国際特許分類[H01L27/11]の内容
電気 (1,674,590) | 基本的電気素子 (808,144) | 半導体装置,他に属さない電気的固体装置 (445,984) | 1つの共通基板内または上に形成された複数の半導体構成部品または他の固体構成部品からなる装置 (52,733) | 整流,発振,増幅またはスイッチングに特に適用される半導体構成部品を含むものであり,少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有するもの;少なくとも1つの電位障壁または表面障壁を有する集積化された受動回路素子を含むもの (38,321) | 基板が半導体本体であるもの (36,153) | 複数の個々の構成部品を反復した形で含むもの (15,853) | 電界効果構成部品を含むもの (11,969) | スタティックランダムアクセスメモリ構造 (855)
国際特許分類[H01L27/11]に分類される特許
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半導体記憶装置
【課題】給電セルのレイアウト面積を縮小することによりメモリアレイ全体のレイアウト面積をさらに縮小することが可能な半導体記憶装置を提供する。
【解決手段】第1の金属配線層に、Nウェル電圧VDDBを供給するメタル312を設ける。メタル312は、共有コンタクト216および219によりNウェル領域に設けられた活性層300と電気的に結合され、Nウェル領域に対してNウェル電圧VDDBが供給される。第3の金属配線層にPウェル電圧VSSBを供給するメタル332,333を設ける。Nウェル電圧VDDBを供給するメタル312は、第1の金属配線層のメタルを用いた構成としているため下層へのくい打ち領域を必要とせず、Pウェル電圧VSSBのメタル332,333の下層へのくい打ち領域のみ確保すればよい。したがって、給電セルPMCのY方向の長さを縮小して、給電セルのレイアウト面積を縮小することができる。
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複合メモリ
【課題】 製造コストの上昇を招くことなくNANDフラッシュメモリにDRAMを混載することができ、且つチップ面積の増大を招くことなくシステム性能の向上をはかる。
【解決手段】 半導体基板10上に、NANDセルユニットからなる第1のメモリセルアレイとDRAMセルからなる第2のメモリセルアレイとを搭載した複合メモリであって、NANDセルユニットは、第1のゲート14と第2のゲート16を積層した2層ゲート構成の不揮発性メモリセル100と不揮発性メモリセル100の第1及び第2のゲート14,16間を接続した選択トランジスタ200で構成され、DRAMセルは、選択トランジスタ200と同じ構成のセルトランジスタ300と、不揮発性メモリセル100又は選択トランジスタ200と同じ構成のMOSキャパシタ400で構成されている。
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半導体装置
【課題】CMOSインバータを含むメモリセルにおいて、リーク電流によるゲート配線の制約やデザインルールの制約を起因とするメモリセルの面積の増大を抑える。
【解決手段】第1のインバータIV1と第2のインバータIV2を含むメモリセル1Aの第1の金属層として、第1の配線FL1及び第2の配線FL2が配置されている。第1の配線FL1は、第1のインバータIV1の2つのドレインDと第2のインバータIV2の第2のゲート配線GL2と接続している。第2の配線FL2は、第2のインバータIV2の2つのドレインDと第1のインバータIV1の第1のゲート配線GL1と接続している。第1の配線FL1は第2のゲート配線GL2と重畳し、第2の配線FL2は第1のゲート配線GL1と重畳して配置される。第1の金属層よりも上層には、第2の金属層と、その上層の第3の金属層が配置されている。
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半導体記憶装置、及び半導体記憶装置の製造方法
【課題】半導体記憶装置の面積を縮小する技術を提供する。
【解決手段】高抵抗付加型ラッチ回路(12)と、その高抵抗付加型ラッチ回路(12)に保持されるデータの読み出しと書込みとを制御する選択回路(13)とを具備する半導体記憶装置(11)を構成する。その高抵抗付加型ラッチ回路(12)は、第1駆動トランジスタ(22)と、第2駆動トランジスタ(24)と、第1抵抗(121)と、第2抵抗(123)とを備えることが好ましい。また、その選択回路(13)は、第1選択トランジスタ(31)と、第2選択トランジスタ(32)とを備えることが好ましい。ここにおいて、その第1抵抗(121)と第2抵抗(123)とは、サイドウォール状の導電性材料(21)(23)で形成されるものである。
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半導体装置、半導体集積回路装置、SRAM、Dt−MOSトランジスタの製造方法
【課題】Dt−MOSトランジスタよりなる半導体装置の素子寸法を縮小する。
【解決手段】シリコン基板21と、素子分離領域21Iと、前記素子分離領域により画成された、第1の導電型を有する第1のウェルよりなる素子領域21DNWと前記第1の導電型と逆の第2の導電型のコンタクト領域21P+1と、ゲート絶縁膜を介して、前記素子領域上から、前記素子分離領域のうち前記素子領域と前記コンタクト領域との間に延在するゲート電極と、第2の導電型のソース拡散領域と、第2の導電型のドレイン拡散領域と、前記ソース拡散領域の下端部に接して形成された第1の絶縁領域と、前記ドレイン拡散領域の下端部に接して形成された第2の絶縁領域と、前記ゲート電極と前記コンタクト領域とを電気的に接続するビアプラグと、を含み、前記第1のウェルは前記素子分離領域部分の下の前記シリコン基板を介して前記コンタクト領域に電気的に接続されていること。
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半導体装置およびその製造方法ならびに不揮発性半導体記憶装置
【課題】これまでのMOSFETと同等の集積性を維持しながら、MOSFETに比べて優れたスイッチング特性をもつ、すなわち、室温においてS値が60mV/桁より小さな値をもつ半導体素子を提供する。
【解決手段】MOSFETと、トンネル接合を有するトンネルバイポーラトランジスタを組み合わせることにより、低電圧であっても、ゲート電位変化に対してドレイン電流が急峻な変化(S値が60mV/桁よりも小さい)を示す半導体素子を構成する。
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サブスレッショルドSRAMのための電源電圧制御回路及び制御方法
【課題】サブスレッショルド領域で動作するSRAMの書き込み動作安定性を改善する回路及び方法を提供する。
【解決手段】所定の遅延時間でサブスレッショルド領域で動作し、pMOSFETの典型値におけるしきい値電圧と、nMOSFETの典型値におけるしきい値電圧の差の絶対値が0.1V以上であるサブスレッショルドSRAMに対して制御出力電圧を電源電圧として供給する電源電圧制御回路であって、電源電圧に基づいて所定の微小電流を発生する微小電流発生回路と、発生された微小電流に基づいて遅延時間のバラツキを補正するためのpMOSFET又はnMOSFETのしきい値電圧の変化を含む制御出力電圧を発生して、制御された電源電圧としてサブスレッショルドSRAMに対して供給する制御出力電圧発生回路とを備えた。
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半導体集積回路装置
【課題】設計工数をほとんど掛けないで、CMP対策及び短時間光アニール対策の両対策に最適化されたダミーパターンを有する半導体集積回路装置を提供すること。
【解決手段】基板上に、メモリマクロ領域10及び機能回路領域20を有する半導体集積回路装置1において、機能回路領域20間、及び、メモリマクロ領域10と機能回路領域20との間に配置されるとともにダミーパターン41を含むダミーパターン領域40を備え、ダミーパターン41は、前記メモリセルアレイ領域におけるメモリセルパターン11の拡散層12、13及びゲート電極14と同等のパターンであり、ダミーパターン領域40におけるダミー拡散層42、43及びダミーゲート電極44の面積率は、メモリセルアレイ領域における拡散層12、13及びゲート電極14の面積率と同等以上である。
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半導体デバイスの動作方法
【課題】高いバイアス電圧を必要とせずに、メモリセルとして動作可能なマルチゲート半導体デバイスを提供する。
【解決手段】マルチゲートMOSFETをベースとした、比較的低いバイアス電圧を要するキャパシタレスのメモリデバイス。充分な本体係数を用意し、VTフィードバックループを導入することによって、閾値電圧をゲート−本体間電圧を関連させる蓄積層を用いて、ヒステリシスウインドウ(H)を導入できる。MOSFETは、「1」値または「0」値を保存することができ(54,51)、(プログラムウインドウPWの範囲内で)保存した値を読み出し、ホールドする(50)。デバイスは、1.5Vなどの比較的低い動作電圧、1016動作サイクルなどの高い信頼性、〜5秒などの長い保持時間で動作する。
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SRAM
【課題】配線不良が生じ難いSRAM。
【解決手段】第1方向に平行に延設された第1、第2ゲート電極と、第1ゲート電極と直交して第1負荷トランジスタを構成する第1拡散領域及び第1の駆動トランジスタを構成する第2拡散領域と、第2拡散領域と直交して第1アクセストランジスタを構成する第3ゲート電極と、第1拡散領域と第2ゲート電極との第1共通コンタクトと、第1及び第3ゲート電極間の第2拡散領域に形成された第1拡散領域コンタクトと、第3ゲート電極に接続された第1ゲートコンタクトと、第1共通コンタクトと第1拡散領域コンタクトとを接続する第1配線と、第1ゲートコンタクトに接続された第2配線と、を備えたSRAM。第1共通コンタクトと第1ゲートコンタクトとが階段状の2層構造を有し、第1及び第2配線はいずれも第1方向を長手方向とする矩形形状を有し、第1の方向の一直線上に並べて配置されている。
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