【課題】電気パルスを高効率かつ安全に伝送するパルス伝送線路を提供する。
【解決手段】第１の同軸ケーブル１１６の内部導体１１８の電源側端は、入力ポート１０４の第１の入力端子１０６に接続され、外部導体１２０の電源側端は開放される。内部導体１１８の負荷側端は、コモンモードリアクトル１３６の第１の巻線１３８を経由して出力ポート１１０の第１の出力端子１１２に接続され、外部導体１２０の負荷側端は、第１の抵抗器１３２を経由してグランドに接続される。第２の同軸ケーブル１２２の内部導体１２４の電源側端は、入力ポート１０４の第２の入力端子１０８に接続され、外部導体１２６の電源側端は開放される。内部導体１２４の負荷側端は、コモンモードリアクトル１３６の第２の巻線１４０を経由して出力ポート１１０の第２の出力端子１１４に接続され、外部導体１２６の負荷側端は、第２の抵抗器１３４を経由してグランドに接続される。 （もっと読む）

【課題】車両の表面の所定位置に気流発生装置を備えて表面の気流を制御することで、車両の形状を最適化することなく、空力特性を最適化し、走行安定性を向上させる。
【解決手段】自動車は、車体の表面の領域Ａに、誘電体２の表面近傍に対設された一対の電極３、４間に電圧を印加して気流を発生させる気流発生装置１を備える。自動車の車体の屈曲部が、曲面を有し、かつ曲面の両端縁から平面を構成するように屈曲している場合、領域Ａは、曲面と平面との境界部から、屈曲する方向の車体の長さの２０％に相当する長さの範囲内、かつ曲面で構成される領域である。また、自動車の車体の屈曲部が曲面を有さずに屈曲している場合、領域Ａは、屈曲部から、屈曲する方向の車体の長さの２０％に相当する長さの範囲内で構成される領域である。 （もっと読む）

【課題】給電部材にアークが到達する前にアークを完全に消弧し、確実な電極間絶縁の回復を実現することができる無声放電式プラズマ発生装置を提供する。
【解決手段】誘電体(３)と、誘電体を挟んで対向配置された第１、第２の電極(１，２)と、電極間に交流電圧を印加して放電させる交流電源(６)とを含み、放電を発生させる放電空間にガスを供給してプラズマを形成する装置であって、第２の電極(２)が誘電体上に形成された導電性の給電薄膜からなり、誘電体が破損して電極間にアーク放電が発生した場合に、アーク放電が、アーク放電が発生した部分から給電薄膜に接して交流電源と給電薄膜とを接続する給電部材(７)に至る給電薄膜を部分的に消滅させ、同時に誘電体および給電薄膜の少なくとも給電薄膜と接するように配置されたアーク消弧剤(１０)によりアーク放電が消弧される。 （もっと読む）

基板から材料を除去するために提供される方法では、プラズマが大気圧で生成される。プラズマは、材料の１つ以上の構成要素と反応するエネルギー種を含む。プラズマは、高プラズマ密度および低プラズマ密度の周期的領域を含むプラズマプルームとして、出口から流出する。材料は、プラズマプルームに曝露される。材料の少なくとも１つの構成要素は、エネルギー種と反応し、材料の少なくとも１つの他の構成要素は、高プラズマ密度の領域のうちの１つ以上によって物理的に衝撃を加えられ、移動させられる。
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【課題】低気圧から高気圧まで広い動作気圧に対応できる高密度プラズマ源、及び高密度プラズマ生成方法を提供する。
【解決手段】チャンバ２と、チャンバ２内に配置された第１の導電体３と、チャンバ２内に在って第１の導電体３に対向して配置された、複数の誘電体５で被覆された第２の導電体４［４Ａ，４Ｂ，４Ｃ］と、複数の第２の導電体４にそれぞれ同電位の高電圧低周波電圧あるいは高電圧三相交流電圧を印加する交流電源７と、第１の導電体３に負の直流バイアス電圧を印加する直流バイアス電源６とを有し、チャンバ２と第１の導電体３との間の直流放電と、第１導電体３と複数の第２の導電体４との間の誘電体バリア放電とからなる複合プラズマが発生する構成。 （もっと読む）

【課題】 放電方向に均一な放電を発生させ、放電効率を高める構造を提供すること。
【解決手段】 放電用電極体９，１０は電極２，３と電極２，３を覆う固体誘電体とを備えたものであって、固体誘電体の放電側表面がアルミナと、希土類元素（ＲＥ）を含む酸化物とからなり、かつＡｌをＡｌ_２Ｏ_３換算で６８質量％以上、９４質量％以下、希土類元素（ＲＥ）をＲＥ_２Ｏ_３換算で６質量％以上、３２質量％以下含有するものからなる。また、放電用電極アセンブリ１００は、放電用電極体を２つ備えてなり、これら放電用電極体を対向させてなる。放電処理装置は、放電用電極アセンブリを用いてプラズマを発生させるようになしたものである。これらにより、放電効率が向上するとともに、放電用電極体の放電側表面のプラズマに対する耐食性が向上する。 （もっと読む）

大気圧プラズマ源は、遠位端を含む本体と、遠位端から延在し、ブレードエッジで終端するブレードと、プラズマ生成ユニットと、プラズマ生成ユニットと連通し、遠位端に位置付けられるプラズマ出口とを含む。プラズマ出口は、概してブレードエッジに向かって下向きの角度で配向され、プラズマ出口は、概してブレードエッジに向かって方向付けられるプラズマ経路を提供する。プラズマは、コーティングと下層の基板との間の界面において、コーティングに印加されてもよい。プラズマを印加している間に、ブレードが界面においてコーティングと接触するように移動させられ、ブレードが基板からコーティングを分離することを支援する一方で、コーティングの１つ以上の構成要素は、プラズマのエネルギー種と反応する。
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【課題】この発明は、小さい電力でも、液中で安定してプラズマを発生させることができる液中プラズマ用電極、液中プラズマ発生装置および液中プラズマ発生方法を提供することを目的とする。
【解決手段】上記の課題を解決するために、本発明に係る液中プラズマ用電極１は、延在する内導体２と、内導体２の外周に設けられた誘導体３と、誘導体３の外周に設けられた外導体４とを有し、一端部が液体に接する液体接触部５となっており、この液体接触部５において、誘導体３の先端部の位置に対する内導体３の先端部の位置のズレ長さΔＬ１（突出する方向を正とする）、誘導体３の先端部の位置に対する外導体４の先端部の位置のズレ長さΔＬ２および内導体２の外径dが
−（ｄ+１ｍｍ）＜Ｌ１＜（ｄ+１ｍｍ）
−（ｄ+１ｍｍ）＜Ｌ２
の両方を満たすものである液中プラズマ用電極。 （もっと読む）

【課題】ターゲットの無駄な消費を抑えることができるターゲット供給装置を提供する。
【解決手段】ノズル３１から出力される液状の溶融ターゲット材である溶融錫３４を蓄えるタンク３０内のガス圧を圧力調整器４１が備えつけられたガスボンベ４０から供給されるガスの圧力で制御するターゲット供給装置１は、一端が前記タンク３０に接続され、他端が排気口Ｌａを形成するガス流路Ｌ２と、ガス流路Ｌ２上に設置したバルブ４３と、溶融錫３４をノズル３０から出力させない場合、バルブ４３を開にしてタンク３０内を減圧するコントローラ６０と、を備え、ＥＵＶ光を出力させない場合、ターゲット１３の供給を停止または供給速度を減速することで、溶融錫３４の消費を抑える。 （もっと読む）

【課題】防着シールドを交換した場合でも安定した成膜結果を得ることができるプラズマ処理装置を提供する。
【解決手段】プラズマ処理装置は、所定電位に維持されるチャンバ１０３と、チャンバ内で基板を保持するための基板ステージ１０４と、交流電力の印加によりチャンバ内にプラズマを生成するための電極１０５と、プラズマ形成時に、基板ステージと電極との間のプラズマ空間を取り囲むように構成することで基板ステージとチャンバの側壁とを接続し、プラズマ非形成時に、少なくとも一部の部材が駆動機構により移動することにより分離されて、基板ステージへ基板を導入するための開口を形成することが可能な導電性部材３０２と、導電性部材のプラズマ空間側の面を覆う防着シールド２００と、を備える。 （もっと読む）