【課題】簡易な構成で製造も容易であり、外部磁界に対して高感度で磁気を検出できる磁気検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁気検出装置１は、磁気インピーダンス素子３と、磁気インピーダンス素子３のインピーダンス変化を電気信号として取り出すピックアップコイル５とを備え、磁気インピーダンス素子３の長さはピックアップコイル配置領域６よりも長くしてあり、ピックアップコイル５は磁気インピーダンス素子３の長手方向中間部４に配置してあると共に磁気インピーダンス素子３には長手方向中間部４に所定周波数の信号を印加する電極３ａ、３ｂを設けている。 （もっと読む）

【課題】高価な設備、装置を必要とせず、製造効率に優れた高品質の磁気検出素子、およびその製造方法を提供する。
【解決手段】アモルファス磁性材料２２からなり、外部磁界Ｈによりインピーダンスが変化する感磁部２０と、該感磁部２０が取り付けられる基板１０とを備える磁気検出素子であって、前記感磁部２０の長手方向が、前記アモルファス磁性材料２２の圧延方向および前記外部磁界Ｈの方向と平行となるように磁気検出素子を構成した。 （もっと読む）

【課題】感度が高く、小型化を図ることができるマグネトインピーダンスセンサ素子を提供すること。
【解決手段】マグネトインピーダンスセンサ素子１は、基体２と、磁性アモルファスワイヤ３と、被覆絶縁体４と、検出コイル５と、端子搭載面６１を有する端子台６と、端子搭載面６１に形成したワイヤ用電極端子１１及びコイル用電極端子１２と、ワイヤ用電極端子１１と磁性アモルファスワイヤ３に設けた一対のワイヤ通電端３１とを電気的に接続するワイヤ用接続配線１１０と、コイル用電極端子１２と検出コイル５に設けた一対のコイル通電端５１とを電気的に接続するコイル用接続配線１２０とを有する。端子搭載面６１は、その法線が磁性アモルファスワイヤ３の長手方向成分を有し、磁性アモルファスワイヤ３の長手方向における、磁性アモルファスワイヤ３の両端の間に配置されている。 （もっと読む）

【課題】互いに抵抗温度係数異なる材料によって形成された複数の機能素子の間で、磁界検出時の温度変動による出力信号の変化を抑制し、正確に印加磁界を検出できると共に、小型、薄型化、低コスト化が可能な磁気デバイスを提供する。
【解決手段】 機能素子ＡおよびＣの上には、機能素子ＡおよびＣ（磁気インピーダンス素子）を加熱するための加熱手段３３ａ，３３ｂが形成される。加熱手段３３ａ，３３ｂは、例えば帯状の磁性体３２Ａ，３２Ｃに重ねて形成されるヒータ線であればよい。こうした加熱手段３３ａ，３３ｂは、磁性体３２Ａ，３２Ｃの下側（基板側）に形成しても、また、磁性体３２Ａ，３２Ｃの上側に形成しても良い。 （もっと読む）

【課題】
３次元磁気センサの小型化、薄型化を図るために、高さの小さいＺ軸用マグネトインピーダンスセンサ素子を提供すること。
【解決手段】
Ｚ軸用マグネトインピーダンスセンサ素子は、非磁性体からなる基板と磁性アモルファスワイヤと磁性アモルファスワイヤ被覆絶縁体と磁性アモルファスワイヤ被覆絶縁体の周囲に形成された検出コイルと、これらを被覆する矩形状の素子絶縁体とを有し、素子絶縁体の端面に電極端子を有するものである。 （もっと読む）

【課題】高価な設備、装置を必要とせず、製造効率に優れた高品質の磁気検出素子および磁気センサ用コアならびにこれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】磁気検出素子１は、非磁性材料からなる素子基板１０上にアモルファス金属からなる薄板状の磁性材料箔２０が貼着され、該磁性材料箔２０がフォトリソグラフィにより所定のパターンに形成されてなる。磁気センサ用コア２は、非磁性材料で形成された対からなる素子基板６０ａ，６０ｂ間にアモルファス金属からなる薄板状の磁性材料箔７０が貼着され、前記対からなる素子基板６０ａ，６０ｂ間に前記磁性材料箔７０が貼着された部分には、検出コイル８１の巻回部およびバイアス磁界発生用コイル８２の巻回部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化と高感度化を両立させることが可能な磁界検出素子を提供する。
【解決手段】感磁部となる軟磁性体膜１１と、電流の方向が逆向きとなるように巻き回され電気的に直列に接続された２つの平面スパイラルコイル１４ａ，１４ｂとを少なくとも備える磁界検出素子１０Ａであって、軟磁性体膜１１は、２つの平面スパイラルコイル１４ａ，１４ｂの渦巻き中心間を結ぶ直線に対し略平行となるように配置され、渦巻き中心間の同相磁界発生部にて電流を通電するよう電極１２ａ，１２ｂが形成されており、軟磁性体膜１１の通電部１１ｃはコイルの電流方向と略直交して横切るように配され、さらに軟磁性体膜１１は、渦巻き中心間より外側の逆相磁界発生部に、通電部１１ｃの外側に同一平面内で連続した集磁部１１ａ，１１ｂを有し、集磁部１１ａ，１１ｂは、通電部１１ｃの幅よりも幅が広くなったパターンを有する。 （もっと読む）

【課題】単一チップの一方側面上に統合信号処理回路と、他方側面上に磁気センサ素子とを有する高密度統合処理及び感知チップを提供する。
【解決手段】統合処理及び感知ウェハー１００は、基板層１０６の第一の表面１０４に近接して配置された信号処理回路又は信号処理層１０２と、基板層１０６の反対の表面１１０上に配置された磁気感知素子１０８とを有する。信号処理回路１０２及び磁気感知素子１０８は、金属層１１２及びバイア１１６を通じて電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】磁気感度特性に優れ且つ簡易な構成でＭＩ素子の比例特性領域を利用して磁気を検出できる磁気検出装置を提供する。
【解決手段】本発明の磁気検出装置１において、直列に接続され且つ互いに平行に配置された複数のマグネトーインピーダンス素子１３、１３と、複数のマグネトーインピーダンス素子１３、１３の周囲に巻回したコイル５と、コイル５の電気出力を検出する出力検知部７と、コイル５に通電する通電部９と、コイル５の接続を通電部９と出力検出部７とに切り替えるスイッチ手段１１とを備え、通電部９からコイル５に通電してマグネトーインピーダンス素子１３、１３に一時的に磁界を加えた後に、スイッチ手段１１によりコイル５の接続を出力検出部７に切り替えてコイル５の電気出力を測定することにより、磁気を測定する。 （もっと読む）

【課題】磁気検出素子が設けられている部分が小型の磁気検出プローブ、磁気検出プローブの製造方法を提供する。
【解決手段】基板２に対して磁気検出素子３を表面実装する。また、基板２には、補強部５を接合して、剛性を高めている。さらに、磁気検出素子３の周囲には、素子保護部４を形成して、磁気検出素子３の脱落等を防止する。このような構成により、磁気検出素子３が設けられている先端側の幅、及び、厚さを従来より小型にできる。 （もっと読む）