【課題】低コスト化および小型化を図りつつ、優れた信頼性を有する圧電デバイスの製造方法および圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電振動片２を収納したパッケージ３を実装用基板４上にスペーサ５１〜５４を介して実装するとともに、スペーサ５１〜５４によってパッケージ３と実装用基板４との間に形成された間隙に収まるように、圧電振動片２を駆動する機能を有する電子部品６を実装用基板４上に実装した圧電デバイス１の製造方法であって、実装用基板４となるべき基板４Ａ上にスペーサ５１〜５４を形成する工程と、基板４Ａ上およびスペーサ５１〜５４上にこれらの間を跨るように配線パターン４２を形成する工程と、配線パターン４２に電気的に接続されるように、基板４Ａ上に電子部品６を実装する工程と、スペーサ５１〜５４上にパッケージ３を実装する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】品質係数Ｑ値が高く、しかも容量比の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動のフイガーオブメリットＭ_１が、２次高調波モード振動のフイガーオブメリットＭ_２より大きくなるように、音叉形状と溝と電極の寸法が決定される。水晶ウエハの上面と下面の各々に金属膜を形成、その上にレジストが塗布され、第１音叉腕４６と第２音叉腕４７とを備えた音叉形状を形成、第１音叉腕４６と第２音叉腕４７の各々の上面と下面の各々に溝が形成され、金属膜の上に塗布されたレジストを除去し、溝の面の上に第１電極が形成され、かつ、第１音叉腕４６と第２音叉腕４７の各々の側面に第２電極が形成され、各音叉型屈曲水晶振動子を水晶ウエハから切り離し、音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数を調整する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、エージング特性およびリフロー特性の優れる弾性表面波素子およびそれを備える圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】弾性表面波素子２は、圧電性を有する圧電体材料で構成された圧電体基板２１と、圧電体基板２１の一方の面上に設けられ、圧電体基板２１に弾性表面波を励振させるためのＩＤＴ２２とを有している。圧電体基板２１の厚さは、６０μｍ〜２００μｍである。また、圧電体基板２１は、ＩＤＴ２２の構成材料の収縮力により生じる応力により、ＩＤＴ２２が設けられた面側に凹むように反っている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図るとともに、機械的強度を向上させることができる圧電デバイスを提供すること。
【解決手段】圧電デバイス１は、圧電体素子２を収容したパッケージ３と、柱部材５１を介してパッケージ３を支持する実装基板４と、柱部材５１により形成されたパッケージ３および実装基板４間の隙間に位置するように実装基板４に設けられ、圧電体素子２を駆動するための電子部品６とを有し、柱部材５１は、パッケージ３側の上端面５１１に開放する凹部５１２を有しており、柱部材５１およびパッケージ３は、凹部５１２に溜められた半田により接合されている。 （もっと読む）

【課題】電子装置の製造工程を効率的に実施し、製造コストを低減する。
【解決手段】本発明の電子装置１００は、基板１と、基板１上に形成された機能構造体（ＭＥＭＳ構造体）３Ｘと、機能構造体３Ｘが配置された空洞部Ｓを画成する被覆構造とが備えられる電子装置であって、前記被覆構造が、基板１上に設けられ、且つ空洞部Ｓを囲む層間絶縁層４，６と、下部包囲壁３Ｙ及び配線層５，７とからなる側壁１０Ｙと、空洞部Ｓの上方を覆うと共に、空洞部Ｓに貫通する開口７ａを有し耐食性層を含む積層構造からなる第１被覆層７Ｙと、開口７ａを閉鎖する第２被覆層９と、を備えている。耐食性層は、ＴｉＮ、Ｔｉ、Ｗ、Ａｕ、Ｐｔまたはそれぞれの合金より構成される。 （もっと読む）

【課題】 温度変化の影響を小さくできる弾性表面波センサ，および，弾性表面波センサの圧力測定方法を提供する。
【解決手段】 弾性表面波センサ１は、発振回路１１〜１４，周波数ミキサ２１〜２４を備えている。
周波数ミキサ２１は、発振回路１１および発振回路１２の出力周波数の差の周波数Ｆｘ１＿Ｔを出力する。また、周波数ミキサ２２は、発振回路１２および発振回路１３の出力周波数の差の周波数Ｆｘ２＿Ｔを出力する。基準状態においてはＦｘ２＿０＝Ｆｘ１＿０となるように設定されている。
また、第３の周波数ミキサ２３は、第４の発振回路１４および第２の周波数ミキサ２２の出力周波数の差の周波数Ｆｘ３＿Ｔを出力する。Ｆｘ３＿Ｔ＝Ｆｘ２＿Ｔ−Ｆ４となる。第４の周波数ミキサ２４は、Ｆｘ１＿ＴとＦｘ３＿Ｔとの差の周波数を出力する。 （もっと読む）

【課題】共振マイクロエレクトロメカニカルシステム（ＭＥＭＳ）初期化成功を補償するシステム及び方法、特にＥＳＤによるＤＣオフセットを克服する方法を提供する。
【解決手段】システム２０は、共振センサ２４、駆動デバイス２６、チャージアンプおよび電圧利得回路２８を含む。スタートアップ時に、チャージアンプ及び電圧利得回路は、共振センサから信号を受信し、ＤＣオフセットに関するこの信号を補償するために、駆動に関するクロック信号を生成し、これを用いて、安定した状態の動作モードにおける共振センサを実現する。回路は、受信された信号に関する信号にグリッチを生成するようにトグル切り替えされた複数の利得スイッチを含む。グリッチは、ＤＣオフセットを補償する。受信された信号に関する信号が、リファレンス信号を越えている場合、比較器は、駆動デバイスに関するクロック信号を生成する。 （もっと読む）

【課題】安定した周波数の信号を供給すること。
【解決手段】発振器１は、シリコンで構成され、変位可能な可動部２と、可動部２を静電気力により振動させる電圧を供給する電極３ａ、３ｂと、シリコンで構成され、可動部２の少なくとも一部を支持する固定部４と、固定部４に接して設けられ、固定部４の温度を検出する温度検出部５と、温度検出部５が検出した温度に応じて可動部２の出力に基づく出力周波数を一定に保つよう補正を行う補正部６を有する。 （もっと読む）

【課題】共振中心周波数、帯域幅の調整が容易な結合共振器アレイ及びそれを使用したフィルタ並びに発振器を提供する。
【解決手段】結合共振器１６_ｉのアレイ１０は、入力電気信号Ｖｅを供給するための手段１２と、この入力電気信号を使用してアレイのＮ個の結合共振器１６_ｉを電気的に励起するための手段１４とを備える。電気励起手段１４は、これらＮ個の結合共振器１６_ｉのそれぞれに関して、入力電気信号に従ってこの結合共振器を作動させるために入力電気信号供給手段１２に接続された作動手段１８_ｉと、この結合共振器１６_ｉを作動させるための結合共振器固有の可変利得入力増幅手段２０_ｉとを備える。さらに、それらは、入力増幅手段２０_ｉのそれぞれの可変利得の特定の設定を制御するための手段２２を備える。 （もっと読む）

【課題】Ｑ値を向上させ、弾性表面波共振子の小型化を可能とする。
【解決手段】水晶基板上に弾性表面波を励振する電極指を有するＩＤＴが設けられた弾性表面波共振子において、ＩＤＴは、中央部に配置された第１領域と、第１領域の両側に配置された第２領域および第３領域とを備え、第１領域では周波数が一定であり、第２領域および第３領域ではＩＤＴの端部に近づくに従い周波数が順次低くなる部分を含み、第１領域における周波数をＦａ、第２領域における端部の周波数をＦｂ_M、第３領域における端部の周波数をＦｃ_N、としたとき、０．９８１５＜Ｆｂ_M／Ｆａ＜０．９９５３、かつ、０．９８１５＜Ｆｃ_N／Ｆａ＜０．９９５３、である。 （もっと読む）