本発明は、少なくとも１つの表面弾性波（ＳＡＷ）フィルタおよび１つのバルク弾性波（ＢＡＷ）フィルタを備える弾性波デバイスであって、第２の圧電材料（Ｐ_{ｉｅｚｏ２}）を備えた基板上に、少なくとも１つの第１の金属層（Ｍ_１）および第１の単結晶の圧電材料（Ｐ_{ｉｅｚｏ１}）の層を備える積層であり、第１および第２の圧電材料が存在する第１の領域ならびに第１の圧電材料が存在しない第２の領域を定義するために部分的にエッチングされた積層と、第１の圧電材料を統合するバルク弾性波フィルタを定義する第１の領域における第２のメタライゼーション（Ｍ_２）および第２の圧電材料を統合する表面弾性波フィルタを定義する第２の領域における第３のメタライゼーション（Ｍ_３）とを備えることを特徴とする、弾性波デバイスに関する。また、本発明は、有利には、Ｓｍａｒｔ Ｃｕｔ（商標）方法で使用されるものと類似した塗布工程または機械的結合／薄化工程を使用して、本発明のデバイスを製造するための方法にも関する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜共振子を備えたフィルタを小型化することができるとともに、メンブレン端部にクラックが入ることを防ぐ。
【解決手段】上部電極２と下部電極３とが圧電膜４を挟んで対向する共振部（メンブレン領域）が、空隙９を挟んで基板１上に配されている圧電薄膜共振子を複数備えている。空隙９は、複数の圧電薄膜共振子の下部において連続した空間として備わっている。また、犠牲層エッチング液を注入するためのリリース孔６を備えている。これにより、複数の圧電薄膜共振子で空隙９を共有することができ、リリース孔を減らすことができ、フィルタを小型化することができる。また、共振部がエアーブリッジ型電極８で支持されていることにより、共振部の端部に応力が集中するのを防ぎ、クラック等が入ることを防止する。 （もっと読む）

【課題】同一チップ内に各々異なる共振周波数を有する複数の圧電薄膜共振子からなる弾性波デバイスの形成を可能とし、高価な装置を使用することなく、スプリアスを低減した優れた特性を得る。
【解決手段】周波数制御膜５１は、複数の凸形状の島パターン１５１または複数のホールパターンを備えている。島パターン１５１は、各共振子間において、共通のスプリアス調整ピッチかつ異なる面積で配置されている。ホールパターンは、各共振子間において、共通のスプリアス調整ピッチかつ異なる開口面積としている。 （もっと読む）

【課題】
複数の共振器から構成される弾性波フィルタの小型化に伴い、弾性フィルタ内の配線パターンが隣接し不要な電磁結合が生じ、弾性波フィルタの特性劣化が生じるのを抑制する。
【解決手段】
基板上に配置された弾性波を利用するＳＡＷやＦＢＡＲ等の複数の共振器の間や、これら複数の共振器とグランド端子との間、共振器と入力端子との間や共振器と出力端子との間に配置された複数の配線パターンに沿って、これら配線パターンと隣接し、対向し、好ましくは配線パターン幅よりも広い幅を有するシールド電極を配置し、弾性波フィルタの小型化に伴う、弾性フィルタ内の配線パターン間の不要な電磁結合を抑制し、弾性波フィルタの特性劣化を防止する。 （もっと読む）

【課題】従来の格子フィルタと比較して、通過帯域のエッジの減衰勾配が急なフィルタ構造を提供すること。
【解決手段】一実施形態によるフィルタは、第１信号線および第２信号線を備える第１ポートと；第１信号線および第２信号線を備える第２ポートと；前記第１ポートの前記第１信号線を前記第２ポートの前記第１信号線に接続する第１共振子と；前記第１ポートの前記第２信号線を前記第２ポートの前記第２信号線に接続する第２共振子と；前記第１ポートの前記第１信号線を前記第２ポートの前記第２信号線に接続する第３共振子と；前記第１ポートの前記第２信号線を前記第２ポートの前記第１信号線に接続する第４共振子と；を有し、前記第１〜第４共振子はいずれもバルク音波共振子であり、前記第１及び第２共振子は第１の面積を有し、前記第３及び第４共振子は第２の面積を有し、前記第１の面積は前記第２の面積よりも大きい。 （もっと読む）

【課題】高減衰、高アイソレーション化と同時に低損失化を可能とする。
【解決手段】任意の周波数帯域の信号を抽出するフィルタ部３と、フィルタ部３に接続され、フィルタ部３の通過帯域より高い反共振周波数を持つ共振器１と、共振器１に並列接続されている位相変換器２とを備え、位相変換器２は、フィルタ部３の通過帯域外の周波数帯において電気的に誘導性となり、かつ入力される信号を共振器１の位相と１８０度異なる位相に変換する。 （もっと読む）

【課題】フィルタの損失を抑えた分波器を提供する。
【解決手段】分波器は、共通端子に接続される、通過帯域の異なる２以上のフィルタＦ１，Ｆ２を備え、フィルタＦ１、Ｆ２の少なくとも１つは、フィルタの入力端子および出力端子を繋ぐ線路に直列に接続された複数の直列共振器Ｓ１〜Ｓｎと、前記線路に並列に接続された並列共振器Ｐ１〜Ｐｍを含み、直列共振器の少なくとも１つには、インダクタンスＬ１が並列接続されており、インダクタンスＬ１が並列接続された直列共振器Ｓ１は、直列に接続された複数の共振器Ｓ１１〜Ｓ１３に分轄されている。 （もっと読む）

【課題】質量付加膜の材料の選択の幅が広がる、または、共振周波数を調整できる範囲が広がること。
【解決手段】基板１０と、基板１０上に設けられた圧電薄膜１４と、前記圧電薄膜１４の少なくとも一部を挟んで設けられた下部電極１２および上部電極１６と、前記圧電薄膜１４を挟み前記下部電極１２および上部電極１６が対向する共振領域５０と、前記圧電薄膜１４と上部電極１６との間の前記共振領域５０に設けられ、前記共振領域５０とは異なる形状である第１付加膜２８と、を備える圧電薄膜共振器を具備する。 （もっと読む）

【課題】 バランを含むフィルタの小型化を可能にし、設計自由度を高めた弾性波デバイスを提供すること。
【解決手段】 本弾性波デバイスは、入力端子としての共通端子Ａｎｔと、共通端子Ａｎｔから入力された信号を逆位相の２つの信号に変換して出力するバラン２０と、バラン２０から入力された２つの信号を平衡出力信号として出力するフィルタ３０とを有する。バラン２０の出力インピーダンスは、フィルタ３０の入力インピーダンスと等しく、フィルタ３０の出力インピーダンスより大きい。本構成によれば、バラン２０が共通端子Ａｎｔとフィルタ３０との間に接続されているため、フィルタ３０の入力インピーダンスを任意に変更し、設計自由度を高めることができる。また、フィルタ３０の入力インピーダンスを大きくすることで、フィルタ３０を小型化し、弾性波デバイス１００Ａ全体の小型化を図ることができる。 （もっと読む）

圧電共振器装置は５つの層を備える。第１層及び第５層は１つまたは複数の金属電極を含む。第２層及び第４層は圧電材料を含む。第３層は金属層を含む。第１層の第１領域において、第１層金属電極は、１つまたは複数の第１層金属電極の１つと第１層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第１層周期的構造を含む。第５層の第２領域において、第５層金属電極は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つと第５層金属電極の無い空間とを含む１次元に沿った第５層周期的構造を含む。第１層周期的構造及び第５層周期的構造は、１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の無い空間の下に中心が置かれ、１つまたは複数の第１層金属電極の１つが第５層金属電極の無い空間上に中心が置かれるように配列されるか、または１つまたは複数の第５層金属電極の１つが第１層金属電極の下に中心が置かれるように配列される。
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