【課題】紫外線レーザを用いるタイプのＸ線発生装置において、Ｘ線の発生の安定化を図る。
【解決手段】紫外線レーザ発生装置５１から放出される紫外線レーザを電子線放出素子２０の紫外線レーザ受光面２１に照射し、電子線放出素子２０において紫外線レーザ受光面２１と異なる電子線放出面２３から放出される電子線を金属片２５へ照射し、該金属片２５からＸ線を発生させるＸ線発生方法において、紫外線レーザを制御して紫外線レーザ受光面２１の物質の変性を防止する。 （もっと読む）

【課題】紫外線レーザを用いるタイプのＸ線発生装置は内視鏡に組み込んで生体内へ挿入可能であり、かかる使用時において安全性を確保する。
【解決手段】紫外線レーザ発生装置から放出される紫外線レーザを電子線放出素子１０３の紫外線レーザ受光面に照射し、電子線放出素子において紫外線レーザ受光面と異なる電子線放出面から放出される電子線を金属片１０４へ照射し、該金属片からＸ線を発生させるＸ線発生方法において、紫外線レーザとして、単位パルス強度を１０００μジュール以下とし、単位パルスの幅を１００ｎｓ以下のものを使用し紫外線レーザ受光面の物質の変性を防止する。電子線放出素子をアースすることによりＸ線の発生を停止できる。 （もっと読む）

【課題】単色性の高いレーザーコンプトン光を得る。
【解決手段】偏向空洞１３を通過した電子パルス１２は、線形加速器１４を通過する。線形加速器１４中において、この電子パルス１２は高周波加速を受け、高エネルギー電子パルス１５となる。レーザー光源１６は、可視光あるいは近赤外光でありパルス状のレーザー光１７を発する。レーザー光１７は、反射鏡１８で反射されて、高エネルギー電子パルス１５と衝突点１９で衝突する設定とされる。衝突点１９から、高エネルギー光（Ｘ線、ガンマ線等）とされたレーザーコンプトン光２０が発せられる。偏向空洞１３によって電子パルス１２はその進行方向に対して傾斜角をもち、衝突点１９においては、この傾斜角が大きくなった状態となるような設定とされる。 （もっと読む）

【課題】ＥＵＶを放射するレーザ生成プラズマを生成するための光源集光モジュールを提供する。
【解決手段】ＥＵＶを放射するレーザ生成プラズマ（ＬＰＰ）を生成するための光源集光モジュール（ＳＯＣＯＭＯ）１００と、入射端３および出射端５を有し、ＬＰＰ２４に相対配置される斜入射集光器（ＧＩＣ）ミラーＭＧとに関する。ＬＰＰ２４は、光源部およびターゲット部を備えるＬＰＰターゲットシステムを使用して形成される。光源部からのパルスレーザ光線は、ターゲット部のＳｎ蒸気源からの蒸気Ｓｎを照射する。ＧＩＣミラーＭＧは、ＬＰＰ２４に相対配置され、入射端３でＥＵＶを受光し、受光したＥＵＶを、出射端５に隣接する中間焦点ＩＦに集束する。中間焦点ＩＦに供給されるＥＵＶの量を増加させるために、放射集光強化装置を使用してもよい。また、ＳＯＣＯＭＯを利用するＥＵＶリソグラフィシステムについても開示される。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ式ＥＵＶ光源装置において、ＥＵＶコレクタミラーのスパッタ量を正確に反映させることにより、ミラー交換の時期を適切に判断できるようにする。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、真空チャンバ内に配置され、表面に膜が形成されているセンサを有し、プラズマから発生したイオンを含む粒子が該センサ表面に形成された膜をスパッタすることにより生じる膜厚の変化をモニタして、膜厚の変化を表す検出信号を出力するスパッタ量検出器と、該スパッタ量検出器から出力された検出信号に基づいて、膜厚の変化量を算出する計算部と、該計算部によって算出された膜厚の変化量が所定の基準値に至った場合に、集光ミラーの交換時期又は修理時期を表す判定信号を出力する判定部とを含む。 （もっと読む）

【課題】ターゲット物質及びエネルギーの利用効率を大幅に高めることができ、かつデブリの発生とチャンバーの真空度悪化を抑制することができるＬＰＰ方式のＥＵＶ光源とその発生方法を提供する。
【解決手段】所定の真空環境に保持された真空チャンバー１２と、真空チャンバー内にターゲット物質の極超音速定常ガスジェット１を回収可能に形成するガスジェット装置１４と、極超音速定常ガスジェットにその流れと平行な磁場５を印加する磁場発生装置２０と、極超音速定常ガスジェットにレーザー光３を集光して照射するレーザー装置１６と、を備え、レーザー光の集光点２においてターゲット物質を励起してプラズマを発生させ、そこから極端紫外光４を発光させる。 （もっと読む）

【課題】ＬＰＰ式ＥＵＶ光源装置において、ＥＵＶコレクタミラーのスパッタ量を正確に反映させることにより、ミラー交換の時期を適切に判断できるようにする。
【解決手段】このＥＵＶ光源装置は、真空チャンバ内に配置され、プラズマから発生したイオンを検出して、そのイオン量を表す検出信号を出力するイオン検出器と、該イオン検出器から出力された検出信号に基づいて、イオン量を積算して積算値を算出する計算部と、該計算部によって算出された積算値が所定の基準値に至った場合に、集光ミラーの交換時期又は修理時期を表す判定信号を出力する判定部とを含む。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で重元素に対する組成分析を行う。
【解決手段】レーザーコンプトン光１００が試料２００に照射される。このレーザーコンプトン光１００及びこのレーザーコンプトン光１００が試料２００を透過した後の透過光１１０がＸ線検出器１２０で検出され、その検出信号がデータ処理部１３０で処理される。このレーザーコンプトン光発生装置２０は、準単色あるいは単色のＸ線をレーザーコンプトン光１００として出力する。ここでは、周回軌道で加速された高エネルギー電子２１とレーザー光２２とが衝突部２３で衝突する設定とされる。レーザー光源２９から発せられたレーザー光２２は、交差角調整部３０でその交差角が制御され、衝突部２３に導入され、高エネルギー電子２１と衝突する。交差角調整部３０によってこの交差角を制御することによって、レーザーコンプトン光１００のエネルギーを制御することができる。 （もっと読む）

【課題】現行のＸ線治療は、悪性腫瘍治療に有効であるが、同時に健常部まで損傷し、多くの副作用が伴う。体内透過性が１０〜２０mm程度のエネルギーのＸ線を悪性腫瘍の直近傍で発生させ、Pin-pointで治療する手段が要求されている。
【解決手段】レーザーを細い可撓型パイプ内部や光ファイバー内を通して腫瘍患部の直近傍で集光して固体の表面に高温プラズマを生成してX線を発生させることはよく知られているが、本発明では １．真空中ではなく大気中で生成可能、２．レーザー光の進行方向に強いX線発生が可能、３．光の進行方向に強い指向性をもっていることを特色とし、小型軽量で悪性腫瘍により有効にPin-point治療を可能にすることができる。 （もっと読む）

【課題】プラズマ放射源における高速イオンを削減すること。
【解決手段】放射源は、放電空間の付近の放射源における第１のスポット上に第１のエネルギーパルスを誘導して放電をトリガする主プラズマチャネルを作成する第１の活性化源を含む。放射源は更に、放電空間の付近の放射源における第２のスポット上に第２のエネルギーパルスを誘導して追加プラズマチャネルを作成する第２の活性化源を含む。同じ放電中に第２のエネルギーパルスを誘導することによって、主プラズマ電流のショートカットが実現し、これは生成される高速イオンの量を削減することができる。 （もっと読む）