【課題】 ＩＤＴの電極の膜厚を大きくしても、所望の周波数特性・性能を維持し得るＳＡＷ素子及びその製造方法を提供する。
【解決手段】 面内回転ＳＴカット水晶板からなる水晶基板１１の主面に、ＳＡＷの波長λに対してＨ／λ＝０．０５〜０．１５となる厚さＨのＡｌ電極膜１５を形成する。電極膜の上にレジストパターン１６を形成し、電極膜の露出部分をドライエッチングしてその一部を除去しかつその残余部分１５ａをウエットエッチングにより完全に除去することにより、ＩＤＴ１３の交差指電極１２ａ，１２ｂを形成する。このとき、ＳＡＷ伝搬方向に沿って交差指電極の下辺及び上辺における線幅ｄ１，ｄ２が（ｄ１−ｄ２）／電極ピッチｐ＝０〜０．１６となるように設定する。 （もっと読む）

【課題】 溶液を受容体に容易に接触させることができるようにする。
【解決手段】 弾性表面波センサ１０は、圧電基板１２の表面に、圧電基板１２に弾性表面波を生成するすだれ状電極からなる励振用ＩＤＴ１４を有する。また、圧電基板１２の表面には、励振用ＩＤＴ１４が励振した弾性表面波を受信するすだれ状電極からなる受信用ＩＤＴ１６が設けてある。表面弾性波の伝搬領域である励振用ＩＤＴ１４と受信用ＩＤＴ１６との間には、受容体２２が露出して設けてある。励振用ＩＤＴ１４と受信用ＩＤＴ１６とは、電極封止部材２４によって覆ってある。電極封止部材２４は、すだれ状電極の周囲に密閉空間を形成する。 （もっと読む）

【課題】 優れた周波数特性と通過特性を有する弾性表面波素子、及びこの弾性表面波素
子の製造方法を提供する。
【解決手段】 弾性表面波素子１０は、半導体基板（Ｓｉ層５０）の同一平面上に半導体
配線領域２０とＳＡＷ領域３０が並列して形成されている弾性表面波素子１０であって、
ウエハ１に弾性表面波素子１０を格子状に配列すると共に、隣接する弾性表面波素子１０
に形成される半導体配線領域２０を市松模様状に配列し、半導体配線領域２０とＳＡＷ領
域３０の上面に渡って同一平面の絶縁層７１〜７４を形成し、最上層の絶縁層７４の表面
に圧電体層９０を形成し、ＳＡＷ領域３０の圧電体層９０の表面にＩＤＴ４０を形成する。 （もっと読む）

【課題】表面弾性波デバイスにおいて、３つ以上のフィルタをシンプルな構造で、かつコンパクトに実装する。
【解決手段】弾性波デバイス１は、基板１３と、基板１３上に積層されて設けられ、各々は圧電性基板２ａ，２ｂ，２ｃの一方の面に電極３ａ，３ｂ，３ｃを備えて形成されている、３つ以上の弾性波チップとを有している。そして、隣接するいずれか２つの弾性波チップは、電極３ａ，３ｂの設けられている面同士が空間１４ａを共有して対向している。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波（ＳＡＷ）装置のパッケージのシールド性を高め、アイソレーション特性を向上させる。
【解決手段】ベース基板と、ベース基板に実装されたＳＡＷ素子と、ＳＡＷ素子を覆う蓋体と、基準電位電極とを備えたＳＡＷ装置で、蓋体は、ベース基板の上部を覆う天板を含み、天板は、底面の略全面に形成された導体層を備え、該導体層は、基準電位電極に電気的に接続される。蓋体は、ＳＡＷ素子の周囲を囲んで天板と共にＳＡＷ素子を覆う枠体を含み、枠体は、その天面に導体層を備え、枠体の天面に天板が載せられることにより天板の導体層と枠体の導体層とが電気的に接続されかつこれらの導体層が基準電位電極に接続される。天板及び枠体の導体層は、Ａｕ層を最上層としかつＣｕ層を含む２種類以上の金属層からなる。ベース基板及び蓋体は、樹脂材料からなる。 （もっと読む）

【課題】 挿入損失とＶＳＷＲの良好な弾性表面波装置およびそれを用いた通信装置を提供する。
【解決手段】 圧電基板100に形成された電極群201，202が縦続接続されており、電極群201，202に接続された接続用パッド電極701〜703と電極群201，202とを取り囲む環状接地電極801を配設し、電極群201，202のＩＤＴ電極302，303，502，503が環状接地電極801に接続された弾性表面波素子101が、環状接地電極801と対向する環状接地導体1001，接続用パッド電極701〜703と対向する接続用パッド導体1101〜1103ならびに環状接地導体1001に接続された貫通接地導体1201，1202が形成された実装用基板900に実装されており、貫通接地導体1201，1202は、ＩＤＴ電極301，501の中心に伝搬方向Ｘに対して直交する方向に設けた仮想軸Ｙに対して非対称に形成された弾性表面波装置である。 （もっと読む）

【課題】 デバイスサイズを小型化した場合でも、信号間の高アイソレーションを確保可能な、小型で特性の安定した分波器を提供する。
【解決手段】 積層パッケージ１２０の第１の層１２３は、送信用フィルタ１１２のグランドに接続される第１のグランド線路パターン１４１と、受信用フィルタ１１３のグランドに接続される第２のグランド線路パターン１４２と、位相整合用回路のグランドに接続される第３のグランド線路パターン１４３と、複数の信号線路パターン１４４〜１４６とを有する。第２の層１２４は、複数の信号線路パターンの間に配置された仕切りグランド線路パターン１６０と、外部接続用の信号用フットパッド１６４〜１６６及びグランド用フットパッド１６１〜１６３とを有し、第１及び第２のグランド線路パターン１４１、１４２の各々は、グランド用フットパッド１６１〜１６３を介して仕切り用グランド線路パターン１６０に接続されている。 （もっと読む）

【課題】 平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぎつつ、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現する。
【解決手段】 球状部材１１の表面に弾性表面波を励起し、球状部材１１の回転運動に応じて伝搬方向を変化させた弾性表面波を検出する構成により、従来の平面型の弾性表面波ジャイロとは異なり、反射器を備える必要が無いので、弾性表面波を利用した小型のジャイロを実現できる。また、球状弾性表面波素子により実現するので、平面型ジャイロのようなエネルギーの漏洩を防ぐことができる。 （もっと読む）

【課題】ＳＡＷフィルタを封止するはんだの疲労を軽減した低コストかつ小型のＳＡＷフィルタ装置及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、一対の入出力電極２１１、２１３からなるＳＡＷフィルタ用電極２１と一対の入出力電極２２１、２２３からなるＳＡＷフィルタ用電極２２を設け、２個のＳＡＷフィルタ用電極２１、２２を取り囲むとともにこのＳＡＷフィルタ用電極２１とＳＡＷフィルタ用電極２２とを区画するように導体パターン２３を形成し、さらにこの導体パターン２３の２個のＳＡＷフィルタ用電極２１、２２を区画する部位に沿って溝２４を形成してなる圧電板２を、ＳＡＷフィルタ用電極２１、２２を気密に封止するように、導体パターン２３と同様のパターンに形成された封止枠３を介してベース基板１に実装してなり、前記圧電板２がベース基板１への実装時に２つに分割され離間していることを特徴とするＳＡＷフィルタ装置である。 （もっと読む）

【課題】 平板状の部材から構成される小型・薄型なＳＡＷ素子を提供する。
【解決手段】 上記課題を解決するためのＳＡＷ素子は、平面基板１２の一主面に櫛歯状電極１８を形成して共振素子片を構成する圧電基板１２と、前記圧電基板１２を挟み込み、少なくとも前記圧電基板１２の主面に対向する側の面を平面とした一対の蓋体２０，３０とを有し、前記圧電基板１２と当該圧電基板１２を挟み込む一対の蓋体２０，３０とを接合しつつ前記圧電基板１２が励振する際の振動空間を確保するための金属パターン１４，２２，３２を、前記圧電基板１２と前記蓋体２０，３２とが対向する面の四辺縁部に形成したことを特徴とする。 （もっと読む）