【課題】 温度特性、ＣＩ値並びに周波数の安定した圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 圧電デバイス（５０）は、外部電極（３１）に導通する第１接続電極（３５）を有するベース（３）と、第１面に第１接続と接続する第２接続電極（３６）と、第１面の反対面に形成されて第２接続電極と導通する第３接続電極（３７）とを有しベース上に固定されるサポート材（６ａ）と、励振電極（２３、２５）を有するとともに第３接続電極（３７）に塗布された接着剤（６１）を介してサポート部材に固定される圧電振動片（２０）とを備えている。そして、圧電デバイスは接着材が圧電振動片の所定領域に広がらないように、第３接続電極（３７）の所定方向に凹み部が形成されている。 （もっと読む）

【課題】貫通電極を有する半導体基板の製造方法、半導体基板、および半導体基板を用いた圧電デバイスにおいて、貫通電極部と半導体基板間の浮遊容量は絶縁層の厚みに反比例するため、浮遊容量を低減させる貫通電極形成プロセスを提供する。
【解決手段】半導体基板１上に形成した犠牲層３に沿ってドライエッチングにより貫通微細孔４を形成する工程にて、貫通微細孔４の外側に、少なくとも１つの環状孔５を形成し、貫通微細孔４に熱酸化により絶縁層を形成する工程にて、貫通微細孔４表面の酸化膜と環状孔５を埋める酸化膜、及び、貫通微細孔４と環状孔５との間の半導体基板１の薄肉部に埋めこまれた酸化膜とを一体化した、絶縁層を形成する。 （もっと読む）

【課題】 搭載領域の無駄をなくしながら小型化・低背化に対応した表面実装型圧電発振器とその製造方法を提供する。
【解決手段】 圧電振動板３と集積回路素子２を収納する絶縁性のベース１を有する表面実装型圧電発振器であって、前記ベースは側壁部と第１の収納部１０ａ、当該第１の収納部の側壁部と接続された段差部１０ｃと、前記第１の収納部と前記段差部の上面に配置される第２の収納部１０ｂとが形成されており、表裏面に配線パターンが形成された板状の回路基板４の上面側と前記圧電振動板と、当該回路基板の底面側と前記集積回路素子とがそれぞれ導電性接合材で接合されるとともに、前記段差部上面の配線パターンと前記回路基板の底面側の配線パターンの一部とが導電性接合材で接合される。 （もっと読む）

【課題】金属ろう材などの導電性接合材を用いて金属サポートと水晶振動板を接合する際の位置決めと接合性が良好で、エージング特性が良好なより信頼性の高い高安定向け水晶振動子を提供する。
【解決手段】金属サポート１３，１４が設けられた２本の金属リード端子１１，１２が貫通植設されてなるベース１と、金属サポート１３，１４に搭載されかつ導電性接合材３を介して電気的機械的に接合される板状の水晶振動板２とからなる水晶振動子であって、前記水晶振動板２の端部のうち応力感度がない２つのポイントに目印２１，２２を形成し、前記金属サポート１３，１４の水晶振動板保持部１３２，１４２に対して前記水晶振動板２の目印２１，２２の部分で、前記金属サポート１３，１４の水晶振動板保持部１３２，１４２と前記水晶振動板２とが前記導電性接合材３により接合した。 （もっと読む）

【課題】導電性接合材が励振電極へ拡散する事の悪影響をなくし、金属サポートと水晶振動板を接合する際の接合性が良好な水晶振動子の提供。
【解決手段】金属サポート１３，１４が設けられた２本の金属リード端子１１，１２が貫通植設されてなるベース１と、金属サポート１３，１４に搭載されかつ導電性接合材３を介して電気的機械的接合の板状水晶振動板２とからなる水晶振動子に於いて、前記水晶振動板２はその主面に励振電極２５，２６と引出電極２７，２８と接続電極とが形成され、前記接続電極は水晶振動板２の少なくとも２点の端部のみに形成され、前記金属サポート１３，１４の水晶振動板保持部１３２，１４２と前記水晶振動板２の接続電極とが前記導電性接合材３により接合されて、前記金属サポート１３，１４の水晶振動板保持部１３２，１４２の外部表面と前記水晶振動板２の励振電極２５，２６とを接続する引出電極２７，２８を形成した。 （もっと読む）

【課題】本発明は、圧電デバイスとそれを用いた電子機器及び自動車の衝撃信頼性を向上させることを目的とする。
【解決手段】そして、この目的を達成するために本発明は、底面１１と、底面１１にその一端が配置された可撓性部材１２と、可撓性部材１２の他端により中空保持された圧電振動子１３とを備え、底面１１と圧電振動子１３との間には水平保持部材１４を介在させた圧電デバイスとしたものである。
この構成により、圧電振動子１３の底面１１に対する水平性が失われようとするのを、底面１１と圧電振動子１３との間に介在させた水平保持部材１４が抑制するため、衝撃信頼性を向上させることができるのである。 （もっと読む）

【課題】導電性接着剤による固着強度を高め、振動周波数の変化を抑制して耐衝撃特性及び経時変化特性に優れた高安定用の水晶振動子を提供する。
【解決手段】スリットの上端が閉塞したサポータ７を適用し、応力感度軸となる少なくとも外周部２ヶ所を保持することを前提として、スリットに露出した水晶片１の端面のみならず、水晶片１の下面と舌片９、及び水晶片１の上面とサポータ７（スリット）の閉塞した上端内周面との間にも導電性接着剤１０を塗布し、導電性接着剤１０による固着強度を高める構成とした。 （もっと読む）

【課題】 低背化に対応し、耐衝撃性に優れた圧電振動デバイス用パッケージおよび圧電振動デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】 ベース１の凹部７の一端側に形成された一対の搭載パッド１２に、端部が面取り加工された水晶振動片２の長辺方向一端側の端面と、当該端面近傍で前記凹部７の内底面と対向する面取り加工領域の一部とが、導電性接合材５によって片持ち支持接合されている。そして、前記凹部７を蓋体３で気密封止してなる水晶振動子４であって、
前記凹部７の、水晶振動片２の長辺方向他端側の下方には枕部１１が形成されているとともに、当該枕部１１の上面は前記搭載パッド１２の上面から前記枕部１１に対して水平方向に延出した仮想線Ｌより上方に位置している。 （もっと読む）

【課題】ハーメチックベースのネイルリードにサポータを容易に且つ確実に取り付けることができ、これによって量産性を可能にした水晶振動子を提供する。
【解決手段】水晶振動子（１００）は、両主面に設けた励振電極（３）及び励振電極と電気的に接続した端面電極（４）を外周部両端面に有する水晶片（１）と、水晶片の主面に対向して釘頭部を突出した少なくとも一対のリード端子（８）を有するベース（２）と、水晶片（１）を支えるとともに釘頭部に対して開口部（１４）を有する少なくとも一対のサポータ（９−１）と、開口部と釘頭部とを接続し所定の温度で溶融する接合材（１２）と、を備える。 （もっと読む）

【課題】バルク弾性波の基板への漏洩パスを最小限に抑圧することが可能なエネルギー閉じ込め構造が実現できる薄膜圧電バルク波共振器と、それを用いた高周波フィルタおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】圧電薄膜と前記圧電薄膜の少なくとも一部を挟んで存在する第一の金属電極膜と第二の金属電極膜とを含む積層構造を具備し、第一の金属電極膜は、第二の金属電極膜と対向する電極面に分散して形成され、積層構造に対応する位置の基板上に空隙部を有する薄膜圧電バルク波共振器において、圧電薄膜、第一の金属電極膜および、第二の金属電極膜は、第一の金属電極膜と電気的に接続する配線電極の領域および第二の金属電極膜と電気的に接続する配線電極の領域以外は、絶縁基板と接触せず中空に保持されており、積層構造を支持するために空隙部に支柱を設置することを特徴とする。 （もっと読む）