による前記基板の品質面の問題を解消可能な基板保持部材を提供することにより上記の課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】開口角度を安定して再現でき、高いクランプ力を長期間にわたって維持することが可能で、更にクランプアームやプッシュピンの変形や劣化が起こりにくい基板クランプ装置を提供する。
【解決手段】基板の保持、解除をクランプアームの開閉によって行う基板クランプ装置であって、土台に設けられたブラケットと、ブラケット略両端に、それぞれ設けられた回転軸と、上記回転軸の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプアーム押込み部と、上記回転軸の他の一端を介して回転自在に取り付けられたクランプ枝部と、上記クランプアーム押込み部及び上記クランプ枝部と、上記回転軸とは別の回転軸を介して取り付けられ、基板を保持するクランプアーム部と、を備えたことを特徴とする基板クランプ装置。 （もっと読む）

【課題】突起部によって持ち上げられた第１の半導体ウェハがウェハキャリアから落下することを抑制する。
【解決手段】架台２００は、ウェハキャリア１００を、ウェハキャリア１００の差込口が上に向く方向に保持する。架台２００には、突起部２０４が設けられている。突起部２０４は、第１の半導体ウェハ１０をウェハキャリア１００から一部がはみ出るまで押し上げる。本実施形態において突起部２０４は、第１の半導体ウェハ１０の隣に位置する第２の半導体ウェハ１０には接しない。そしてウェハ押上装置のアダプタ部材２１０は、ウェハキャリア１００の上に取り外し可能に設けられ、第１の半導体ウェハ１０のうちウェハキャリア１００からはみ出た部分を保持する。 （もっと読む）