ハニカム構造体用載置台、及び、ハニカム構造体の検査装置
【課題】 ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等が発生することなく載置することができるハニカム構造体用載置台を提供すること。
【解決手段】 ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、上記ハニカム構造体の端面と重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とするハニカム構造体用載置台。
【解決手段】 ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、上記ハニカム構造体の端面と重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とするハニカム構造体用載置台。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハニカム構造体用載置台、及び、ハニカム構造体の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
バス、トラック等の車両や建設機械等の内燃機関から排出される排ガス中に含有されるスス等のパティキュレートが環境や人体に害を及ぼすことが最近問題となっている。
そこで、排ガス中のパティキュレートを捕集して、排ガスを浄化するフィルタとして多孔質セラミックからなるハニカム構造体を用いたハニカムフィルタが種々提案されている。
【０００３】
従来、ハニカム構造体を製造する際には、例えば、まず、セラミック粉末とバインダと分散媒液等とを混合して湿潤混合物を調製する。そして、この湿潤混合物をダイスにより連続的に押出成形し、押し出された成形体を所定の長さに切断することにより、柱形状のハニカム成形体を作製する。
【０００４】
次に、得られたハニカム成形体を乾燥させ、その後、所定のセルに封止材ペーストを充填して目封じを施し、セルのいずれかの端部が封止された状態とした後、脱脂処理及び焼成処理を施し、ハニカム焼成体を製造する。
【０００５】
この後、ハニカム焼成体の側面にシール材ペーストを塗布し、ハニカム焼成体同士を接着させることにより、シール材層（接着剤層）を介してハニカム焼成体が多数結束した状態のハニカム焼成体の集合体を作製する。次に、得られたハニカム焼成体の集合体に、切削機等を用いて円柱、楕円柱等の所定の形状に切削加工を施してセラミックブロックを形成し、最後に、セラミックブロックの外周にシール材ペーストを塗布してシール材層（コート層）を形成することによりハニカム構造体の製造を終了する。
【０００６】
上記のようなハニカム構造体（セラミックフィルタや触媒担持体）は、通常、ケーシング内に収納されて使用される。そのため、ハニカム構造体をケーシング内に収納する前に、製造したハニカム構造体が上記ケーシングの形状に適合するような所定の形状を有しているか否かを検査する必要があり、検査の際にハニカム構造体は検査装置に設けられた台に載置される。
また、ハニカム構造体に所定の機能を発揮させるべく、その内部に欠陥を内包していないかを検査する必要もあり、この検査の際にもハニカム構造体は検査装置に設けられた台に載置される。
【０００７】
ここで、製造したハニカム構造体の外形形状を検査する装置としては、例えば、平行光線を利用する装置（例えば、特許文献１参照）等が提案されており、特許文献１には外形形状を検査する際にハニカム構造体が載置される台であるターンテーブルが開示されている。
また、製造したハニカム構造体の欠陥を検査する装置としては、例えば、伝播した音響信号の情報を利用する装置（例えば、特許文献２参照）等が提案されており、特許文献２には、欠陥を検査する際にハニカム構造体が載置される台である回転テーブルが開示されている。
【０００８】
【特許文献１】特開昭５５−３７９１９号公報
【特許文献２】特開２００４−１５１０７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１及び２に開示されているターンテーブル及び回転テーブルは平板形状の台であり、これまでハニカム構造体はこのような平板形状の台にその端面を下にした状態で載置されていた。
図１３は、ハニカム構造体が平板形状の台に載置される様子を模式的に表した断面図である。
【００１０】
図１３に示すようにハニカム構造体１３０が平板形状の台２０１に載置される際には、ハニカム構造体１３０の端面と台２０１の上面２０２ａとが平行でない限りハニカム構造体１３０の端面のうち外周部分（以下、単に端面外周ともいう）１３０ａが最初に台２０１の上面２０２ａと一点で接触することとなる。
ハニカム構造体は脆性材料であるセラミックからなるために、その端面外周１３０ａが台２０１の上面２０２ａと一点で接触すると、接触の際の衝撃により端面外周１３０ａに欠けやクラック等が発生することがあり、欠けやクラック等が発生したハニカム構造体は不良品となってしまうという問題があった。
【００１１】
また、このようにしてハニカム構造体が載置される際に端面外周に発生する欠けやクラック等は、ハニカム構造体が検査装置に設けられた台に載置される際にのみ発生するものではなく、平板形状の台上に載置される際に一般的に生じるものであるため、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなくハニカム構造体を載置することのできる載置台が求められていた。
【００１２】
本発明は、これらの問題を解決するためになされたものであり、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなく載置することができるハニカム構造体用載置台、及び、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなくハニカム構造体の検査を行うことができるハニカム構造体の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のハニカム構造体用載置台は、ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、
上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、
上記予備載置面と上記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とする。
【００１４】
本発明のハニカム構造体用載置台においては、上記予備載置面が上記構造体載置面より上方に位置する状態で上記ハニカム構造体を支持し、
さらに、上記昇降機構が上記予備載置面を少なくとも上記構造体載置面まで下降させることにより上記ハニカム構造体を上記構造体載置面に載置し、
上記予備載置面が、上記ハニカム構造体を支持しない状態で、上記昇降機構により少なくとも上記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇することが望ましい。
【００１５】
また、本発明のハニカム構造体用載置台において、上記ハニカム構造体の端面と上記予備載置面の外周形状とは、相似形であることが望ましい。
また、本発明のハニカム構造体用載置台においては、上記予備載置面がドーナツ形状であり、上記予備載置面の中央部にも上記構造体載置面が配置されることが望ましい。
【００１６】
また、本発明のハニカム構造体用載置台は、上記予備載置部材の下部に、上記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
上記脚部と上記昇降機構とが連動することにより、上記予備載置部材が上下動することが望ましい。
【００１７】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構と、
上記載置部材に載置された上記ハニカム構造体の外部形状及び内部形状のうち、少なくとも一方を検査する検査手段とを備え、
上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、
上記予備載置面と上記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、上記予備載置面が上記構造体載置面より上方に位置する状態で上記ハニカム構造体を支持し、
さらに、上記昇降機構が上記予備載置面を少なくとも上記構造体載置面まで下降させることにより上記ハニカム構造体を上記構造体載置面に載置し、
上記昇降機構が上記ハニカム構造体を支持しない状態の予備載置面を、少なくとも上記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇させることが望ましい。
【００１９】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置において、上記ハニカム構造体の端面と上記予備載置面の外周形状とは、相似形であることが望ましい。
また、本発明のハニカム構造体の検査装置においては、上記予備載置面がドーナツ形状であり、
上記予備載置面の中央部にも上記構造体載置面が配置されることが望ましい。
【００２０】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、上記予備載置部材の下部に、上記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
上記脚部と上記昇降機構とが連動することにより、上記予備載置部材が上下動することが望ましい。
【００２１】
本発明のハニカム構造体の検査装置において、上記検査手段は、上記ハニカム構造体の外部形状を検査し、
上記外部形状は、上記ハニカム構造体の長手方向の長さ、最大径、真円度、直角度、平行度及び位置度のうち、少なくとも１つであることが望ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のハニカム構造体用載置台は、予備載置面を有する予備載置部材を備え、上記予備載置面の形状は、ハニカム構造体の端面と重ね合わせると、その外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であるため、上記予備載置面が構造体載置面より上方に位置する状態では、ハニカム構造体の端面外周が接触することなく、ハニカム構造体の端面外周より内側に上記予備載置面全体が位置するようにハニカム構造体を支持することができる。
また、上記予備載置面は上記構造体載置面と平行な平面である。そのため、上記予備載置面と上記構造体載置面の高さを合わせることにより、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃を加えることなくハニカム構造体の端面外周を上記構造体載置面に接触させることができる。
また、上記構造体載置面はハニカム構造体の端面の外周全体と接するような形状であるため、上記ハニカム構造体を上記構造体載置面上に安定に載置することができる。
従って、本発明のハニカム構造体用載置台によると、ハニカム構造体をその端面外周に欠けやクラック等を発生させることなく構造体載置面上に安定に載置することができる。
【００２３】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台を備えているため、上記ハニカム構造体の検査装置にハニカム構造体を載置する際には、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃を加えることなくハニカム構造体の端面外周を構造体載置面に接触させてハニカム構造体を構造体載置面上に載置することができる。
従って、本発明のハニカム構造体の検査装置によると、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなく、ハニカム構造体の形状検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明のハニカム構造体用載置台は、ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、
上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、
上記予備載置面と上記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とする。
【００２５】
ここでは、まず、本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する概要について説明し、その後、本発明のハニカム構造体用載置台の具体例について詳説することとする。
なお、本明細書において、ハニカム成形体、ハニカム焼成体及びハニカム構造体のいずれの形態においても、それぞれの外形状をなす面のうち、セルが露出している面を端面といい、端面以外の面を側面という。
【００２６】
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、予備載置面がドーナツ形状である本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する様子を模式的に示す断面図であり、図１（ａ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置してハニカム構造体を支持する状態を示し、図１（ｂ）は、予備載置面が構造体載置面より下方に位置してハニカム構造体が構造体載置面上に載置されている状態を示す。
【００２７】
本発明のハニカム構造体用載置台１３０１にハニカム構造体を載置するためには、はじめに、予備載置面１３０３ａを構造体載置面１３０２ａよりも上方に位置した状態とする。
次に、この状態にある予備載置面１３０３ａでハニカム構造体１３０を支持する（図１（ａ）参照）。このとき、予備載置面１３０３ａ全体がハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に存在するように、ハニカム構造体１３０を予備載置面１３０３ａで支持する。ハニカム構造体１３０をこのように支持することにより、ハニカム構造体の端面外周１３０ａが予備載置面１３０３ａに接触することがなく、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等が発生することを回避することができる。
なお、ハニカム構造体用載置台１３０１では、予備載置面１３０３ａがドーナツ形状であるため、予備載置面１３０３ａはハニカム構造体１３０の端面の中心付近を支持していない。
【００２８】
次に、ハニカム構造体１３０を支持した予備載置部材１３０３を、図示しない昇降機構により図１（ａ）に示した状態から図１（ｂ）に示した状態に移行させる。
即ち、構造体載置面１３０２ａより上方に位置した予備載置面１３０３ａが、構造体載置面１３０２ａより下方に位置するように、予備載置部材１３０３を下降させる。
このように予備載置面１３０３ａを下降させることにより、ハニカム構造体１３０が載置部材１３０２の構造体載置面１３０２ａ上に載置されることとなる。
なお、予備載置面１３０３ａの下降は、予備載置面１３０３ａが構造体載置面１３０２ａと同一平面をなす位置まで行っても良い。
【００２９】
この際、予備載置面１３０３ａと、構造体載置面１３０２ａとは平行な平面であるため、ハニカム構造体１３０は、その端面が構造体載置面１３０２ａと平行な状態を維持したままで下降することとなる。そして、予備載置面１３０３ａが、構造体載置面１３０２ａと同一平面まで下降すると、構造体載置面１３０２ａはハニカム構造体１３０の端面の外周全体と接する形状であるため、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａを含む端面全体（予備載置面１３０３ａと接触している部分を除く）が構造体載置面１３０２ａと同時に接触する。
その結果、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａに強い衝撃が加わることがなく、端面外周１３０ａに欠けやクラック等が発生することなくハニカム構造体１３０は構造体載置面１３０２ａ上に安定して載置されることとなる（図１（ｂ）参照）。
【００３０】
なお、ハニカム構造体用載置台１３０１においては、予備載置面１３０３ａの内側にも構造体載置面１３０２ａが配置されているため、ハニカム構造体１３０の端面の中心付近も構造体載置面１３０２ａ上に載置される。そのため、ハニカム構造体１３０は構造体載置面１３０２ａ上にきわめて安定的に載置されることとなる。
【００３１】
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、予備載置面が円形である本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する様子を模式的に示す断面図であり、図２（ａ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置してハニカム構造体を支持する状態を示し、図２（ｂ）は、予備載置面が構造体載置面より下方に位置してハニカム構造体が構造体載置面上に載置されている状態を示す。
【００３２】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すハニカム構造体用載置台２３０１を用いてハニカム構造体を載置する場合においても、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台１３０１を用いた場合と同様にして、はじめに、図２（ａ）に示すように予備載置面２３０３ａでハニカム構造体１３０を支持する。このとき、予備載置面２３０３ａ全体がハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に存在するように、予備載置面２３０３ａでハニカム構造体を支持する。次に、図２（ｂ）に示す状態に移行させることで、ハニカム構造体１３０は載置部材２３０２の構造体載置面２３０２ａ上に載置されることとなる。
【００３３】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す場合においても予備載置面２３０３ａと構造体載置面２３０２ａは平行な平面であるため、ハニカム構造体１３０の端面全体（予備載置面２３０３ａと接触している部分を除く）は構造体載置面２３０２ａと同時に接触する。
そのため、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａには強い衝撃が加わることがなく、ハニカム構造体１３０はその端面外周１３０ａに欠けやクラックが発生することなく安定的に構造体載置面２３０２ａ上に載置されることとなる。
【００３４】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す予備載置面２３０３ａはその形状が円形であるため、図２（ａ）に示す状態において予備載置面２３０３ａはハニカム構造体１３０の端面の中心付近も含めて支持しており、図２（ｂ）に示す状態においては、ハニカム構造体１３０の中心付近は構造体載置面２３０２ａ上に載置されておらず、ハニカム構造体１３０はその外周付近のみが構造体載置面２３０２ａ上に載置されていることとなる。このような態様であっても、ハニカム構造体１３０は構造体載置面２３０２ａ上に安定的に載置されることとなる。
【００３５】
続いて、本発明のハニカム構造体用載置台の具体例について図面を参照しながら説明する。
図３（ａ）は、本発明のハニカム構造体用載置台の一例を模式的に示す斜視図であり、図３（ｂ）は、（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図３（ａ）、（ｂ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置する状態を示す。
図４は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台を構成する載置部材を示す斜視図であり、図５は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台を構成する予備載置部材及び昇降機構を示す斜視図である。
なお、図３（ａ）には、ハニカム構造体を２点鎖線で示し、ここでは、図１１に示したハニカム構造体１３０を載置する場合を例に、ハニカム構造体用載置台について説明する。
【００３６】
ハニカム構造体用載置台３０１は、ハニカム構造体の端面の外周全体と接する構造体載置面３０２ａを有する載置部材３０２と、ハニカム構造体を支持する予備載置面３０３ａを有する予備載置部材３０３と、シャフト３０５、金属プレート３０６、シリンダプレート３０７及びエアシリンダ３０９からなり、予備載置部材３０３を上下動させることができる昇降機構とを備えている。
また、予備載置部材３０３と昇降機構とは、脚部３０４を介して連結されている。
【００３７】
図４に示すように、載置部材３０２は円板状の外形を有し、載置部材３０２の上面には、予備載置部材３０３を設置するための予備載置部材用溝部３１０、脚部３０４を設置するための脚部用溝部３１１が設けられている。また、載置部材３０２の下面から下方に向けて固定部３１３が取り付けられており、載置部材３０２を所定の高さに維持できるように構成されている。
そして、載置部材３０２の上面のうち、予備載置部材用溝部３１０及び脚部用溝部３１１以外の部分が、ハニカム構造体を載置した際にハニカム構造体の端面に接しうる部分である。この部分からなる平面を含んで載置部材３０２上面の外周で囲まれてなる平面を構造体載置面３０２ａという。
【００３８】
構造体載置面３０２ａは、ハニカム構造体１３０の端面の外周全体と接する形状を有する平面である。構造体載置面３０２ａをこのような形状とすることで、ハニカム構造体１３０の端面全体を構造体載置面３０２ａ上に安定に載置することができる。
【００３９】
予備載置部材用溝部３１０は、その平面視形状が予備載置部材３０３の平面視形状と略同一形状を有し、予備載置部材用溝部３１０の側壁面と予備載置部材３０３の側面との間には、予備載置部材３０３が滑らかに上下動することのできるようわずかな隙間が設けられている。
また、予備載置部材用溝部３１０の深さは、予備載置部材３０３が最下点まで下降した際に、予備載置面３０３ａと構造体載置面３０２ａとが同一平面となるように予備載置部材３０３の厚さと同一の大きさである。
【００４０】
脚部用溝部３１１は、その平面視形状が脚部３０４の平面視形状と略同一形状を有し、脚部用溝部３１１の側壁面と、脚部３０４の側面との間には、脚部３０４が滑らかに上下動することのできるようわずかな隙間が設けられている。
また、脚部用溝部３１１の深さは、脚部３０４が最下点まで下降した際に予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａと同一平面となるように、予備載置部材３０３と脚部３０４との合計厚さと同一の大きさである。
また、脚部用溝部３１１の底面には、貫通孔３１２が設けられており、この貫通孔３１２には、シャフト３０５（図３（ａ）、（ｂ）及び図５参照）が上下動可能に挿通されている。
【００４１】
固定部３１３は、円柱形状の柱部３１３ａと柱部３１３ａより太い円柱形状のベース部３１３ｂより構成されており、載置部材３０２を所定の高さに維持した状態でその設置場所に設置することができる。
【００４２】
予備載置部材３０３は、図５に示すように、ドーナツ形状を有しており、その上面でハニカム構造体が載置部材３０２に先がけて載置される。
そして、予備載置部材３０３の上面からなる平面を予備載置面３０３ａという。
予備載置面３０３ａの形状は、ハニカム構造体１３０の端面と重ね合わせると、その外周全体がハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に存在しうるような形状である。
そのため、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａが接触することなく、ハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に予備載置面３０３ａ全体が位置するようにしてハニカム構造体１３０を支持することができる。
【００４３】
また、予備載置面３０３ａは、構造体載置面３０２ａと平行な平面になるように構成されている。
そのため、予備載置面３０３ａでハニカム構造体を支持し、予備載置面３０３ａを下降させてハニカム構造体を構造体載置面３０２ａ上に載置する際に、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａ（図３（ａ）及び図３（ｂ）参照）に強い衝撃が加わることがなく、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａに欠けやクラック等が発生することを防止することができる。
【００４４】
ハニカム構造体用載置台３０１では、図５に示すように、予備載置部材３０３の下部に角柱形状の脚部３０４の一端がその上面で固定されており、脚部３０４の他端近傍に、昇降機構を構成するシャフト３０５の一端が固定されている。さらに、シャフト３０５の他端は金属プレート３０６に固定されており、金属プレート３０６の底面にはシリンダプレート３０７及びロッド３０８を通じてエアシリンダ３０９が取り付けられている。
このように、ハニカム構造体用載置台では、予備載置部材３０３と上記昇降機構とが脚部を介して、連結されている。そして、エアシリンダ３０９を駆動させることでロッド３０８を上下動させ、その上下動がシリンダプレート３０７を伝わって金属プレート３０６を上下動させる。その結果、予備載置部材３０３を上下動させることができる。
【００４５】
以下、上記脚部及び上記昇降機構の構成部材についてもう少し詳細に説明する。
脚部３０４は、予備載置部材３０３の下部に固定され、シャフト３０５の上下動を予備載置部材３０３に伝えるための部材である。
脚部３０４の上面は予備載置部材３０３の上面より常に下方に位置し、予備載置面３０３ａ上でハニカム構造体１３０を支持する際に、ハニカム構造体１３０の端面と接触しないように構成されている。
また、脚部３０４は予備載置面３０３ａの重心を中心とした放射状方向に、かつ、等間隔で計５本取り付けられており、隣り合う２本の脚部３０４のそれぞれの重心と予備載置面３０３ａの重心とを結ぶ２本の線分のなす角は７２°となるように構成されている。
【００４６】
シャフト３０５は、一端が脚部３０４に固定され、他端が金属プレート３０６に固定されており、金属プレート３０６の上下動を脚部３０４に伝えるための部材である。
また、シャフト３０５は、貫通孔３１２に挿通されており、載置部材３０２の表裏間で上下動を伝える。
【００４７】
金属プレート３０６の上面にはシャフト３０５が複数固定されており、その底面にはシリンダプレート３０７が複数固定されている。シリンダプレート３０７はロッド３０８を通じてエアシリンダ３０９に取り付けられており、エアシリンダ３０９が駆動してロッド３０８が上下動すると金属プレート３０６も上下動する。
また、金属プレート３０６はその中心部が正方形状にくり抜かれた角環形状であり、くり抜かれた部分３０６ａを介して載置部材３０２の柱部３１３ａが金属プレートを貫通することとなる。また、くり抜かれた部分３０６ａの大きさは、その壁面が柱部３１３ａの側面と接触しない大きさであり、そのため金属プレート３０６は載置部材３０２の柱部３１３ａと干渉することなく上下動する。
【００４８】
エアシリンダ３０９は、ロッド３０８を上下動させてロッド３０８に固定されたシリンダプレート３０７を上下動させ、金属プレート３０６を上下動させるための部材である。ロッド３０８の上下動の範囲は、少なくとも予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａの上方になる位置と、同一平面になる位置とを含むように設定されている。
【００４９】
次に、ハニカム構造体用載置台３０１にハニカム構造体１３０を載置する方法について説明する。ここでは、図３（ａ）及び図３（ｂ）とともに、図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照しながらハニカム構造体用載置台３０１にハニカム構造体１３０を載置する方法について説明する。
図６（ａ）は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示したハニカム構造体載置台において、予備載置面が下降した状態を模式的に示す斜視図であり、図６（ｂ）は、（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＣ−Ｃ線断面図である。なお、図６に示したハニカム構造体用載置台は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台と同一のハニカム構造体用載置台である。
そして、図３（ａ）及び図３（ｂ）には、予備載置面が上昇した状態を示し、図６（ａ）及び図６（ｂ）には、予備載置面が下降した状態を示す。
【００５０】
ハニカム構造体用載置台３０１にハニカム構造体１３０を載置する際には、まず、エアシリンダ３０９を駆動させて、予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａより上方に位置した状態とする。
次に、この状態にある予備載置面３０３ａでハニカム構造体１３０を支持する（図３（ａ）、（ｂ）参照）。このとき、予備載置面３０３ａ全体がハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に存在するように、ハニカム構造体１３０を予備載置面３０３ａで支持する。このように支持することにより、ハニカム構造体の端面外周１３０ａが、予備載置面３０３ａに接触することがなく、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等が発生することを回避することができる。
【００５１】
次に、ハニカム構造体１３０を支持した予備載置部材を図３（ａ）、（ｂ）に示した状態から、図６（ａ）、（ｂ）に示した状態に移行させる。
即ち、構造体載置面３０２ａより上方に位置した予備載置面３０３ａが、構造体載置面３０２ａと同一平面をなすように、予備載置部材３０３を昇降機構により下降させる。
ここで、予備載置面３０３ａをハニカム構造体１３０を支持した状態で上記のように下降させることにより、ハニカム構造体１３０が載置部材３０２の構造体載置面３０２ａ上に載置されることとなる。
【００５２】
この際、予備載置面３０３ａと、構造体載置面３０２ａとは平行な平面であるため、ハニカム構造体は、その端面が構造体載置面３０２ａと平行な状態を維持したままで下降することとなる。そして、予備載置面３０３ａが、構造体載置面３０２ａと同一平面まで下降すると、構造体載置面３０２ａはハニカム構造体１３０の端面の外周全体と接する形状であるため、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａを含む端面全体（予備載置面３０３ａと接触している部分を除く）が構造体載置面３０２ａと同時に接触する。
そのため、ハニカム構造体１３０が構造体載置面３０２ａ上に安定して載置されることとなる（図６（ａ）、（ｂ）参照）。
従って、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａに強い衝撃が加わることがなく、ハニカム構造体は、その端面外周に欠けやクラック等が発生することなく構造体載置面３０２ａ上に載置されることとなる。
【００５３】
そして、このようにして構造体載置面３０２ａ上にハニカム構造体を載置した後、ハニカム構造体の検査等を行う。
その後、ハニカム構造体１３０をハニカム構造体用載置台３０１から持ち上げる等して、別の場所に移動させる。
【００５４】
そして、ハニカム構造体１３０を別の場所に移動させた後には、再度、ハニカム構造体１３０を支持しない状態で、予備載置部材３０３を昇降機構により上昇させる。これにより、別のハニカム構造体を予備載置面３０３ａで支持することができる状態となる。
【００５５】
従って、本発明のハニカム構造体用載置台においては、上記予備載置面が上記構造体載置面より上方に位置する状態で上記ハニカム構造体を支持し、
さらに、上記昇降機構が上記予備載置面を少なくとも上記構造体載置面まで下降させることにより上記ハニカム構造体を上記構造体載置面に載置し、
上記予備載置面が、上記ハニカム構造体を支持しない状態で、上記昇降機構により少なくとも上記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇することが望ましい。
【００５６】
また、図３〜６に示したハニカム構造体用載置台３０１では、予備載置部材３０３が最下点まで下降した際には、予備載置面３０３ａと構造体載置面３０２ａとが同一平面をなすように構成されているが、本発明のハニカム構造体用載置台は、予備載置部材３０３が最下点まで下降した際に、予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａより下方にまで下降するように構成されていてもよい。
この場合、ハニカム構造体１３０を載置部材３０２に載置した際に、ハニカム構造体１３０の端面と予備載置面３０３ａとは非接触となるが、ハニカム構造体１３０の端面は、ハニカム構造体の端面の外周全体と接する構造体載置面３０２ａに接しているため、構造体載置面３０２ａ上にハニカム構造体１３０を安定に載置することができる。
このような構成のハニカム構造体用載置台でも、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａに欠けやクラック等を発生させることなく、ハニカム構造体１３０を載置することができる。
【００５７】
これまで、本発明のハニカム構造体用載置台として、予備載置部材を上下動させる昇降機構を備えたハニカム構造体用載置台を例に説明してきたが、本発明のハニカム構造体用載置台は、予備載置部材を上下動させる昇降機構に代えて、載置部材を上下動させる昇降機構を備えていてもよい。
このようなハニカム構造体用載置台について、図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）を参照しながら説明する。
【００５８】
図７（ａ）及び図８（ａ）は、それぞれ本発明のハニカム構造体用載置台の別の一例を模式的に示す斜視図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＤ−Ｄ線断面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＥ−Ｅ線断面図である。
なお、図７（ａ）、（ｂ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置する状態を示し、図８（ａ）、（ｂ）には、予備載置面が構造体載置面と同一平面をなす状態を示す。
【００５９】
図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）に示すように、載置部材３３２が上下動するハニカム構造体用載置台３３１は、載置部材３３２、予備載置部材３３３、並びに、金属プレート３３６、シリンダプレート３３７、ロッド３３８及びエアシリンダ３３９からなる昇降機構を備えている。
ここで、載置部材３３２は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３０１が備える載置部材３０２と同様の構成を有しており、予備載置部材３３３は、ハニカム構造体用載置台３０１が備える予備載置部材３０３と同様の構成を有している。そのため、ここでは、載置部材３３２及び予備載置部材３３３の詳細な説明は省略する。
【００６０】
ハニカム構造体用載置台３３１では、予備載置部材３３３は上下動せず、載置部材３３２が上下動するように構成されている。
具体的には、予備載置部材３３３の下部には角柱形状の脚部３３４の一端がその上面で固定されており、さらに、脚部３３４の他端近傍に固定脚３３５の一端が固定されている。従って、予備載置部材３３３は、固定脚３３５及び脚部３３４により、所定の高さに維持された状態で設置されていることとなる。
【００６１】
一方、載置部材３３２は、その底面に取り付けられた金属プレート３３６と一体化しており、金属プレート３３６が上下動すると載置部材３３２が上下動するように構成されている。
そして、金属プレート３３６の底面にはシリンダプレート３３７及びロッド３３８を通じてエアシリンダ３３９が取り付けられている。
なお、シリンダプレート３３７、ロッド３３８、及び、エアシリンダ３３９の構成は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３０１と同様である。また、金属プレート３３６は、ハニカム構造体用載置台３０１が備える金属プレートとは異なり、その中央部がくり抜かれていないが、固定脚３３５が貫通するための貫通孔が所定の箇所に形成されている。
従って、ハニカム構造体用載置台３３１は、載置部材３３２を上下動させる昇降機構を備えており、金属プレート３３６、シリンダプレート３３７、ロッド３３８及びエアシリンダ３３９が昇降機構として機能することとなる。
【００６２】
次に、図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）を参照しながら、ハニカム構造体用載置台３３１にハニカム構造体を載置する方法について簡単に説明する。
ハニカム構造体用載置台３３１にハニカム構造体を載置する際には、まず、エアシリンダ３３９を駆動させて、構造体載置面３３２ａが予備載置面３３３ａより下方に位置した状態（図７（ａ）、（ｂ）参照）とする。
次に、この状態にある予備載置面３３３ａでハニカム構造体を支持する。このとき、ハニカム構造体の端面の外周より内側に予備載置面３３３ａ全体が位置するようにハニカム構造体を支持する。
【００６３】
次に、載置部材３３２を図７（ａ）、（ｂ）に示した状態から図８（ａ）、（ｂ）に示した状態に移行させる。
即ち、予備載置面３３３ａより下方に位置した構造体載置面３３２ａが、予備載置面３３３ａと同一平面をなすように、載置部材３３２を昇降機構により上昇させる。
ここで、予備載置面３３３ａでハニカム構造体を支持しつつ、構造体載置面３３２ａが予備載置面３３３ａと同一平面をなす位置まで、載置部材３３２を上昇させることにより、ハニカム構造体が構造体載置面３３２ａ上に載置されることとなる。
この際、予備載置面３３３ａと構造体載置面３３２ａとは平行な平面であり、かつ、構造体載置面３３２ａがハニカム構造体の端面の外周全体と接する形状であるために、ハニカム構造体は、その端面外周に欠けやクラック等が発生することなく、載置部材３３２上に安定して載置されることとなる。
【００６４】
そして、ハニカム構造体を載置した後は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３０１の場合と同様に、ハニカム構造体の検査等を行い、その後、別の場所に移動させ、さらに、載置部材３３２を下降させることにより、別のハニカム構造体を予備載置面３３３ａで支持することができる状態とする。
このようなハニカム構造体用載置台３３１もまた、本発明のハニカム構造体用載置台の一実施形態である。
【００６５】
本発明のハニカム構造体用載置台において、上記ハニカム構造体の端面と上記予備載置面の外周形状とは、相似形であることが望ましい。
これらが相似形であると、ハニカム構造体を予備載置面で支持する際に、ハニカム構造体の端面外周が上記予備載置面に接触しない位置で、上記ハニカム構造体を支持することが容易だからである。
また、これらが相似形であると、より安定に予備載置面でハニカム構造体を支持することができるからである。
【００６６】
このような予備載置面を有する予備載置部材の形状は、特に限定されるものでないが、ハニカム構造体の端面が円形である場合には、図５に示すようなドーナツ形状のものを好適に用いることができる。
上述したとおり予備載置面の外周形状がハニカム構造体の端面と相似形であることが望ましく、ハニカム構造体を安定に支持することができるからである。
【００６７】
また、上記予備載置部材をドーナツ形状とすることで、上記予備載置部材の内側の部分にも構造体載置面が存在しうることとなる。そのため、上記予備載置面が上記構造体載置面と同一平面となるか、上記構造体載置面より低くなった際に、上記ドーナツ形状の内側の部分に存在する構造体載置面にもハニカム構造体の端面が接することとなり、これによりハニカム構造体をより安定に載置することができるからである。
【００６８】
また、上記予備載置部材の外周部や内周部には、面取りが施されていても良い。
このような面取りが施されていると、ハニカム構造体の端面と予備載置部材とが接触した際にハニカム構造体や予備載置部材に、破損や変形が発生するおそれがより少なくなるからである。上記面取りとしては、例えば、Ｃ面取り、Ｒ面取り等が挙げられる。
【００６９】
また、本発明のハニカム構造体用載置台では、図５に示したように、上記予備載置部材の下部に、上記予備載置面の重心を中心として放射状方向に、かつ、等間隔で取り付けられた脚部を備え、上記脚部と上記昇降機構とが連動することにより、上記予備載置部材が上下動することが望ましい。
【００７０】
このような脚部を備えていると、上記予備載置面でハニカム構造体を支持する際に、ハニカム構造体の重量が各脚部に均等に加わるため、ハニカム構造体を支持した際に特定の脚部に過大な負荷がかかることがなく、脚部の耐久性を向上させることができ、長期間にわたって使用可能なハニカム構造体用載置台とすることができる。
また、このような脚部の構成は、ハニカム構造体を予備載置面で支持する際に、上記予備載置面と上記構造体載置面とが平行な状態を維持するのに最も適した構成である。
【００７１】
また、本発明のハニカム構造体用載置台において、上記脚部の本数は特に限定されないが、３本以上であることが望ましい。
また、本発明のハニカム構造体用載置台は、上記脚部を必ずしも備えている必要はなく、例えば、図３（ａ）、（ｂ）に示した構成のハニカム構造体用載置台では、予備載置部材３０３が直接シャフト３０５に固定された構成であってもよいし、例えば、図７（ａ）、（ｂ）に示した構成のハニカム構造体用載置台では、予備載置部材３３３が固定脚３３５に直接固定された構成であってもよい。
【００７２】
上記載置部材の構成材料としては、上面を平坦な平面とすることができ、ハニカム構造体を安定的に載置できる強度を有する材料であれば特に限定されず、ステンレス（ＳＵＳ）、スチール、ニッケル合金等の金属、炭化ケイ素、タングステンカーバイド等のセラミック等が挙げられる。
また、このような材料で構成された載置部材の上面には樹脂、セラミック、金属等からなる被覆層が形成されていてもよい。上記被覆層の形成は、例えば、塗布及び硬化、メッキ、溶射等により行なうことができる。
また、上記載置部材の上面には研磨処理等の平坦化処理が施されていてもよい。
【００７３】
また、上記載置部材の上面は、ハニカム構造体の端面に接触する部分であるため、平滑な平面であることが望ましい。上記上面に突起等があるとハニカム構造体と構造体載置面が接触した際にハニカム構造体の端面に欠けやクラック等が発生するおそれがあるからである。
【００７４】
上記固定部の形状は、上記載置部材を所定の高さに維持した状態でその設置場所に設置できる形状を備えていれば特に限定されるものではない。
【００７５】
上記予備載置部材の構成材料としては、平坦な平面とすることができ、ハニカム構造体を安定的に支持できる強度を有する材料であれば特に限定されず、例えば、樹脂、金属、セラミック等が挙げられる。これらのなかでは樹脂が望ましい。
樹脂はその硬度が金属等に比べ低いため、ハニカム構造体の端面に欠けやクラック等が発生するおそれがより小さくなるからである。
また、上記樹脂としては、フッ素樹脂が望ましい。フッ素樹脂は他の樹脂に比べて離形性が高く、取り扱いが容易であるためである。
また、上記予備載置部材では、金属やセラミックからなる基材の表面に樹脂等からなる被覆層が形成されていても良い。
【００７６】
上記脚部の構成材料としては、ハニカム構造体を安定的に支持できる強度を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金属、セラミック、樹脂等が挙げられる。
また、その形状も特に限定されるものではなく、例えば、角柱形状、円柱形状、矩形板形状等のものを用いることができる。
【００７７】
上記シャフトや上記固定脚の構成材料としては、ハニカム構造体を安定的に支持できる強度を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金属、セラミック、樹脂等が挙げられる。
また、その形状も特に限定されるものではなく、角柱形状、円柱形状等のものを用いることができる。
【００７８】
また、上記金属プレートの底面に固定される上記シリンダプレート、及び、上記シリンダプレートに上記ロッドを介して取り付けられる上記シリンダの取り付け位置は特に限定されないが、上記金属プレートの中心に対して点対称となる位置であることが望ましい。金属プレートを滑らかに上下動させることができるからである。
また、上記シリンダプレートや、上記シリンダの取り付け個数は特に限定されないが、金属プレートを滑らかに上下動させることができる点から、３個以上であることが望ましい。
【００７９】
また、図３〜８で示したハニカム構造体用載置台の例では、上記昇降機構の構成部材としてエアシリンダを備えた例を示しているが、上記昇降機構の構成部材として用いられるシリンダはエアシリンダに限定されるものではなく、例えば、オイルシリンダ、電動シリンダ等を用いることもできる。
【００８０】
また、本発明のハニカム構造体用載置台は、その最下部に回転テーブルを備えていてもよい。即ち、図３〜６に示したハニカム構造体用載置台３０１全体や、図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３３１全体が回転テーブル上に載置され、上記構造体載置面がハニカム構造体を載置した状態で回転可能に構成されていてもよい。
後述するハニカム構造体の検査装置等においては、ハニカム構造体を載置した状態で、ハニカム構造体を回転させるハニカム構造体用載置台が求められることがあるからである。
【００８１】
次に、本発明のハニカム構造体の検査装置について説明する。
本発明のハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構と、
上記載置部材に載置された上記ハニカム構造体の外部形状及び内部形状のうち、少なくとも一方を検査する検査手段とを備え、
上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、
上記ハニカム構造体の端面と重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とする。
【００８２】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、検査対象のハニカム構造体を載置するためのハニカム構造体用載置台と、上記ハニカム構造体の外部形状や内部形状を検査する検査手段とを備えている。
このうち、上記ハニカム構造体用載置台としては、既に説明した本発明のハニカム構造体用載置台を好適に用いることができるので、その詳細な説明は省略し、ここでは、ハニカム構造体の外部形状や内部形状を検査する検査手段を中心に本発明のハニカム構造体の検査装置について説明する。
なお、本明細書において、ハニカム構造体の検査とは、その外部形状や内部形状の検査を行うことをいい、ハニカム構造体の検査装置とはハニカム構造体の外部形状や内部形状の検査を行うための装置をいうこととする。
【００８３】
上記検査手段としては、例えば、レーザ光や接触式測定子を用いた形状検査装置、熱画像法や浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置等を用いることができ、これらを用いることにより、ハニカム構造体の外部形状を検査することができる。
なお、本発明のハニカム構造体の検査装置で検査する上記ハニカム構造体の形状は、外部形状であることが望ましく、上記外部形状は、特に限定されるものでないが、ハニカム構造体の長手方向の長さ、最大径、真円度、直角度、平行度及び位置度のうちの少なくとも１つであることが望ましい。ハニカム構造体は、通常、ケーシング内に収納されて使用されるが、このとき外部形状が所定の形状を有しているか否かが重要であり、また、上記外部形状は、ハニカム構造体を製造する際にバラツキが生じやすい特性だからである。
【００８４】
以下、上記検査手段を備えたハニカム構造体の検査装置について、もう少し詳しく説明する。
まず、上記レーザ光を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
図９（ａ）は、レーザ光を用いた形状検査装置を備えた本発明のハニカム構造体の検査装置の一例を模式的に示す正面図であり、図９（ｂ）は、（ａ）に示したハニカム構造体の検査装置の上面図である。なお、図９（ａ）、（ｂ）では、検査対象を円柱形状のハニカム構造体としている。
また、図９（ｃ）は、（ｂ）と同様、（ａ）に示したハニカム構造体の検査装置の上面図である。ただし、図９（ｃ）では、楕円柱形状のハニカム構造体を検査対象としている。
【００８５】
図９（ａ）、（ｂ）に示すように、ハニカム構造体の検査装置４００は、本発明のハニカム構造体用載置台３０１と、光源を備えた２台のレーザ光照射装置４１１ａ、４１１ｂ及び受光部を備えた２台のレーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂとこれらを取り付ける支持部材４１５とからなる形状検査装置４１０とを備えている。
ハニカム構造体の検査装置４００では、ハニカム構造体用載置台３０１の上面に対して、４本の支持部材４１５が垂直に立設され、各支持部材４１５にレーザ光照射装置４１１ａ、４１１ｂ及びレーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂのいずれかが配設されている。ここで、レーザ光照射装置及びレーザ光受光装置は、１台のレーザ光照射装置４１１ａと１台のレーザ光受光装置４１２ａ、及び、１台のレーザ光照射装置４１１ｂと１台のレーザ光受光装置４１２ｂが、互いに対向するように配置され、かつ、それら２組が並ぶように配設されている。
そして、ハニカム構造体用載置台３０１は、検査対象物であるハニカム構造体１３０をハニカム構造体用載置台３０１に載置した際に、レーザ光照射装置４１１ａ、４１１ｂとレーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂとの間に配置されるように構成されている。
【００８６】
ハニカム構造体の検査装置４００では、レーザ光４１３は、レーザ光照射装置４１１ａ、４１２ａの前面に対して、一定の角度（例えば、９０°）で照射されるとともに、一定の範囲内で光源を平行移動させながら同じ角度で照射される。従って、レーザ光照射装置４１１ａ、４１２ａから照射したレーザ光は、障害物がなければ、レーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂの受光素子に届き、受光素子はレーザ光を検知する。一方、レーザ光４１３を照射した際、前方にハニカム構造体１３０が存在する場所では、レーザ光４１３が遮られるため、受光素子は、レーザ光を検知しない。
そして、レーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂの間隔は、一定（ｂｍｍ）に設定されている。
【００８７】
ここで、円柱形状のハニカム構造体を検査対象とする場合には、まず、ハニカム構造体用載置台３０１にハニカム構造体１３０を載置し、続いて、図９（ｂ）に示すように、レーザ光照射装置４１１ａよりレーザ光源を平行移動させながらレーザ光４１３を照射した際に、受光素子に光が届かなかった幅をａｍｍ、レーザ光照射装置４１１ｂよりレーザ光源を平行移動させながら照射した際に、受光素子に光が届かなかった幅をｃｍｍとして検出する。そうすると、円柱形状のハニカム構造体１３０の直径Ｄは、ａ＋ｂ＋ｃ（ｍｍ）となる。
そして、円柱形状のハニカム構造体１３０を断続的に回転させながら、上記測定を１回転（３６０°回転）するまで複数回行い、さらに、測定する部分の高さを変更して上記測定を行う。その後、得られた各測定点での直径の平均値を算出することにより、ハニカム構造体の直径とする。
このように、ハニカム構造体の検査装置４００を用いることにより、ハニカム構造体の外部形状の一つである直径を測定することができる。
なお、ハニカム構造体用載置台３０１は、図示していないが、載置部材及び予備載置部材を回転させる回転テーブルを最下部に備えている。
【００８８】
一方、図９（ｃ）に示すように、長径と短径とが存在する楕円柱形状のハニカム構造体１３０′を検査対象とする場合には、上記原理により、レーザ光４１３が遮られる部分の幅に基づいて、その幅を測定し、最も長い値を長径とし、最も短い値を短径とする。ハニカム構造体１３０′は、３６０°回転するので、同じ幅（長径と短径と）の部分を２度測定することとなる。そして、この測定を、照射するレーザ光４１３の高さを変えながら行い、得られた各測定点での長径、短径の値の平均値の算出値を算出することにより、ハニカム構造体の長径、短径を測定することができる。
【００８９】
さらに、以上のようにして測定した直径、又は、長径及び短径の測定結果より、ハニカム構造体の最大経や真円度を算出することができる。
また、照射するレーザ光４１３の高さを変えて測定して得られた直径、又は、長径及び短径の測定結果より、ハニカム構造体の直角度を算出することができる。
【００９０】
上記形状検査装置４００において、上記レーザ光としては特に限定されず、例えば、ＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザ、エキシマレーザ等が挙げられる。
レーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂに設けられる受光素子としては特に限定されず、既知の受光素子を使用することができる。
【００９１】
また、図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示したハニカム構造体の検査装置４００は、ハニカム構造体を検査する際に、ハニカム構造体を回転させるように構成されているものであるが、２組のレーザ光照射装置とレーザ光受光装置を備えた本発明のハニカム構造体の検査装置は、上記レーザ光照射装置と上記レーザ光受光装置とがハニカム構造体を挟んで対向配置した状態で上記ハニカム構造体の周囲を回転して、上記受光装置がレーザ光を受光した領域を計測することによりハニカム構造体の直径等を測定することができるように、構成されていてもよい。
【００９２】
次に、接触式測定子を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
図１０（ａ）、（ｂ）は、接触式測定子を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置の一例を模式的に示す概念図でなる。なお、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、同一の検査装置を示すが、検査対象が異なっている。
また、図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）に示したハニカム構造体の検査装置の部分拡大断面図である。
【００９３】
図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、ハニカム構造体の検査装置４０１は、本発明のハニカム構造体用載置台３０１と、円盤４２１の下面に多数の略棒形状の接触式測定子４２２が設けられるとともに、これらの接触式測定子４２２からのデータを送信するため、及び、円盤４２１等を支持するために、円盤４２１の中央に、円柱形状の接続部４２３が接続された形状検査装置４２０とを備えている。
また、接触式測定子４２２は、図１０（ｃ）に示すように、可変部４２２ａと先端部４２２ｂとからなり、先端部４２２ｂが検査対象物と接触した後に押されて可変部４２２ａが縮んだ長さを検出できるように構成されている。
【００９４】
図示はしないが、接続部４２３の他端は、昇降が可能なステッピングモータとボールネジとを含む昇降部材に結合しており、このステッピングモータの回転により形状検査装置４２０が昇降するように構成されている。
そして、このステッピングモータの回転位置を検出することで、円盤４２１を含む形状検査装置４２０全体が移動した距離を算出することができる。
【００９５】
従って、全ての接触式測定子４２２が接触を検出した際のステッピングモータの回転位置を検出し、さらに、接触式測定子４２２が検査対象物に接触して可変部４２２ａが縮んだ長さを検出することによって、各接触式測定子がそれぞれ接触した部位の位置を算出することができる。
【００９６】
以下、ハニカム構造体の検査装置４０１を用いて、ハニカム構造体の形状を検査する方法について説明する。
ハニカム構造体の検査装置４０１を用いて、ハニカム構造体の形状検査を行う際には、まず、ハニカム構造体の検査に先立ち、図１０（ａ）に示すように、標準サンプルＳを用いて０点を補正する。
ここで、０点補正とは、基準面と接触式測定子４２２とを含む測定系において、基準面に対する接触式測定子の原点位置を決定する操作である。
なお、基準面とはハニカム構造体を載置する面、即ち、構造体載置面である。
【００９７】
標準サンプルＳとしては、その端面同士が平行であり、端面間の長さ（高さ）がＬ０であるように校正されている柱形状のサンプルを用いる。
０点補正の手順としては、まず、図１０（ａ）に示すように、標準サンプルＳの一方の端面をハニカム構造体用載置台３０１に載置する。
次いで、標準サンプルＳの他方の端面に全ての接触式測定子４２２を接触させて、各接触式測定子が接触した部位の位置を算出する。
この際、基準面と各接触式測定子４２２との間隔は全てＬ０となるので、この位置を各接触式測定子４２２の原点位置として記録する。
以上の手順によって、形状検査装置４２０の０点補正を行う。
【００９８】
続いて、検査対象物であるハニカム構造体について形状検査を行う。
まず、標準サンプルＳに代えて、図１０（ｂ）に示すように、検査対象物であるハニカム構造体１３０の一方の端面をハニカム構造体用載置台３０１に載置する。
次いで、形状検査装置４２０を下降させて接触式測定子４２２をハニカム構造体１３０の他方の端面（ハニカム構造体用載置台に接した側と反対側の端面）に接触させる。この際、上記端面よりも高い位置から形状検査装置４２０を徐々に下降させて、全ての接触式測定子４２２を上記端面に接触させる。
そして、全ての接触式測定子４２２が上記端面と接触した際の各接触式測定子４２２の基準面からの距離Ｌは、原点位置から形状検査装置４２０が移動した距離をＸ、接触式測定子が縮んだ長さをＹとすると、Ｌ＝（Ｌ０−Ｘ＋Ｙ）となる。
このＬを各接触式測定子４２２それぞれについて算出し、記録する。
このようにして算出したＬを、各接触式測定子が接触した位置におけるハニカム構造体の長手方向の長さということとする。
【００９９】
さらに、上記手順で算出した各接触式測定子が接触した位置におけるハニカム構造体の長手方向の長さＬから、端面の平行度及び位置度を測定することができる。
なお、上記平行度とは、測定子が接触する側の各ハニカム構造体の端面の全てが、ある平面に平行な二平面の間に存在するように挟んだときの上記二平面の間隔であり、また、上記位置度とは、ある平面と平行な基準平面であって、ある平面から所定値（例えば、長手方向の長さを複数計測したときのそれらの平均値等）の分だけ離れた位置にある基準平面を設定したとき、この基準平面に対して対称な平行二平面の間に、測定子が接触する側の各ハニカム構造体の端面の全てが存在するように挟んだときの、平行二平面の間隔である（ＪＩＳ Ｂ ０６２１参照）。
【０１００】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、上記レーザ光を用いた形状検査装置及び上記接触式測定子を用いた形状検査装置の両者を備えており、レーザ光を用いてハニカム構造体の最大径等を測定すると同時に、接触式測定子を用いてハニカム構造体の長手方向の長さ等を測定することができるように構成されていてもよい。
【０１０１】
次に、上記熱画像法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
上記熱画像法は、ハニカム構造体に適当な方法で温度場を与えながら、サーモグラフィによってハニカム構造体表面の温度分布を測定し、その温度分布を表示する画像から欠陥の有無を判定する方法であり、この方法では、ハニカム構造体の表面欠陥を検出することができる。
【０１０２】
上記熱画像法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台と、温度場を与えるための機構及び温度分布を測定及び表示するためのサーモグラフィからなる欠陥検査装置とを備えている。
上記温度場を与えるための機構は特に限定されるものではなく、例えば、ヒーターや冷却管、熱風吹き付け装置や、冷風吹き付け装置等が挙げられる。
これらの温度場を与えるための機構は、本発明のハニカム構造体用載置台に配設されていてもよいし、別途配設されていてもよい。
【０１０３】
そして、このような本発明のハニカム構造体の検査装置において、熱画像法によりハニカム構造体の欠陥を検査する場合には、ハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置した後、上記ハニカム構造体に温度場を与えながら、サーモグラフィによってその表面の温度分布を測定すればよい。これにより、ハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。
【０１０４】
次に、上記浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
上記浸透探傷検査は、ハニカム構造体の表面（主に側面）に浸透液を塗布、噴霧等することにより、その表面欠陥中に浸透液を浸透させ、ハニカム構造体の表面に付着した余計な浸透液を洗浄、除去した後に、現像剤を適用し、可視的に明瞭に強調された欠陥による浸透指示模様から表面欠陥の有無を判定する検査であり（ＪＩＳ Ｚ ２３４３−１〜ＪＩＳ Ｚ ２３４３−４参照）、この検査では、ハニカム構造体の表面欠陥を検出することができる。
【０１０５】
上記浸透探傷検査としては、染色浸透探傷検査や蛍光浸透探傷検査を用いることができ、上記染色浸透探傷検査では、ハニカム構造体の表面に欠陥が存在すると、現像剤を適用した際に、ハニカム構造体の表面に存在する欠陥の部位に着色模様が形成されることとなり、その模様からハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。また、上記蛍光浸透探傷検査では、ハニカム構造体の表面に欠陥が存在すると、ハニカム構造体の表面に紫外線等の励起光を照射した際に、欠陥が存在する部位に蛍光模様が発現することとなり、その模様からハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。なお、蛍光浸透探傷検査では、場合によっては現像処理を省略してもよい。
【０１０６】
なお、ハニカム構造体は、主に多孔質セラミックからなるものであるため、このハニカム構造体の検査装置で検査対象となるハニカム構造体は、その側面に緻密なコート層が形成されているハニカム構造体であり、欠陥の有無を検査する対象部位は、上記コート層の表面となる。
【０１０７】
上記浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台とともに、浸透液供給機構、浸透液除去機構及び現像液供給機構を有する浸透探傷検査装置を備えている。
また、浸透探傷検査として、蛍光浸透探傷検査を行う場合には、浸透探傷検査装置は、さらにブラックライト等の励起光光源を備えている。
【０１０８】
そして、このような本発明のハニカム構造体の検査方法において、上記染色浸透探傷検査によりハニカム構造体の欠陥を検査する場合には、ハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置した後、まず、ハニカム構造体の側面に浸透液の噴霧等を行い、続いて、余分な浸透液（ハニカム構造体の表面欠陥に浸透しなかった浸透液）を除去し、さらに、現像剤により現像処理を行い、最後に目視観察等によりハニカム構造体の側面の模様を観察することによりハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。
また、上記蛍光浸透探傷検査を行う場合には、余分な浸透液の除去までを上記染色浸透探傷検査と同様の方法で行い、必要に応じて、上記現像処理を行なった後、さらに、紫外線等の励起光をハニカム構造体の側面に照射することにより、ハニカム構造体の表面に蛍光模様を発現させ、それを目視等により観察する。
これにより、ハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。
【０１０９】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、検査手段として拡大顕微鏡等を備えたものであってもよい。本発明のハニカム構造体の検査装置がハニカム構造体用載置台とともに拡大顕微鏡等を備えていると、上記拡大顕微鏡等を用いた目視検査により、ハニカム構造体の外部形状を検査することができる。
【０１１０】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、検査手段としてハニカム構造体の端面全体又は所定の一部のセルに光を照射するための光源と受光部を備えたものであってもよい。このようなハニカム構造体の検査装置を用いると、セルの目封じされていない側の端部からセル内に光を入射して、セルの目封じされた側の端部（以下、封止部ともいう）から外部に漏れる光を受光部で検出することにより、ハニカム構造体の外部形状である封止部の形状を検査することができる。
【０１１１】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、検査手段としてハニカム構造体の内部形状を検査するための装置を備えていてもよい。
内部形状を検査するための手段としては、例えば、音響信号法を用いた欠陥検査装置等を用いることができる。これを用いた場合には、ハニカム構造体の内部形状を検査することができる。
【０１１２】
上記音響信号法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
上記音響信号法は、ハニカム構造体に入射され、ハニカム構造体を伝播した音響信号の情報に基づいてハニカム構造体の内部欠陥を検査する方法であり、この方法では、ハニカム構造体の欠陥部分を音響信号が伝播した場合、欠陥部分を伝播した音響信号は、欠陥のない部分を伝播した音響信号に対し変質したものとなるため、欠陥の有無の情報を有する音響信号を情報処理装置によって処理することで、ハニカム構造体の欠陥を検出することができる。
【０１１３】
上記音響信号法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台と、音響信号をハニカム構造体に入射する発信側探触子と、ハニカム構造体を伝播した音響信号を受信する受信側探触子と、上記受信側探触子で受信した音響信号情報処理に基づいて欠陥の有無を判別する情報処理装置とからなる欠陥検査装置とを備えている。
【０１１４】
そして、このような本発明のハニカム構造体の検査装置において、音響信号法によりハニカム構造体の欠陥を検査する場合には、ハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置した後、上記発信側探触子から受信側探触子に音響信号を発信し、上記受信側探触子で受信した音響信号の情報を上記情報処理装置で処理することにより、ハニカム構造体の内部欠陥の有無を判別する。これにより、ハニカム構造体の内部欠陥の有無を検査することができる。
【０１１５】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、以上説明したように、レーザ光や接触式測定子を用いた形状検査装置、熱画像法や浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置等の上記ハニカム構造体の外部形状を検査する検査手段や、音響信号法を用いた欠陥検査装置等の上記ハニカム構造体の内部形状を検査する検査手段を備えたものであるが、本発明のハニカム構造体の検査装置では、これらの検査手段を１つのみ備えていてもよく、２つ以上備えていてもよい。
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体の内部形状及び外部形状のうちのいずれか一方を検査するものであってもよいし、両方を検査するものであってもよい。
【０１１６】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、これまで説明したようなハニカム構造体の外部形状や内部形状を検査する検査装置として用いることができるほか、製造工程途中のハニカム構造体の外部形状及び内部形状の少なくとも一方を検査する検査装置、又は、触媒を付与する前又は付与した後のハニカム構造体の機能を評価する評価装置としても用いることができる。
【０１１７】
製造工程途中のハニカム構造体の形状を検査するための検査装置の一例としては、上述したような封止部の形状を検査するための検査装置等を挙げることができ、また、ハニカム構造体の機能を評価する評価装置の一例としては、ハニカム構造体のセルにガスを流通させて、上記セルへの入口側と出口側における上記ガスの圧力を測定して、その差圧（圧力損失）を算出することにより排ガス浄化フィルタとしての機能を備えているかを確認することのできる評価装置等を挙げることができる。
【０１１８】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台を備えており、既に説明したように、上記ハニカム構造体用載置台は、上記予備載置面が上記構造体載置面より上方に位置する状態で、上記ハニカム構造体を支持し、
さらに、上記昇降機構が上記予備載置面を少なくとも上記構造体載置面まで下降させることにより上記ハニカム構造体を上記構造体載置面に載置し、
上記昇降機構が上記ハニカム構造体を支持しない状態の予備載置面を、少なくとも上記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇させることが望ましい。
また、上記ハニカム構造体の検査装置において、上記ハニカム構造体の端面と上記予備載置面の外周形状とは、相似形であることが望ましい。
また、本発明のハニカム構造体の検査装置においては、上記予備載置面がドーナツ形状であり、
上記予備載置面の中央部にも上記構造体載置面が配置されることが望ましい。
また、上記ハニカム構造体の検査装置は、上記予備載置部材の下部に、上記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
上記脚部と上記昇降機構とが連動することにより、上記予備載置部材が上下動することが望ましい。
【０１１９】
このように、本発明のハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台を備えているため、上記ハニカム構造体の検査装置にハニカム構造体を載置する際には、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃を加えることなくハニカム構造体の端面外周を構造体載置面に接触させてハニカム構造体を構造体載置面上に載置することができる。
従って、本発明のハニカム構造体の検査装置によると、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなく、ハニカム構造体の形状検査を行うことができる。
【０１２０】
次に、本発明のハニカム構造体用載置台に載置するハニカム構造体について説明する。
上記ハニカム構造体は、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設されたハニカム成形体を焼成したハニカム焼成体からなるものであればよく、その具体例としては、例えば、既に図１１、１２（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体１３０等が挙げられる。
【０１２１】
図１１は、このようなハニカム構造体の一例を模式的に示す斜視図であり、図１２（ａ）は、上記ハニカム構造体を構成するハニカム焼成体を模式的に示す斜視図であり、図１２（ｂ）は、そのＡ−Ａ線断面図である。
【０１２２】
ハニカム構造体１３０では、図１２に示すようなハニカム焼成体１４０がシール材層（接着剤層）１３１を介して複数個結束されてセラミックブロック１３３を構成し、さらに、このセラミックブロック１３３の外周にシール材層（コート層）１３２が形成されている。
また、ハニカム焼成体１４０は、図１２に示すように、長手方向（図１２（ａ）中、矢印ａの方向）に多数のセル１４１が並設され、セル１４１同士を隔てるセル壁１４３がフィルタとして機能するようになっている。
【０１２３】
即ち、ハニカム焼成体１４０に形成されたセル１４１は、図１２（ｂ）に示すように、排ガスの入口側又は出口側の端部のいずれかが封止材層１４２により目封じされる。一のセル１４１に流入した排ガスは、必ずセル１４１を隔てるセル壁１４３を通過した後、他のセル１４１から流出するようになっており、排ガスがこのセル壁１４３を通過する際、パティキュレートがセル壁１４３部分で捕捉され、排ガスが浄化される。
【０１２４】
また、上記ハニカム構造体は、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された柱状のハニカム成形体を焼成し、得られたハニカム焼成体がシール材層（接着剤層）を介して複数個結束されたハニカム構造体（図１１、１２（ａ）、（ｂ）参照）に限定されず、例えば、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設されたハニカム成形体を焼成して得られる一のハニカム焼結体からなる柱状のハニカム構造体であってもよい。
なお、本明細書において、前者のハニカム焼成体がシール材層（接着剤層）を介して複数個結束されたハニカム構造体を集合型ハニカム構造体、後者の一のハニカム焼結体からなる柱状のハニカム構造体を一体型ハニカム構造体という。
【０１２５】
また、上記ハニカム構造体の形状は、図１１に示したハニカム構造体１３０のような円柱形状に限定されず、任意の形状の底面を有する柱形状であればよい。その具体的な形状は、円柱形状以外に、例えば、三角柱形状、四角柱形状、六角柱形状の多角柱形状、楕円柱形状、長円柱形状等が挙げられる。
また、上記ハニカム構造体のセルの形状は、ハニカム構造体１３０のように、必ずしも一様である必要はなく、端部の形状や大きさが異なる２種類以上のセルを備えていてもよい。
【０１２６】
また、上記ハニカム構造体は、ハニカム構造体１３０のように、必ずしもセルのいずれか一方の端部が封止されていなくてもよい。即ち、セルの両端部がともに外部に開放されていてもよい。
なお、セルのいずれか一方の端部が封止されたハニカム構造体は、ハニカムフィルタとして好適に使用することができ、セルの両端部が開放されたハニカム構造体は、触媒担体として好適に使用することができる。
【０１２７】
また、上記ハニカム構造体の構成材料の主成分としては、例えば、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化チタン等の窒化物セラミック、炭化ケイ素、炭化ジルコニウム、炭化チタン、炭化タンタル、炭化タングステン等の炭化物セラミック、アルミナ、ジルコニア、コージェライト、ムライト、チタン酸アルミニウム等の酸化物セラミック等が挙げられる。
これらのなかでは、非酸化物セラミックが好ましく、炭化ケイ素が特に好ましい。耐熱性、機械強度、熱伝導率等に優れるからである。なお、上述したセラミックに金属ケイ素を配合したケイ素含有セラミック、ケイ素やケイ酸塩化合物で結合されたセラミック等のセラミック原料も構成材料として挙げられ、これらのなかでは、炭化ケイ素に金属ケイ素が配合されたもの（ケイ素含有炭化ケイ素）が望ましい。
特に、上記集合型ハニカム構造体の構成材料の主成分としては、上記炭化ケイ素や上記ケイ素含有炭化ケイ素が望ましく、上記一体型ハニカム構造体の構成材料の主成分としては、コージェライトやチタン酸アルミニウムが望ましい。
【０１２８】
次に、上記ハニカム構造体の製造方法について工程順に説明する。
ここでは、構成材料の主成分が炭化ケイ素のハニカム構造体を製造する場合を例に説明する。なお、最初に集合型ハニカム構造体の製造方法について説明する。
まず、平均粒子径の異なる炭化ケイ素粉末等の無機粉末と有機バインダとを乾式混合して混合粉末を調製するとともに、液状の可塑剤と潤滑剤と水とを混合して混合液体を調製し、続いて、上記混合粉末と上記混合液体とを湿式混合機を用いて混合することにより、成形体製造用の湿潤混合物を調製する。
【０１２９】
上記炭化ケイ素粉末の粒径は特に限定されないが、後の焼成工程で収縮の少ないものが好ましく、例えば、０．３〜５０μｍの平均粒径を有する粉末１００重量部と０．１〜１．０μｍの平均粒径を有する粉末５〜６５重量部とを組み合わせたものが好ましい。
ハニカム焼成体の気孔径等を調節するためには、焼成温度を調節する必要があるが、炭化ケイ素粉末の粒径を調節することにより、気孔径を調節することができる。
【０１３０】
上記有機バインダとしては特に限定されず、例えば、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ポリエチレングリコール等が挙げられる。これらのなかでは、メチルセルロースが望ましい。
上記バインダの配合量は、無機粉末１００重量部に対して、１〜１０重量部が望ましい。
【０１３１】
上記可塑剤としては特に限定されず、例えば、グリセリン等が挙げられる。
また、上記潤滑剤としては特に限定されず、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシプロピレンアルキルエーテル等のポリオキシアルキレン系化合物等が挙げられる。
潤滑剤の具体例としては、例えば、ポリオキシエチレンモノブチルエーテル、ポリオキシプロピレンモノブチルエーテル等が挙げられる。
なお、可塑剤、潤滑剤は、場合によっては、混合原料粉末に含まれていなくてもよい。
【０１３２】
また、上記湿潤混合物を調製する際には、分散媒液を使用してもよく、上記分散媒液としては、例えば、水、ベンゼン等の有機溶媒、メタノール等のアルコール等が挙げられる。
さらに、上記湿潤混合物中には、成形助剤が添加されていてもよい。
上記成形助剤としては特に限定されず、例えば、エチレングリコール、デキストリン、脂肪酸、脂肪酸石鹸、ポリアルコール等が挙げられる。
【０１３３】
さらに、上記湿潤混合物には、必要に応じて酸化物系セラミックを成分とする微小中空球体であるバルーンや、球状アクリル粒子、グラファイト等の造孔剤を添加してもよい。
上記バルーンとしては特に限定されず、例えば、アルミナバルーン、ガラスマイクロバルーン、シラスバルーン、フライアッシュバルーン（ＦＡバルーン）、ムライトバルーン等を挙げることができる。これらのなかでは、アルミナバルーンが望ましい。
【０１３４】
また、ここで調製した、炭化ケイ素粉末を用いた湿潤混合物は、その温度が２８℃以下であることが望ましい。温度が高すぎると、有機バインダがゲル化してしまうことがあるからである。
また、上記湿潤混合物中の有機分の割合は１０重量％以下であることが望ましく、水分の含有量は８．０〜２０．０重量％であることが望ましい。
【０１３５】
上記湿潤混合物は、調製後搬送され、成形機に投入されることとなる。
上記搬送装置で搬送された湿潤混合物を押出成形機に投入した後は、押出成形により所定の形状のハニカム成形体とする。
次に、上記ハニカム成形体を、マイクロ波乾燥機、熱風乾燥機、誘電乾燥機、減圧乾燥機、真空乾燥機、凍結乾燥機等を用いて乾燥させ、乾燥させたハニカム成形体とする。
【０１３６】
次いで、必要に応じて、入口側セル群の出口側の端部、及び、出口側セル群の入口側の端部に、封止材となる封止材ペーストを所定量充填し、セルを目封じする。このセルの目封じの際には、ハニカム成形体の端面（即ち、切断工程後の切断面）に目封じ用のマスクを当てて、目封じの必要なセルにのみ封止材ペーストを充填する。
【０１３７】
上記封止材ペーストとしては特に限定されないが、後工程を経て製造される封止材の気孔率が３０〜７５％となるものが望ましく、例えば、上記湿潤混合物と同様のものを用いることができる。
【０１３８】
上記封止材ペーストの充填は、必要に応じて行なえばよく、上記封止材ペーストを充填した場合には、例えば、後工程を経て得られたハニカム構造体をセラミックフィルタとして好適に使用することができ、上記封止材ペーストを充填しなかった場合には、例えば、後工程を経て得られたハニカム構造体を触媒担持体として好適に使用することができる。
【０１３９】
次に、上記封止材ペーストが充填されたハニカム成形体を、所定の条件で脱脂（例えば、２００〜５００℃）に次いで、焼成（例えば、１４００〜２３００℃）することにより、全体が一の焼成体から構成され、複数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設され、かつ、上記セルのいずれか一方の端部が封止されたハニカム焼成体（図１２（ｂ）参照）を製造することができる。
なお、上記ハニカム成形体の脱脂及び焼成の条件は、従来から多孔質セラミックからなるフィルタを製造する際に用いられている条件を適用することができる。
【０１４０】
次に、ハニカム焼成体の側面に、シール材層（接着剤層）となるシール材ペーストを均一な厚さで塗布してシール材ペースト層を形成し、このシール材ペースト層の上に、順次他のハニカム焼成体を積層する工程を繰り返し、所定の大きさのハニカム焼成体の集合体を作製する。
【０１４１】
上記シール材ペーストとしては、例えば、無機バインダと有機バインダと無機繊維及び／又は無機粒子とからなるもの等が挙げられる。
上記無機バインダとしては、例えば、シリカゾル、アルミナゾル等を挙げることができる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。上記無機バインダのなかでは、シリカゾルが望ましい。
【０１４２】
上記有機バインダとしては、例えば、ポリビニルアルコール、メチルセルロース、エチルセルロース、カルボキシメチルセルロース等を挙げることができる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。上記有機バインダのなかでは、カルボキシメチルセルロースが望ましい。
【０１４３】
上記無機繊維としては、例えば、シリカ−アルミナ、ムライト、アルミナ、シリカ等のセラミックファイバー等を挙げることができる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。上記無機繊維のなかでは、アルミナファイバが望ましい。
【０１４４】
上記無機粒子としては、例えば、炭化物、窒化物等を挙げることができ、具体的には、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化ホウ素からなる無機粉末等を挙げることができる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。上記無機粒子のなかでは、熱伝導性に優れる炭化ケイ素が望ましい。
【０１４５】
さらに、上記シール材ペーストには、必要に応じて酸化物系セラミックを成分とする微小中空球体であるバルーンや、球状アクリル粒子、グラファイト等の造孔剤を添加してもよい。
上記バルーンとしては特に限定されず、例えば、アルミナバルーン、ガラスマイクロバルーン、シラスバルーン、フライアッシュバルーン（ＦＡバルーン）、ムライトバルーン等を挙げることができる。これらのなかでは、アルミナバルーンが望ましい。
【０１４６】
次に、このハニカム焼成体の集合体を加熱してシール材ペースト層を乾燥、固化させてシール材層（接着剤層）とする。
次に、ダイヤモンドカッター等を用い、ハニカム焼成体がシール材層（接着剤層）を介して複数個接着されたハニカム焼成体の集合体に切削加工を施し、円柱形状のセラミックブロックを作製する。
【０１４７】
そして、セラミックブロックの外周に上記シール材ペーストを用いてシール材層（コート材層）を形成することで、ハニカム焼成体がシール材層（接着剤層）を介して複数個接着された円柱形状のセラミックブロックの外周部にシール材層（コート材層）が設けられたハニカム構造体とすることができる。
【０１４８】
また、上記ハニカム構造体の製造方法では、この後、必要に応じて、ハニカム構造体に触媒を担持させてもよい。また、上記触媒の担持は、集合体を作製する前のハニカム焼成体に行ってもよい。
触媒を担持させる場合には、ハニカム構造体の表面に高い比表面積のアルミナ膜を形成し、このアルミナ膜の表面に助触媒、及び、白金等の触媒を付与することが望ましい。
【０１４９】
上記ハニカム構造体の表面にアルミナ膜を形成する方法としては、例えば、Ａｌ（ＮＯ３）３等のアルミニウムを含有する金属化合物の溶液をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法、アルミナ粉末を含有する溶液をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法等を挙げることができる。
上記アルミナ膜に助触媒を付与する方法としては、例えば、Ｃｅ（ＮＯ３）３等の希土類元素等を含有する金属化合物の溶液をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法等を挙げることができる。
上記アルミナ膜に触媒を付与する方法としては、例えば、ジニトロジアンミン白金硝酸溶液（［Ｐｔ（ＮＨ３）２（ＮＯ２）２］ＨＮＯ３、白金濃度４．５３重量％）等をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法等を挙げることができる。
また、予め、アルミナ粒子に触媒を付与して、触媒が付与されたアルミナ粉末を含有する溶液をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法で触媒を付与してもよい。
【０１５０】
ここまで説明したハニカム構造体の製造方法は、集合型ハニカム構造体の製造方法である。
以下、一体型ハニカム構造体の製造方法について説明する。
【０１５１】
このような一体型ハニカム構造体を製造する場合は、まず、押出成形により成形するハニカム成形体の大きさが、集合型ハニカム構造体を製造する場合に比べて大きい以外は、集合型ハニカム構造体を製造する場合と同様の方法を用いて、ハニカム成形体を作製する。
【０１５２】
次に、集合型ハニカム構造体の製造と同様に、上記ハニカム成形体を、マイクロ波乾燥機、熱風乾燥機、誘電乾燥機、減圧乾燥機、真空乾燥機、凍結乾燥機等を用いて乾燥させる。
次いで、乾燥させたハニカム成形体の両端部を切断する切断工程を行なう。
【０１５３】
次に、入口側セル群の出口側の端部、及び、出口側セル群の入口側の端部に、封止材となる封止材ペーストを所定量充填し、セルを目封じする。
その後、集合型ハニカム構造体の製造と同様に、脱脂、焼成を行なうことによりセラミックブロックを製造し、必要に応じて、シール材層（コート材層）の形成を行なうことにより、一体型ハニカム構造体を製造することができる。また、上記一体型ハニカム構造体にも、上述した方法で触媒を担持させてもよい。
【０１５４】
このようにして製造したハニカム構造体は、本発明のハニカム構造体用載置台に載置するハニカム構造体となり、また、本発明のハニカム構造体の検査装置における検査対象となる。
【実施例】
【０１５５】
以下に実施例を掲げ、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。
本実施例では、まず、下記の方法によりハニカム構造体を作製し、そのハニカム構造体を実施例１〜６及び比較例１〜３の手法により検査した。
【０１５６】
（ハニカム構造体の製造）
平均粒径１０μｍのα型炭化ケイ素粉末２５０ｋｇと、平均粒径０．５μｍのα型炭化ケイ素粉末１００ｋｇと、有機バインダ（メチルセルロース）２０ｋｇとを混合し、混合粉末を調製した。
次に、別途、潤滑剤（日本油脂社製 ユニルーブ）１２ｋｇと、可塑剤（グリセリン）５ｋｇと、水６５ｋｇとを混合して液体混合物を調製し、この液体混合物と混合粉末とを湿式混合機を用いて混合し、湿潤混合物を調製した。
【０１５７】
次に、搬送装置を用いて、この湿潤混合物を押出成形機に搬送し、押出成形機の原料投入口に投入した。
そして、押出成形により、セルの端部が封止されていないこと以外は、図１２（ａ）、（ｂ）に示した形状と同様の形状の成形体を作製した。
【０１５８】
次に、マイクロ波乾燥機等を用いて上記成形体を乾燥させた後、上記湿潤混合物と同様の組成の封止材ペーストを所定のセルに充填した。
次いで、再び乾燥機を用いて乾燥させた後、４００℃で脱脂し、常圧のアルゴン雰囲気下２２００℃、３時間で焼成を行なうことにより、気孔率が４０％、平均気孔径が１２．５μｍ、その大きさが３４．３ｍｍ×３４．３ｍｍ×２５４ｍｍ、セルの数（セル密度）が４６．５個／ｃｍ２、セル壁の厚さが０．２０ｍｍの炭化ケイ素焼結体からなるハニカム焼成体を製造した。
【０１５９】
平均繊維長２０μｍのアルミナファイバ３０重量％、平均粒径０．６μｍの炭化ケイ素粒子２１重量％、シリカゾル１５重量％、カルボキシメチルセルロース５．６重量％、及び、水２８．４重量％を含む耐熱性のシール材ペーストを用いてハニカム焼成体を多数接着させ、さらに、１２０℃で乾燥させ、続いて、ダイヤモンドカッターを用いて切断することにより、シール材層（接着剤層）の厚さ１ｍｍの円柱形状のセラミックブロックを作製した。
【０１６０】
次に、無機繊維としてシリカ−アルミナファイバ（平均繊維長１００μｍ、平均繊維径１０μｍ）２３．３重量％、無機粒子として平均粒径０．３μｍの炭化ケイ素粉末３０．２重量％、無機バインダとしてシリカゾル（ゾル中のＳｉＯ２の含有率：３０重量％）７重量％、有機バインダとしてカルボキシメチルセルロース０．５重量％及び水３９重量％を混合、混練してシール材ペーストを調製した。
【０１６１】
次に、上記シール材ペーストを用いて、ハニカムブロックの外周部に厚さ０．２ｍｍのシール材ペースト層を形成した。そして、このシール材ペースト層を１２０℃で乾燥して、外周にシール材層（コート層）が形成された直径１４３．８ｍｍ×長さ２５４ｍｍの円柱形状のハニカム構造体を作製した。
【０１６２】
（実施例１）
上記手順で作製したハニカム構造体１００個について、図３〜６に示したハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、レーザ光を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置（図９（ａ）〜（ｃ）参照）を用いてハニカム構造体の外部形状を検査した。
【０１６３】
ハニカム構造体用載置台３０１の具体的な構成は以下の通りである。
載置部材３０２は、上面に予備載置部材用溝部３１０及び脚部用溝部３１１を有する円板状で、上面の直径が２５０ｍｍである。従って、構造体載置面３０２ａがハニカム構造体の端面の外周全体と接する形状である。
予備載置部材３０３は、ドーナツ形状で、その幅が１５ｍｍ、外側の円周の直径が１００ｍｍ、内側の円周の直径が７０ｍｍである。これは、予備載置面３０３ａをハニカム構造体の端面と重ね合わせると、その外周全体がハニカム構造体の端面の外周より内側に存在する形状である。また、予備載置部材３０３の上面は平坦化されており、予備載置面３０３ａと構造体載置面３０２ａは平行になるように設置されている。また、予備載置部材３０３はフッ素樹脂からなっている。
脚部３０４は、５本の脚部が等間隔で予備載置部材の下部に固定されている。従って、隣接する脚部のなす角は、全て７２°である。
また、昇降機構を上下動させるためのシリンダとして４個のエアシリンダ３０９を備えている。
【０１６４】
具体的な検査手順としては、まず、予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａより上方に位置する状態で予備載置面３０３ａでハニカム構造体を支持し、さらに、昇降機構により予備載置面３０３ａを構造体載置面３０２ａまで下降させて、ハニカム構造体を構造体載置面３０２ａ上に載置した。この際、予備載置面の下降速度は３０ｍｍ／ｓであった。
【０１６５】
その状態で図９（ａ）に示したようなレーザ光照射装置４１１ａ、４１１ｂからレーザ光を照射装置の前面に対する角度９０°で照射して、レーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂに届いた光の幅を測定した。
この際、ハニカム構造体を断続的に回転させながら測定を行って、ハニカム構造体の端面の最大径（直径）を算出した。
また、１回転（３６０°回転）させた後は、測定する部分の高さを変えて、１つのハニカム構造体につき５通りの高さについて測定した。
この測定結果よりハニカム構造体の最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１６６】
（実施例２）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるともに、接触式測定子を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置（図１０（ａ）〜（ｃ）参照）を用いて、ハニカム構造体の外部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１６７】
具体的には、実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１に載置した後、図１０（ａ）〜（ｃ）に示したような複数の接触式測定子４２２を備えた形状検査装置４２０を用いてハニカム構造体の長手方向の長さ、端面の平行度及び位置度を測定した。
具体的には、ハニカム構造体の端面において、一のハニカム構造体の端面が占める領域ごとに一の接触式測定子４２２が割り当てられるようにして、ハニカム構造体の長さ等を測定した。
【０１６８】
（実施例３）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、上記熱画像法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いて、その外部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１６９】
具体的には、実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１上に載置した後に、ハニカム構造体に向かって１００℃に加熱した熱風を５分間吹きつけた。
熱風の吹きつけを停止した後に、熱風を吹きつけた面をサーモグラフィの測定面に向けてその測定画像を観察し、温度分布が不連続になっている点及び線の有無を判別して、表面欠陥の有無を検査した。
【０１７０】
（実施例４）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、染色浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置を備えた検査装置を用いてその外部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１７１】
具体的には、まず実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１上に載置した。
次に、ハニカム構造体に向けて赤色浸透液をスプレー噴霧し、１５分放置し、続いて、ハニカム構造体に付着した余計な赤色浸透液を水洗して除去した。
最後に、現像剤として白色粉末懸濁液をスプレー噴霧して、表面に赤色が表出するかを観察し、ハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査した。
【０１７２】
（実施例５）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、蛍光浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置を備えた検査装置を用いてその外部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１７３】
具体的には、まず実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１上に載置した。
次に、ハニカム構造体に向けて蛍光液をスプレー噴霧し、３０分放置し、続いて、ハニカム構造体に付着した余計な蛍光液を水洗して除去した。
最後に、検査装置を設置した部屋を暗室としたうえで、ハニカム構造体にブラックライトを照射して蛍光を発光させて、その発光模様を観察してハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査した。
【０１７４】
（実施例６）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、音響信号法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いてその内部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１７５】
具体的には、まず実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１上に載置した。
次に、上記内部欠陥検査装置に設けられた発信側探触子から音響信号をハニカム構造体に入射し、ハニカム構造体中を伝播した音響信号を受信側探触子に受信させ、受信した音響信号の情報を情報処理装置で処理して欠陥の有無を判定した。
このような判定を両探触子を移動させながら連続的に行い、ハニカム構造体中の内部欠陥の有無を検査した。
【０１７６】
（実施例７）
図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３３１を備えるとともに、レーザ光を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いてハニカム構造体の外部形状を検査した。従って、本実施例で使用したハニカム構造体の検査装置は、載置部材が上下動することとなる。
なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。また、検査手段は、実施例１と同一である。
【０１７７】
ハニカム構造体用載置台３３１の具体的な構成は以下の通りである。
載置部材３３２は、上面に予備載置部材用溝部及び脚部用溝部を有する円板状で、上面の直径が２５０ｍｍである。従って、構造体載置面３３２ａがハニカム構造体の端面の外周全体と接する形状である。
また、載置部材３３２は、その底面に取り付けられた金属プレート３３６と一体化しており、さらに、金属プレート３３６の底面には、シリンダプレート３３７及びロッド３３８を通じて４個のエアシリンダ３３９が取り付けられている。
予備載置部材３３３は、ドーナツ形状で、その幅が１５ｍｍ、外側の円周の直径が１００ｍｍ、内側の円周の直径が７０ｍｍである。これは、予備載置面３３３ａをハニカム構造体の端面と重ね合わせると、その外周全体がハニカム構造体の端面の外周より内側に存在する形状である。また、予備載置部材３３３の上面は平坦化されており、予備載置面３３３ａと構造体載置面３３２ａは平行になるように設置されている。また、予備載置部材３３３はフッ素樹脂からなっている。
また、予備載置部材３３３は、５本の脚部３３４を介して固定脚３３５により、所定の高さに設置されている。なお、５本の脚部３３４は、等間隔で予備載置部材の下部に固定されており、隣接する脚部のなす角は、全て７２°である。
【０１７８】
具体的な検査手順としては、まず、予備載置面３３３ａが構造体載置面３３２ａより上方に位置する状態で予備載置面３３３ａでハニカム構造体を支持し、さらに、昇降機構により構造体載置面３３２ａを予備載置面３３３ａまで上昇させて、ハニカム構造体を構造体載置面３３２ａ上に載置し、その後、実施例１と同様の手順により、ハニカム構造体の最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１７９】
（比較例１）
以下の構成のハニカム構造体用載置台を備えるとともに、レーザ光を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いて、実施例１と同様の方法でハニカム構造体の外部形状を検査した。なお、本比較例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１８０】
本比較例では、ハニカム構造体用載置台として、その形状が矩形環形状で、環の幅が１５ｍｍ、外側の長辺の長さが１５０ｍｍ、短辺の長さが１００ｍｍの予備載置部材を備えたものを用いた。この予備載置部材では、予備載置面をハニカム構造体の端面と重ね合わせると、予備載置面の外周の一部がハニカム構造体の端面の外周より外側に存在することとなる。
また、上記予備載置部材の上面は平坦化されており、予備載置面と構造体載置面は平行になるように設置されている。また、予備載置部材はフッ素樹脂からなっている。
さらに、上記ハニカム構造体用載置台では、脚部は、予備載置部材の４辺のそれぞれ中心で、予備載置部材の下部に固定されており、その形状は実施例１で用いたハニカム構造体用載置台３０１の脚部と同一である。
また、上記ハニカム構造体用載置台が備える載置部材は、その上面の形状が直径２５０ｍｍの円形であり、予備載置部材用溝部及び脚部用溝部の形状は、上記予備載置部材及び上記脚部の平面視形状と略同一形状である。
その他、シャフト、金属プレート、シリンダプレート、シリンダの構成は、実施例１で用いたハニカム構造体用載置台３０１と同一である。
【０１８１】
本比較例では、ハニカム構造体の端面の重心と予備載置面の重心とが略一致するように、ハニカム構造体を予備載置面上で支持した。この際、予備載置部材の上面の一部が、ハニカム構造体の端面外周と接触していた。
その後、実施例１と同様にして、昇降機構により予備載置面を構造体載置面まで下降させて、ハニカム構造体を構造体載置面上に載置し、さらに、実施例１と同様にしてハニカム構造体の外部形状の検査を行い、最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１８２】
（比較例２）
以下の構成のハニカム構造体用載置台を備えるとともに、レーザ光照射装置及び受光装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いて、実施例１と同様の方法で、ハニカム構造体の外部形状を検査した。なお、本比較例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１８３】
本比較例では、ハニカム構造体用載置台として、実施例１で使用したハニカム構造体用載置台３０１と略同一の構成を有するものの、予備載置部材の上面が、予備載置部材の底面に対し３°傾斜した形状である点で構成が異なるハニカム構造体用載置台を使用した。
従って、このハニカム構造体用載置台では予備載置面が、構造体載置面に対して３°傾斜していることとなる。
【０１８４】
本比較例では、ハニカム構造体を予備載置面上で支持し、続いて昇降機構により予備載置面を下降させてハニカム構造体を構造体載置面に接触させて載置した。この際、ハニカム構造体の端面外周が最初に一点で構造体載置面と接触していた。
【０１８５】
その後は実施例１と同様にしてハニカム構造体の外部形状の検査を行い、最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１８６】
（比較例３）
その上面の形状が直径２５０ｍｍの円形状であり、厚みが１０ｍｍのステンレス（ＳＵＳ）製の平板からなるハニカム構造体用載置台と、レーザ光を用いた形状検査装置とを備えたハニカム構造体の検査装置を用いてハニカム構造体の外部形状を検査した。なお、本比較例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１８７】
本比較例では、上記ハニカム構造体をその端面を下にして、上記平板上にハニカム構造体を載置し、その後、実施例１と同様にしてハニカム構造体の外部形状の検査を行い、最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１８８】
（検査結果）
実施例１〜７及び比較例１〜３におけるハニカム構造体の検査では、検査方法に応じた各検査項目（ハニカム構造体の長さ、真円度、直角度、表面欠陥の有無、内部欠陥の有無）を検査することができた。
しかしながら、検査終了後、ハニカム構造体をハニカム構造体用載置台から取り上げ、ハニカム構造体用載置台と接触していたハニカム構造体の端面（主に、端面の外周部分）を目視観察したところ、以下のような結果となった。
【０１８９】
即ち、実施例１〜７に係る検査においては、検査終了後、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラックが発生していなかった。
これに対し、比較例１に係る検査においては４個のハニカム構造体で（発生率：４％）、比較例２に係る検査においては８個のハニカム構造体で（発生率：８％）、比較例３に係る検査においては９個のハニカム構造体で（発生率：９％）、ハニカム構造体の端面外周に欠け又はクラックが観察された。
【０１９０】
この理由について、比較例１ではハニカム構造体の端面外周が予備載置部材と最初に１点で接触し、比較例２では、ハニカム構造体の端面外周が載置部材と最初に一点で接触し、比較例３では、ハニカム構造体の端面外周が平板と最初に一点で接触するため、それぞれの接触の際に、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃が加わることがあり、その結果、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラックが発生したものと考えられる。
これに対し、実施例１〜７では、ハニカム構造体を予備載置面で支持する際に、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃が加わることがなく、載置部材に載置する際には、ハニカム構造体の端面外周全体が略同時に載置部材の上面に接触するため、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラックが発生しなかったものと考えられる。
このことから、本発明のハニカム構造体用載置台を備えた検査装置では、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラックを発生させることなくハニカム構造体の形状検査をすることができることが明らかとなった。
【図面の簡単な説明】
【０１９１】
【図１】図１（ａ）、（ｂ）は、予備載置面がドーナツ形状である本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する様子を模式的に示す断面図であり、図１（ａ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置してハニカム構造体を支持する状態を示し、図１（ｂ）は、予備載置面が構造体載置面より下方に位置してハニカム構造体が構造体載置面上に載置されている状態を示す。
【図２】図２は、予備載置面が円形である本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する様子を模式的に示す断面図であり、図２（ａ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置してハニカム構造体を支持する状態を示し、図２（ｂ）は、予備載置面が構造体載置面より下方に位置してハニカム構造体が構造体載置面上に載置されている状態を示す。
【図３】図３（ａ）は、本発明のハニカム構造体用載置台の一例を模式的に示す斜視図であり、図３（ｂ）は、（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図３（ａ）、（ｂ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置する状態を示す。
【図４】図４は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台を構成する載置部材を示す斜視図である。
【図５】図５は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台を構成する予備載置部材及び昇降機構を示す斜視図である。
【図６】図６（ａ）は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台において、予備載置面が下降した状態を模式的に示す斜視図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＣ−Ｃ線断面図である。
【図７】図７（ａ）は、本発明のハニカム構造体用載置台の別の一例を模式的に示す斜視図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＤ−Ｄ線断面図である。
【図８】図８（ａ）は、図７（ａ）に示したハニカム構造体用載置台において、予備載置面が構造体載置面と同一平面をなす状態を模式的に示す斜視図であり、図８（ｂ）は、図７（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＥ−Ｅ線断面図である。
【図９】図９（ａ）は、レーザ光を用いた形状検査装置を備えた本発明のハニカム構造体の検査装置の一例を模式的に示す正面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示したハニカム構造体の検査装置を用いて円柱形状のハニカム焼成体を検査する様子を模式的に示す上面図であり、図９（ｃ）は、図９（ｂ）と同様、図９（ａ）に示したハニカム構造体の検査装置を用いて楕円柱形状のハニカム構造体を検査する様子を模式的に示す上面図である。
【図１０】図１０は、接触式測定子を用いた形状検査装置の一例を模式的に示す概念図であり、図１０（ａ）は、この形状検査装置を用いて接触式測定子の０点を補正している様子を示す正面図であり、図１０（ｂ）は、実際にハニカム構造体の外部形状を検査している様子を示す正面図である。図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）においてＦで示す部分の拡大断面図である。
【図１１】図１１は、ハニカム構造体の一例を模式的に示す斜視図である。
【図１２】図１２（ａ）は、上記ハニカム構造体を構成するハニカム焼成体を模式的に示す斜視図であり、図１２（ｂ）は、そのＡ−Ａ線断面図である。
【図１３】図１３は、ハニカム構造体が平板形状の台に載置される様子を模式的に表した断面図である。
【符号の説明】
【０１９２】
１３０ ハニカム構造体
３０１、３３１、１３０１、２３０１ ハニカム構造体用載置台
３０２、３３２、１３０２、２３０２ 載置部材
３０２ａ、３３２ａ、１３０２ａ、２３０２ａ 構造体載置面
３０３、３３３、１３０３、２３０３ 予備載置部材
３０３ａ、３３３ａ、１３０３ａ、２３０３ａ 予備載置面
３０４、３３４ 脚部
【技術分野】
【０００１】
本発明は、ハニカム構造体用載置台、及び、ハニカム構造体の検査装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
バス、トラック等の車両や建設機械等の内燃機関から排出される排ガス中に含有されるスス等のパティキュレートが環境や人体に害を及ぼすことが最近問題となっている。
そこで、排ガス中のパティキュレートを捕集して、排ガスを浄化するフィルタとして多孔質セラミックからなるハニカム構造体を用いたハニカムフィルタが種々提案されている。
【０００３】
従来、ハニカム構造体を製造する際には、例えば、まず、セラミック粉末とバインダと分散媒液等とを混合して湿潤混合物を調製する。そして、この湿潤混合物をダイスにより連続的に押出成形し、押し出された成形体を所定の長さに切断することにより、柱形状のハニカム成形体を作製する。
【０００４】
次に、得られたハニカム成形体を乾燥させ、その後、所定のセルに封止材ペーストを充填して目封じを施し、セルのいずれかの端部が封止された状態とした後、脱脂処理及び焼成処理を施し、ハニカム焼成体を製造する。
【０００５】
この後、ハニカム焼成体の側面にシール材ペーストを塗布し、ハニカム焼成体同士を接着させることにより、シール材層（接着剤層）を介してハニカム焼成体が多数結束した状態のハニカム焼成体の集合体を作製する。次に、得られたハニカム焼成体の集合体に、切削機等を用いて円柱、楕円柱等の所定の形状に切削加工を施してセラミックブロックを形成し、最後に、セラミックブロックの外周にシール材ペーストを塗布してシール材層（コート層）を形成することによりハニカム構造体の製造を終了する。
【０００６】
上記のようなハニカム構造体（セラミックフィルタや触媒担持体）は、通常、ケーシング内に収納されて使用される。そのため、ハニカム構造体をケーシング内に収納する前に、製造したハニカム構造体が上記ケーシングの形状に適合するような所定の形状を有しているか否かを検査する必要があり、検査の際にハニカム構造体は検査装置に設けられた台に載置される。
また、ハニカム構造体に所定の機能を発揮させるべく、その内部に欠陥を内包していないかを検査する必要もあり、この検査の際にもハニカム構造体は検査装置に設けられた台に載置される。
【０００７】
ここで、製造したハニカム構造体の外形形状を検査する装置としては、例えば、平行光線を利用する装置（例えば、特許文献１参照）等が提案されており、特許文献１には外形形状を検査する際にハニカム構造体が載置される台であるターンテーブルが開示されている。
また、製造したハニカム構造体の欠陥を検査する装置としては、例えば、伝播した音響信号の情報を利用する装置（例えば、特許文献２参照）等が提案されており、特許文献２には、欠陥を検査する際にハニカム構造体が載置される台である回転テーブルが開示されている。
【０００８】
【特許文献１】特開昭５５−３７９１９号公報
【特許文献２】特開２００４−１５１０７８号公報
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００９】
特許文献１及び２に開示されているターンテーブル及び回転テーブルは平板形状の台であり、これまでハニカム構造体はこのような平板形状の台にその端面を下にした状態で載置されていた。
図１３は、ハニカム構造体が平板形状の台に載置される様子を模式的に表した断面図である。
【００１０】
図１３に示すようにハニカム構造体１３０が平板形状の台２０１に載置される際には、ハニカム構造体１３０の端面と台２０１の上面２０２ａとが平行でない限りハニカム構造体１３０の端面のうち外周部分（以下、単に端面外周ともいう）１３０ａが最初に台２０１の上面２０２ａと一点で接触することとなる。
ハニカム構造体は脆性材料であるセラミックからなるために、その端面外周１３０ａが台２０１の上面２０２ａと一点で接触すると、接触の際の衝撃により端面外周１３０ａに欠けやクラック等が発生することがあり、欠けやクラック等が発生したハニカム構造体は不良品となってしまうという問題があった。
【００１１】
また、このようにしてハニカム構造体が載置される際に端面外周に発生する欠けやクラック等は、ハニカム構造体が検査装置に設けられた台に載置される際にのみ発生するものではなく、平板形状の台上に載置される際に一般的に生じるものであるため、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなくハニカム構造体を載置することのできる載置台が求められていた。
【００１２】
本発明は、これらの問題を解決するためになされたものであり、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなく載置することができるハニカム構造体用載置台、及び、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなくハニカム構造体の検査を行うことができるハニカム構造体の検査装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【００１３】
本発明のハニカム構造体用載置台は、ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、
上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、
上記予備載置面と上記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とする。
【００１４】
本発明のハニカム構造体用載置台においては、上記予備載置面が上記構造体載置面より上方に位置する状態で上記ハニカム構造体を支持し、
さらに、上記昇降機構が上記予備載置面を少なくとも上記構造体載置面まで下降させることにより上記ハニカム構造体を上記構造体載置面に載置し、
上記予備載置面が、上記ハニカム構造体を支持しない状態で、上記昇降機構により少なくとも上記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇することが望ましい。
【００１５】
また、本発明のハニカム構造体用載置台において、上記ハニカム構造体の端面と上記予備載置面の外周形状とは、相似形であることが望ましい。
また、本発明のハニカム構造体用載置台においては、上記予備載置面がドーナツ形状であり、上記予備載置面の中央部にも上記構造体載置面が配置されることが望ましい。
【００１６】
また、本発明のハニカム構造体用載置台は、上記予備載置部材の下部に、上記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
上記脚部と上記昇降機構とが連動することにより、上記予備載置部材が上下動することが望ましい。
【００１７】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構と、
上記載置部材に載置された上記ハニカム構造体の外部形状及び内部形状のうち、少なくとも一方を検査する検査手段とを備え、
上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、
上記予備載置面と上記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とする。
【００１８】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、上記予備載置面が上記構造体載置面より上方に位置する状態で上記ハニカム構造体を支持し、
さらに、上記昇降機構が上記予備載置面を少なくとも上記構造体載置面まで下降させることにより上記ハニカム構造体を上記構造体載置面に載置し、
上記昇降機構が上記ハニカム構造体を支持しない状態の予備載置面を、少なくとも上記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇させることが望ましい。
【００１９】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置において、上記ハニカム構造体の端面と上記予備載置面の外周形状とは、相似形であることが望ましい。
また、本発明のハニカム構造体の検査装置においては、上記予備載置面がドーナツ形状であり、
上記予備載置面の中央部にも上記構造体載置面が配置されることが望ましい。
【００２０】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、上記予備載置部材の下部に、上記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
上記脚部と上記昇降機構とが連動することにより、上記予備載置部材が上下動することが望ましい。
【００２１】
本発明のハニカム構造体の検査装置において、上記検査手段は、上記ハニカム構造体の外部形状を検査し、
上記外部形状は、上記ハニカム構造体の長手方向の長さ、最大径、真円度、直角度、平行度及び位置度のうち、少なくとも１つであることが望ましい。
【発明の効果】
【００２２】
本発明のハニカム構造体用載置台は、予備載置面を有する予備載置部材を備え、上記予備載置面の形状は、ハニカム構造体の端面と重ね合わせると、その外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であるため、上記予備載置面が構造体載置面より上方に位置する状態では、ハニカム構造体の端面外周が接触することなく、ハニカム構造体の端面外周より内側に上記予備載置面全体が位置するようにハニカム構造体を支持することができる。
また、上記予備載置面は上記構造体載置面と平行な平面である。そのため、上記予備載置面と上記構造体載置面の高さを合わせることにより、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃を加えることなくハニカム構造体の端面外周を上記構造体載置面に接触させることができる。
また、上記構造体載置面はハニカム構造体の端面の外周全体と接するような形状であるため、上記ハニカム構造体を上記構造体載置面上に安定に載置することができる。
従って、本発明のハニカム構造体用載置台によると、ハニカム構造体をその端面外周に欠けやクラック等を発生させることなく構造体載置面上に安定に載置することができる。
【００２３】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台を備えているため、上記ハニカム構造体の検査装置にハニカム構造体を載置する際には、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃を加えることなくハニカム構造体の端面外周を構造体載置面に接触させてハニカム構造体を構造体載置面上に載置することができる。
従って、本発明のハニカム構造体の検査装置によると、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなく、ハニカム構造体の形状検査を行うことができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００２４】
本発明のハニカム構造体用載置台は、ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、
上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、
上記予備載置面と上記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とする。
【００２５】
ここでは、まず、本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する概要について説明し、その後、本発明のハニカム構造体用載置台の具体例について詳説することとする。
なお、本明細書において、ハニカム成形体、ハニカム焼成体及びハニカム構造体のいずれの形態においても、それぞれの外形状をなす面のうち、セルが露出している面を端面といい、端面以外の面を側面という。
【００２６】
図１（ａ）及び図１（ｂ）は、予備載置面がドーナツ形状である本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する様子を模式的に示す断面図であり、図１（ａ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置してハニカム構造体を支持する状態を示し、図１（ｂ）は、予備載置面が構造体載置面より下方に位置してハニカム構造体が構造体載置面上に載置されている状態を示す。
【００２７】
本発明のハニカム構造体用載置台１３０１にハニカム構造体を載置するためには、はじめに、予備載置面１３０３ａを構造体載置面１３０２ａよりも上方に位置した状態とする。
次に、この状態にある予備載置面１３０３ａでハニカム構造体１３０を支持する（図１（ａ）参照）。このとき、予備載置面１３０３ａ全体がハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に存在するように、ハニカム構造体１３０を予備載置面１３０３ａで支持する。ハニカム構造体１３０をこのように支持することにより、ハニカム構造体の端面外周１３０ａが予備載置面１３０３ａに接触することがなく、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等が発生することを回避することができる。
なお、ハニカム構造体用載置台１３０１では、予備載置面１３０３ａがドーナツ形状であるため、予備載置面１３０３ａはハニカム構造体１３０の端面の中心付近を支持していない。
【００２８】
次に、ハニカム構造体１３０を支持した予備載置部材１３０３を、図示しない昇降機構により図１（ａ）に示した状態から図１（ｂ）に示した状態に移行させる。
即ち、構造体載置面１３０２ａより上方に位置した予備載置面１３０３ａが、構造体載置面１３０２ａより下方に位置するように、予備載置部材１３０３を下降させる。
このように予備載置面１３０３ａを下降させることにより、ハニカム構造体１３０が載置部材１３０２の構造体載置面１３０２ａ上に載置されることとなる。
なお、予備載置面１３０３ａの下降は、予備載置面１３０３ａが構造体載置面１３０２ａと同一平面をなす位置まで行っても良い。
【００２９】
この際、予備載置面１３０３ａと、構造体載置面１３０２ａとは平行な平面であるため、ハニカム構造体１３０は、その端面が構造体載置面１３０２ａと平行な状態を維持したままで下降することとなる。そして、予備載置面１３０３ａが、構造体載置面１３０２ａと同一平面まで下降すると、構造体載置面１３０２ａはハニカム構造体１３０の端面の外周全体と接する形状であるため、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａを含む端面全体（予備載置面１３０３ａと接触している部分を除く）が構造体載置面１３０２ａと同時に接触する。
その結果、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａに強い衝撃が加わることがなく、端面外周１３０ａに欠けやクラック等が発生することなくハニカム構造体１３０は構造体載置面１３０２ａ上に安定して載置されることとなる（図１（ｂ）参照）。
【００３０】
なお、ハニカム構造体用載置台１３０１においては、予備載置面１３０３ａの内側にも構造体載置面１３０２ａが配置されているため、ハニカム構造体１３０の端面の中心付近も構造体載置面１３０２ａ上に載置される。そのため、ハニカム構造体１３０は構造体載置面１３０２ａ上にきわめて安定的に載置されることとなる。
【００３１】
図２（ａ）及び図２（ｂ）は、予備載置面が円形である本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する様子を模式的に示す断面図であり、図２（ａ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置してハニカム構造体を支持する状態を示し、図２（ｂ）は、予備載置面が構造体載置面より下方に位置してハニカム構造体が構造体載置面上に載置されている状態を示す。
【００３２】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示すハニカム構造体用載置台２３０１を用いてハニカム構造体を載置する場合においても、図１（ａ）及び図１（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台１３０１を用いた場合と同様にして、はじめに、図２（ａ）に示すように予備載置面２３０３ａでハニカム構造体１３０を支持する。このとき、予備載置面２３０３ａ全体がハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に存在するように、予備載置面２３０３ａでハニカム構造体を支持する。次に、図２（ｂ）に示す状態に移行させることで、ハニカム構造体１３０は載置部材２３０２の構造体載置面２３０２ａ上に載置されることとなる。
【００３３】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す場合においても予備載置面２３０３ａと構造体載置面２３０２ａは平行な平面であるため、ハニカム構造体１３０の端面全体（予備載置面２３０３ａと接触している部分を除く）は構造体載置面２３０２ａと同時に接触する。
そのため、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａには強い衝撃が加わることがなく、ハニカム構造体１３０はその端面外周１３０ａに欠けやクラックが発生することなく安定的に構造体載置面２３０２ａ上に載置されることとなる。
【００３４】
図２（ａ）及び図２（ｂ）に示す予備載置面２３０３ａはその形状が円形であるため、図２（ａ）に示す状態において予備載置面２３０３ａはハニカム構造体１３０の端面の中心付近も含めて支持しており、図２（ｂ）に示す状態においては、ハニカム構造体１３０の中心付近は構造体載置面２３０２ａ上に載置されておらず、ハニカム構造体１３０はその外周付近のみが構造体載置面２３０２ａ上に載置されていることとなる。このような態様であっても、ハニカム構造体１３０は構造体載置面２３０２ａ上に安定的に載置されることとなる。
【００３５】
続いて、本発明のハニカム構造体用載置台の具体例について図面を参照しながら説明する。
図３（ａ）は、本発明のハニカム構造体用載置台の一例を模式的に示す斜視図であり、図３（ｂ）は、（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図３（ａ）、（ｂ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置する状態を示す。
図４は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台を構成する載置部材を示す斜視図であり、図５は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台を構成する予備載置部材及び昇降機構を示す斜視図である。
なお、図３（ａ）には、ハニカム構造体を２点鎖線で示し、ここでは、図１１に示したハニカム構造体１３０を載置する場合を例に、ハニカム構造体用載置台について説明する。
【００３６】
ハニカム構造体用載置台３０１は、ハニカム構造体の端面の外周全体と接する構造体載置面３０２ａを有する載置部材３０２と、ハニカム構造体を支持する予備載置面３０３ａを有する予備載置部材３０３と、シャフト３０５、金属プレート３０６、シリンダプレート３０７及びエアシリンダ３０９からなり、予備載置部材３０３を上下動させることができる昇降機構とを備えている。
また、予備載置部材３０３と昇降機構とは、脚部３０４を介して連結されている。
【００３７】
図４に示すように、載置部材３０２は円板状の外形を有し、載置部材３０２の上面には、予備載置部材３０３を設置するための予備載置部材用溝部３１０、脚部３０４を設置するための脚部用溝部３１１が設けられている。また、載置部材３０２の下面から下方に向けて固定部３１３が取り付けられており、載置部材３０２を所定の高さに維持できるように構成されている。
そして、載置部材３０２の上面のうち、予備載置部材用溝部３１０及び脚部用溝部３１１以外の部分が、ハニカム構造体を載置した際にハニカム構造体の端面に接しうる部分である。この部分からなる平面を含んで載置部材３０２上面の外周で囲まれてなる平面を構造体載置面３０２ａという。
【００３８】
構造体載置面３０２ａは、ハニカム構造体１３０の端面の外周全体と接する形状を有する平面である。構造体載置面３０２ａをこのような形状とすることで、ハニカム構造体１３０の端面全体を構造体載置面３０２ａ上に安定に載置することができる。
【００３９】
予備載置部材用溝部３１０は、その平面視形状が予備載置部材３０３の平面視形状と略同一形状を有し、予備載置部材用溝部３１０の側壁面と予備載置部材３０３の側面との間には、予備載置部材３０３が滑らかに上下動することのできるようわずかな隙間が設けられている。
また、予備載置部材用溝部３１０の深さは、予備載置部材３０３が最下点まで下降した際に、予備載置面３０３ａと構造体載置面３０２ａとが同一平面となるように予備載置部材３０３の厚さと同一の大きさである。
【００４０】
脚部用溝部３１１は、その平面視形状が脚部３０４の平面視形状と略同一形状を有し、脚部用溝部３１１の側壁面と、脚部３０４の側面との間には、脚部３０４が滑らかに上下動することのできるようわずかな隙間が設けられている。
また、脚部用溝部３１１の深さは、脚部３０４が最下点まで下降した際に予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａと同一平面となるように、予備載置部材３０３と脚部３０４との合計厚さと同一の大きさである。
また、脚部用溝部３１１の底面には、貫通孔３１２が設けられており、この貫通孔３１２には、シャフト３０５（図３（ａ）、（ｂ）及び図５参照）が上下動可能に挿通されている。
【００４１】
固定部３１３は、円柱形状の柱部３１３ａと柱部３１３ａより太い円柱形状のベース部３１３ｂより構成されており、載置部材３０２を所定の高さに維持した状態でその設置場所に設置することができる。
【００４２】
予備載置部材３０３は、図５に示すように、ドーナツ形状を有しており、その上面でハニカム構造体が載置部材３０２に先がけて載置される。
そして、予備載置部材３０３の上面からなる平面を予備載置面３０３ａという。
予備載置面３０３ａの形状は、ハニカム構造体１３０の端面と重ね合わせると、その外周全体がハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に存在しうるような形状である。
そのため、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａが接触することなく、ハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に予備載置面３０３ａ全体が位置するようにしてハニカム構造体１３０を支持することができる。
【００４３】
また、予備載置面３０３ａは、構造体載置面３０２ａと平行な平面になるように構成されている。
そのため、予備載置面３０３ａでハニカム構造体を支持し、予備載置面３０３ａを下降させてハニカム構造体を構造体載置面３０２ａ上に載置する際に、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａ（図３（ａ）及び図３（ｂ）参照）に強い衝撃が加わることがなく、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａに欠けやクラック等が発生することを防止することができる。
【００４４】
ハニカム構造体用載置台３０１では、図５に示すように、予備載置部材３０３の下部に角柱形状の脚部３０４の一端がその上面で固定されており、脚部３０４の他端近傍に、昇降機構を構成するシャフト３０５の一端が固定されている。さらに、シャフト３０５の他端は金属プレート３０６に固定されており、金属プレート３０６の底面にはシリンダプレート３０７及びロッド３０８を通じてエアシリンダ３０９が取り付けられている。
このように、ハニカム構造体用載置台では、予備載置部材３０３と上記昇降機構とが脚部を介して、連結されている。そして、エアシリンダ３０９を駆動させることでロッド３０８を上下動させ、その上下動がシリンダプレート３０７を伝わって金属プレート３０６を上下動させる。その結果、予備載置部材３０３を上下動させることができる。
【００４５】
以下、上記脚部及び上記昇降機構の構成部材についてもう少し詳細に説明する。
脚部３０４は、予備載置部材３０３の下部に固定され、シャフト３０５の上下動を予備載置部材３０３に伝えるための部材である。
脚部３０４の上面は予備載置部材３０３の上面より常に下方に位置し、予備載置面３０３ａ上でハニカム構造体１３０を支持する際に、ハニカム構造体１３０の端面と接触しないように構成されている。
また、脚部３０４は予備載置面３０３ａの重心を中心とした放射状方向に、かつ、等間隔で計５本取り付けられており、隣り合う２本の脚部３０４のそれぞれの重心と予備載置面３０３ａの重心とを結ぶ２本の線分のなす角は７２°となるように構成されている。
【００４６】
シャフト３０５は、一端が脚部３０４に固定され、他端が金属プレート３０６に固定されており、金属プレート３０６の上下動を脚部３０４に伝えるための部材である。
また、シャフト３０５は、貫通孔３１２に挿通されており、載置部材３０２の表裏間で上下動を伝える。
【００４７】
金属プレート３０６の上面にはシャフト３０５が複数固定されており、その底面にはシリンダプレート３０７が複数固定されている。シリンダプレート３０７はロッド３０８を通じてエアシリンダ３０９に取り付けられており、エアシリンダ３０９が駆動してロッド３０８が上下動すると金属プレート３０６も上下動する。
また、金属プレート３０６はその中心部が正方形状にくり抜かれた角環形状であり、くり抜かれた部分３０６ａを介して載置部材３０２の柱部３１３ａが金属プレートを貫通することとなる。また、くり抜かれた部分３０６ａの大きさは、その壁面が柱部３１３ａの側面と接触しない大きさであり、そのため金属プレート３０６は載置部材３０２の柱部３１３ａと干渉することなく上下動する。
【００４８】
エアシリンダ３０９は、ロッド３０８を上下動させてロッド３０８に固定されたシリンダプレート３０７を上下動させ、金属プレート３０６を上下動させるための部材である。ロッド３０８の上下動の範囲は、少なくとも予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａの上方になる位置と、同一平面になる位置とを含むように設定されている。
【００４９】
次に、ハニカム構造体用載置台３０１にハニカム構造体１３０を載置する方法について説明する。ここでは、図３（ａ）及び図３（ｂ）とともに、図６（ａ）及び図６（ｂ）を参照しながらハニカム構造体用載置台３０１にハニカム構造体１３０を載置する方法について説明する。
図６（ａ）は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示したハニカム構造体載置台において、予備載置面が下降した状態を模式的に示す斜視図であり、図６（ｂ）は、（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＣ−Ｃ線断面図である。なお、図６に示したハニカム構造体用載置台は、図３（ａ）及び図３（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台と同一のハニカム構造体用載置台である。
そして、図３（ａ）及び図３（ｂ）には、予備載置面が上昇した状態を示し、図６（ａ）及び図６（ｂ）には、予備載置面が下降した状態を示す。
【００５０】
ハニカム構造体用載置台３０１にハニカム構造体１３０を載置する際には、まず、エアシリンダ３０９を駆動させて、予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａより上方に位置した状態とする。
次に、この状態にある予備載置面３０３ａでハニカム構造体１３０を支持する（図３（ａ）、（ｂ）参照）。このとき、予備載置面３０３ａ全体がハニカム構造体１３０の端面の外周より内側に存在するように、ハニカム構造体１３０を予備載置面３０３ａで支持する。このように支持することにより、ハニカム構造体の端面外周１３０ａが、予備載置面３０３ａに接触することがなく、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等が発生することを回避することができる。
【００５１】
次に、ハニカム構造体１３０を支持した予備載置部材を図３（ａ）、（ｂ）に示した状態から、図６（ａ）、（ｂ）に示した状態に移行させる。
即ち、構造体載置面３０２ａより上方に位置した予備載置面３０３ａが、構造体載置面３０２ａと同一平面をなすように、予備載置部材３０３を昇降機構により下降させる。
ここで、予備載置面３０３ａをハニカム構造体１３０を支持した状態で上記のように下降させることにより、ハニカム構造体１３０が載置部材３０２の構造体載置面３０２ａ上に載置されることとなる。
【００５２】
この際、予備載置面３０３ａと、構造体載置面３０２ａとは平行な平面であるため、ハニカム構造体は、その端面が構造体載置面３０２ａと平行な状態を維持したままで下降することとなる。そして、予備載置面３０３ａが、構造体載置面３０２ａと同一平面まで下降すると、構造体載置面３０２ａはハニカム構造体１３０の端面の外周全体と接する形状であるため、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａを含む端面全体（予備載置面３０３ａと接触している部分を除く）が構造体載置面３０２ａと同時に接触する。
そのため、ハニカム構造体１３０が構造体載置面３０２ａ上に安定して載置されることとなる（図６（ａ）、（ｂ）参照）。
従って、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａに強い衝撃が加わることがなく、ハニカム構造体は、その端面外周に欠けやクラック等が発生することなく構造体載置面３０２ａ上に載置されることとなる。
【００５３】
そして、このようにして構造体載置面３０２ａ上にハニカム構造体を載置した後、ハニカム構造体の検査等を行う。
その後、ハニカム構造体１３０をハニカム構造体用載置台３０１から持ち上げる等して、別の場所に移動させる。
【００５４】
そして、ハニカム構造体１３０を別の場所に移動させた後には、再度、ハニカム構造体１３０を支持しない状態で、予備載置部材３０３を昇降機構により上昇させる。これにより、別のハニカム構造体を予備載置面３０３ａで支持することができる状態となる。
【００５５】
従って、本発明のハニカム構造体用載置台においては、上記予備載置面が上記構造体載置面より上方に位置する状態で上記ハニカム構造体を支持し、
さらに、上記昇降機構が上記予備載置面を少なくとも上記構造体載置面まで下降させることにより上記ハニカム構造体を上記構造体載置面に載置し、
上記予備載置面が、上記ハニカム構造体を支持しない状態で、上記昇降機構により少なくとも上記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇することが望ましい。
【００５６】
また、図３〜６に示したハニカム構造体用載置台３０１では、予備載置部材３０３が最下点まで下降した際には、予備載置面３０３ａと構造体載置面３０２ａとが同一平面をなすように構成されているが、本発明のハニカム構造体用載置台は、予備載置部材３０３が最下点まで下降した際に、予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａより下方にまで下降するように構成されていてもよい。
この場合、ハニカム構造体１３０を載置部材３０２に載置した際に、ハニカム構造体１３０の端面と予備載置面３０３ａとは非接触となるが、ハニカム構造体１３０の端面は、ハニカム構造体の端面の外周全体と接する構造体載置面３０２ａに接しているため、構造体載置面３０２ａ上にハニカム構造体１３０を安定に載置することができる。
このような構成のハニカム構造体用載置台でも、ハニカム構造体１３０の端面外周１３０ａに欠けやクラック等を発生させることなく、ハニカム構造体１３０を載置することができる。
【００５７】
これまで、本発明のハニカム構造体用載置台として、予備載置部材を上下動させる昇降機構を備えたハニカム構造体用載置台を例に説明してきたが、本発明のハニカム構造体用載置台は、予備載置部材を上下動させる昇降機構に代えて、載置部材を上下動させる昇降機構を備えていてもよい。
このようなハニカム構造体用載置台について、図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）を参照しながら説明する。
【００５８】
図７（ａ）及び図８（ａ）は、それぞれ本発明のハニカム構造体用載置台の別の一例を模式的に示す斜視図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＤ−Ｄ線断面図であり、図８（ｂ）は、図８（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＥ−Ｅ線断面図である。
なお、図７（ａ）、（ｂ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置する状態を示し、図８（ａ）、（ｂ）には、予備載置面が構造体載置面と同一平面をなす状態を示す。
【００５９】
図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）に示すように、載置部材３３２が上下動するハニカム構造体用載置台３３１は、載置部材３３２、予備載置部材３３３、並びに、金属プレート３３６、シリンダプレート３３７、ロッド３３８及びエアシリンダ３３９からなる昇降機構を備えている。
ここで、載置部材３３２は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３０１が備える載置部材３０２と同様の構成を有しており、予備載置部材３３３は、ハニカム構造体用載置台３０１が備える予備載置部材３０３と同様の構成を有している。そのため、ここでは、載置部材３３２及び予備載置部材３３３の詳細な説明は省略する。
【００６０】
ハニカム構造体用載置台３３１では、予備載置部材３３３は上下動せず、載置部材３３２が上下動するように構成されている。
具体的には、予備載置部材３３３の下部には角柱形状の脚部３３４の一端がその上面で固定されており、さらに、脚部３３４の他端近傍に固定脚３３５の一端が固定されている。従って、予備載置部材３３３は、固定脚３３５及び脚部３３４により、所定の高さに維持された状態で設置されていることとなる。
【００６１】
一方、載置部材３３２は、その底面に取り付けられた金属プレート３３６と一体化しており、金属プレート３３６が上下動すると載置部材３３２が上下動するように構成されている。
そして、金属プレート３３６の底面にはシリンダプレート３３７及びロッド３３８を通じてエアシリンダ３３９が取り付けられている。
なお、シリンダプレート３３７、ロッド３３８、及び、エアシリンダ３３９の構成は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３０１と同様である。また、金属プレート３３６は、ハニカム構造体用載置台３０１が備える金属プレートとは異なり、その中央部がくり抜かれていないが、固定脚３３５が貫通するための貫通孔が所定の箇所に形成されている。
従って、ハニカム構造体用載置台３３１は、載置部材３３２を上下動させる昇降機構を備えており、金属プレート３３６、シリンダプレート３３７、ロッド３３８及びエアシリンダ３３９が昇降機構として機能することとなる。
【００６２】
次に、図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）を参照しながら、ハニカム構造体用載置台３３１にハニカム構造体を載置する方法について簡単に説明する。
ハニカム構造体用載置台３３１にハニカム構造体を載置する際には、まず、エアシリンダ３３９を駆動させて、構造体載置面３３２ａが予備載置面３３３ａより下方に位置した状態（図７（ａ）、（ｂ）参照）とする。
次に、この状態にある予備載置面３３３ａでハニカム構造体を支持する。このとき、ハニカム構造体の端面の外周より内側に予備載置面３３３ａ全体が位置するようにハニカム構造体を支持する。
【００６３】
次に、載置部材３３２を図７（ａ）、（ｂ）に示した状態から図８（ａ）、（ｂ）に示した状態に移行させる。
即ち、予備載置面３３３ａより下方に位置した構造体載置面３３２ａが、予備載置面３３３ａと同一平面をなすように、載置部材３３２を昇降機構により上昇させる。
ここで、予備載置面３３３ａでハニカム構造体を支持しつつ、構造体載置面３３２ａが予備載置面３３３ａと同一平面をなす位置まで、載置部材３３２を上昇させることにより、ハニカム構造体が構造体載置面３３２ａ上に載置されることとなる。
この際、予備載置面３３３ａと構造体載置面３３２ａとは平行な平面であり、かつ、構造体載置面３３２ａがハニカム構造体の端面の外周全体と接する形状であるために、ハニカム構造体は、その端面外周に欠けやクラック等が発生することなく、載置部材３３２上に安定して載置されることとなる。
【００６４】
そして、ハニカム構造体を載置した後は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３０１の場合と同様に、ハニカム構造体の検査等を行い、その後、別の場所に移動させ、さらに、載置部材３３２を下降させることにより、別のハニカム構造体を予備載置面３３３ａで支持することができる状態とする。
このようなハニカム構造体用載置台３３１もまた、本発明のハニカム構造体用載置台の一実施形態である。
【００６５】
本発明のハニカム構造体用載置台において、上記ハニカム構造体の端面と上記予備載置面の外周形状とは、相似形であることが望ましい。
これらが相似形であると、ハニカム構造体を予備載置面で支持する際に、ハニカム構造体の端面外周が上記予備載置面に接触しない位置で、上記ハニカム構造体を支持することが容易だからである。
また、これらが相似形であると、より安定に予備載置面でハニカム構造体を支持することができるからである。
【００６６】
このような予備載置面を有する予備載置部材の形状は、特に限定されるものでないが、ハニカム構造体の端面が円形である場合には、図５に示すようなドーナツ形状のものを好適に用いることができる。
上述したとおり予備載置面の外周形状がハニカム構造体の端面と相似形であることが望ましく、ハニカム構造体を安定に支持することができるからである。
【００６７】
また、上記予備載置部材をドーナツ形状とすることで、上記予備載置部材の内側の部分にも構造体載置面が存在しうることとなる。そのため、上記予備載置面が上記構造体載置面と同一平面となるか、上記構造体載置面より低くなった際に、上記ドーナツ形状の内側の部分に存在する構造体載置面にもハニカム構造体の端面が接することとなり、これによりハニカム構造体をより安定に載置することができるからである。
【００６８】
また、上記予備載置部材の外周部や内周部には、面取りが施されていても良い。
このような面取りが施されていると、ハニカム構造体の端面と予備載置部材とが接触した際にハニカム構造体や予備載置部材に、破損や変形が発生するおそれがより少なくなるからである。上記面取りとしては、例えば、Ｃ面取り、Ｒ面取り等が挙げられる。
【００６９】
また、本発明のハニカム構造体用載置台では、図５に示したように、上記予備載置部材の下部に、上記予備載置面の重心を中心として放射状方向に、かつ、等間隔で取り付けられた脚部を備え、上記脚部と上記昇降機構とが連動することにより、上記予備載置部材が上下動することが望ましい。
【００７０】
このような脚部を備えていると、上記予備載置面でハニカム構造体を支持する際に、ハニカム構造体の重量が各脚部に均等に加わるため、ハニカム構造体を支持した際に特定の脚部に過大な負荷がかかることがなく、脚部の耐久性を向上させることができ、長期間にわたって使用可能なハニカム構造体用載置台とすることができる。
また、このような脚部の構成は、ハニカム構造体を予備載置面で支持する際に、上記予備載置面と上記構造体載置面とが平行な状態を維持するのに最も適した構成である。
【００７１】
また、本発明のハニカム構造体用載置台において、上記脚部の本数は特に限定されないが、３本以上であることが望ましい。
また、本発明のハニカム構造体用載置台は、上記脚部を必ずしも備えている必要はなく、例えば、図３（ａ）、（ｂ）に示した構成のハニカム構造体用載置台では、予備載置部材３０３が直接シャフト３０５に固定された構成であってもよいし、例えば、図７（ａ）、（ｂ）に示した構成のハニカム構造体用載置台では、予備載置部材３３３が固定脚３３５に直接固定された構成であってもよい。
【００７２】
上記載置部材の構成材料としては、上面を平坦な平面とすることができ、ハニカム構造体を安定的に載置できる強度を有する材料であれば特に限定されず、ステンレス（ＳＵＳ）、スチール、ニッケル合金等の金属、炭化ケイ素、タングステンカーバイド等のセラミック等が挙げられる。
また、このような材料で構成された載置部材の上面には樹脂、セラミック、金属等からなる被覆層が形成されていてもよい。上記被覆層の形成は、例えば、塗布及び硬化、メッキ、溶射等により行なうことができる。
また、上記載置部材の上面には研磨処理等の平坦化処理が施されていてもよい。
【００７３】
また、上記載置部材の上面は、ハニカム構造体の端面に接触する部分であるため、平滑な平面であることが望ましい。上記上面に突起等があるとハニカム構造体と構造体載置面が接触した際にハニカム構造体の端面に欠けやクラック等が発生するおそれがあるからである。
【００７４】
上記固定部の形状は、上記載置部材を所定の高さに維持した状態でその設置場所に設置できる形状を備えていれば特に限定されるものではない。
【００７５】
上記予備載置部材の構成材料としては、平坦な平面とすることができ、ハニカム構造体を安定的に支持できる強度を有する材料であれば特に限定されず、例えば、樹脂、金属、セラミック等が挙げられる。これらのなかでは樹脂が望ましい。
樹脂はその硬度が金属等に比べ低いため、ハニカム構造体の端面に欠けやクラック等が発生するおそれがより小さくなるからである。
また、上記樹脂としては、フッ素樹脂が望ましい。フッ素樹脂は他の樹脂に比べて離形性が高く、取り扱いが容易であるためである。
また、上記予備載置部材では、金属やセラミックからなる基材の表面に樹脂等からなる被覆層が形成されていても良い。
【００７６】
上記脚部の構成材料としては、ハニカム構造体を安定的に支持できる強度を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金属、セラミック、樹脂等が挙げられる。
また、その形状も特に限定されるものではなく、例えば、角柱形状、円柱形状、矩形板形状等のものを用いることができる。
【００７７】
上記シャフトや上記固定脚の構成材料としては、ハニカム構造体を安定的に支持できる強度を有する材料であれば特に限定されず、例えば、金属、セラミック、樹脂等が挙げられる。
また、その形状も特に限定されるものではなく、角柱形状、円柱形状等のものを用いることができる。
【００７８】
また、上記金属プレートの底面に固定される上記シリンダプレート、及び、上記シリンダプレートに上記ロッドを介して取り付けられる上記シリンダの取り付け位置は特に限定されないが、上記金属プレートの中心に対して点対称となる位置であることが望ましい。金属プレートを滑らかに上下動させることができるからである。
また、上記シリンダプレートや、上記シリンダの取り付け個数は特に限定されないが、金属プレートを滑らかに上下動させることができる点から、３個以上であることが望ましい。
【００７９】
また、図３〜８で示したハニカム構造体用載置台の例では、上記昇降機構の構成部材としてエアシリンダを備えた例を示しているが、上記昇降機構の構成部材として用いられるシリンダはエアシリンダに限定されるものではなく、例えば、オイルシリンダ、電動シリンダ等を用いることもできる。
【００８０】
また、本発明のハニカム構造体用載置台は、その最下部に回転テーブルを備えていてもよい。即ち、図３〜６に示したハニカム構造体用載置台３０１全体や、図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３３１全体が回転テーブル上に載置され、上記構造体載置面がハニカム構造体を載置した状態で回転可能に構成されていてもよい。
後述するハニカム構造体の検査装置等においては、ハニカム構造体を載置した状態で、ハニカム構造体を回転させるハニカム構造体用載置台が求められることがあるからである。
【００８１】
次に、本発明のハニカム構造体の検査装置について説明する。
本発明のハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
上記ハニカム構造体が上記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
上記予備載置部材を上記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構と、
上記載置部材に載置された上記ハニカム構造体の外部形状及び内部形状のうち、少なくとも一方を検査する検査手段とを備え、
上記予備載置面は、上記構造体載置面と平行であり、
上記ハニカム構造体の端面と重ね合わせた場合、上記予備載置面の形状は、外周全体が上記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とする。
【００８２】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、検査対象のハニカム構造体を載置するためのハニカム構造体用載置台と、上記ハニカム構造体の外部形状や内部形状を検査する検査手段とを備えている。
このうち、上記ハニカム構造体用載置台としては、既に説明した本発明のハニカム構造体用載置台を好適に用いることができるので、その詳細な説明は省略し、ここでは、ハニカム構造体の外部形状や内部形状を検査する検査手段を中心に本発明のハニカム構造体の検査装置について説明する。
なお、本明細書において、ハニカム構造体の検査とは、その外部形状や内部形状の検査を行うことをいい、ハニカム構造体の検査装置とはハニカム構造体の外部形状や内部形状の検査を行うための装置をいうこととする。
【００８３】
上記検査手段としては、例えば、レーザ光や接触式測定子を用いた形状検査装置、熱画像法や浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置等を用いることができ、これらを用いることにより、ハニカム構造体の外部形状を検査することができる。
なお、本発明のハニカム構造体の検査装置で検査する上記ハニカム構造体の形状は、外部形状であることが望ましく、上記外部形状は、特に限定されるものでないが、ハニカム構造体の長手方向の長さ、最大径、真円度、直角度、平行度及び位置度のうちの少なくとも１つであることが望ましい。ハニカム構造体は、通常、ケーシング内に収納されて使用されるが、このとき外部形状が所定の形状を有しているか否かが重要であり、また、上記外部形状は、ハニカム構造体を製造する際にバラツキが生じやすい特性だからである。
【００８４】
以下、上記検査手段を備えたハニカム構造体の検査装置について、もう少し詳しく説明する。
まず、上記レーザ光を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
図９（ａ）は、レーザ光を用いた形状検査装置を備えた本発明のハニカム構造体の検査装置の一例を模式的に示す正面図であり、図９（ｂ）は、（ａ）に示したハニカム構造体の検査装置の上面図である。なお、図９（ａ）、（ｂ）では、検査対象を円柱形状のハニカム構造体としている。
また、図９（ｃ）は、（ｂ）と同様、（ａ）に示したハニカム構造体の検査装置の上面図である。ただし、図９（ｃ）では、楕円柱形状のハニカム構造体を検査対象としている。
【００８５】
図９（ａ）、（ｂ）に示すように、ハニカム構造体の検査装置４００は、本発明のハニカム構造体用載置台３０１と、光源を備えた２台のレーザ光照射装置４１１ａ、４１１ｂ及び受光部を備えた２台のレーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂとこれらを取り付ける支持部材４１５とからなる形状検査装置４１０とを備えている。
ハニカム構造体の検査装置４００では、ハニカム構造体用載置台３０１の上面に対して、４本の支持部材４１５が垂直に立設され、各支持部材４１５にレーザ光照射装置４１１ａ、４１１ｂ及びレーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂのいずれかが配設されている。ここで、レーザ光照射装置及びレーザ光受光装置は、１台のレーザ光照射装置４１１ａと１台のレーザ光受光装置４１２ａ、及び、１台のレーザ光照射装置４１１ｂと１台のレーザ光受光装置４１２ｂが、互いに対向するように配置され、かつ、それら２組が並ぶように配設されている。
そして、ハニカム構造体用載置台３０１は、検査対象物であるハニカム構造体１３０をハニカム構造体用載置台３０１に載置した際に、レーザ光照射装置４１１ａ、４１１ｂとレーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂとの間に配置されるように構成されている。
【００８６】
ハニカム構造体の検査装置４００では、レーザ光４１３は、レーザ光照射装置４１１ａ、４１２ａの前面に対して、一定の角度（例えば、９０°）で照射されるとともに、一定の範囲内で光源を平行移動させながら同じ角度で照射される。従って、レーザ光照射装置４１１ａ、４１２ａから照射したレーザ光は、障害物がなければ、レーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂの受光素子に届き、受光素子はレーザ光を検知する。一方、レーザ光４１３を照射した際、前方にハニカム構造体１３０が存在する場所では、レーザ光４１３が遮られるため、受光素子は、レーザ光を検知しない。
そして、レーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂの間隔は、一定（ｂｍｍ）に設定されている。
【００８７】
ここで、円柱形状のハニカム構造体を検査対象とする場合には、まず、ハニカム構造体用載置台３０１にハニカム構造体１３０を載置し、続いて、図９（ｂ）に示すように、レーザ光照射装置４１１ａよりレーザ光源を平行移動させながらレーザ光４１３を照射した際に、受光素子に光が届かなかった幅をａｍｍ、レーザ光照射装置４１１ｂよりレーザ光源を平行移動させながら照射した際に、受光素子に光が届かなかった幅をｃｍｍとして検出する。そうすると、円柱形状のハニカム構造体１３０の直径Ｄは、ａ＋ｂ＋ｃ（ｍｍ）となる。
そして、円柱形状のハニカム構造体１３０を断続的に回転させながら、上記測定を１回転（３６０°回転）するまで複数回行い、さらに、測定する部分の高さを変更して上記測定を行う。その後、得られた各測定点での直径の平均値を算出することにより、ハニカム構造体の直径とする。
このように、ハニカム構造体の検査装置４００を用いることにより、ハニカム構造体の外部形状の一つである直径を測定することができる。
なお、ハニカム構造体用載置台３０１は、図示していないが、載置部材及び予備載置部材を回転させる回転テーブルを最下部に備えている。
【００８８】
一方、図９（ｃ）に示すように、長径と短径とが存在する楕円柱形状のハニカム構造体１３０′を検査対象とする場合には、上記原理により、レーザ光４１３が遮られる部分の幅に基づいて、その幅を測定し、最も長い値を長径とし、最も短い値を短径とする。ハニカム構造体１３０′は、３６０°回転するので、同じ幅（長径と短径と）の部分を２度測定することとなる。そして、この測定を、照射するレーザ光４１３の高さを変えながら行い、得られた各測定点での長径、短径の値の平均値の算出値を算出することにより、ハニカム構造体の長径、短径を測定することができる。
【００８９】
さらに、以上のようにして測定した直径、又は、長径及び短径の測定結果より、ハニカム構造体の最大経や真円度を算出することができる。
また、照射するレーザ光４１３の高さを変えて測定して得られた直径、又は、長径及び短径の測定結果より、ハニカム構造体の直角度を算出することができる。
【００９０】
上記形状検査装置４００において、上記レーザ光としては特に限定されず、例えば、ＣＯ２レーザ、ＹＡＧレーザ、エキシマレーザ等が挙げられる。
レーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂに設けられる受光素子としては特に限定されず、既知の受光素子を使用することができる。
【００９１】
また、図９（ａ）、（ｂ）、（ｃ）に示したハニカム構造体の検査装置４００は、ハニカム構造体を検査する際に、ハニカム構造体を回転させるように構成されているものであるが、２組のレーザ光照射装置とレーザ光受光装置を備えた本発明のハニカム構造体の検査装置は、上記レーザ光照射装置と上記レーザ光受光装置とがハニカム構造体を挟んで対向配置した状態で上記ハニカム構造体の周囲を回転して、上記受光装置がレーザ光を受光した領域を計測することによりハニカム構造体の直径等を測定することができるように、構成されていてもよい。
【００９２】
次に、接触式測定子を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
図１０（ａ）、（ｂ）は、接触式測定子を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置の一例を模式的に示す概念図でなる。なお、図１０（ａ）及び図１０（ｂ）は、同一の検査装置を示すが、検査対象が異なっている。
また、図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）に示したハニカム構造体の検査装置の部分拡大断面図である。
【００９３】
図１０（ａ）、（ｂ）に示すように、ハニカム構造体の検査装置４０１は、本発明のハニカム構造体用載置台３０１と、円盤４２１の下面に多数の略棒形状の接触式測定子４２２が設けられるとともに、これらの接触式測定子４２２からのデータを送信するため、及び、円盤４２１等を支持するために、円盤４２１の中央に、円柱形状の接続部４２３が接続された形状検査装置４２０とを備えている。
また、接触式測定子４２２は、図１０（ｃ）に示すように、可変部４２２ａと先端部４２２ｂとからなり、先端部４２２ｂが検査対象物と接触した後に押されて可変部４２２ａが縮んだ長さを検出できるように構成されている。
【００９４】
図示はしないが、接続部４２３の他端は、昇降が可能なステッピングモータとボールネジとを含む昇降部材に結合しており、このステッピングモータの回転により形状検査装置４２０が昇降するように構成されている。
そして、このステッピングモータの回転位置を検出することで、円盤４２１を含む形状検査装置４２０全体が移動した距離を算出することができる。
【００９５】
従って、全ての接触式測定子４２２が接触を検出した際のステッピングモータの回転位置を検出し、さらに、接触式測定子４２２が検査対象物に接触して可変部４２２ａが縮んだ長さを検出することによって、各接触式測定子がそれぞれ接触した部位の位置を算出することができる。
【００９６】
以下、ハニカム構造体の検査装置４０１を用いて、ハニカム構造体の形状を検査する方法について説明する。
ハニカム構造体の検査装置４０１を用いて、ハニカム構造体の形状検査を行う際には、まず、ハニカム構造体の検査に先立ち、図１０（ａ）に示すように、標準サンプルＳを用いて０点を補正する。
ここで、０点補正とは、基準面と接触式測定子４２２とを含む測定系において、基準面に対する接触式測定子の原点位置を決定する操作である。
なお、基準面とはハニカム構造体を載置する面、即ち、構造体載置面である。
【００９７】
標準サンプルＳとしては、その端面同士が平行であり、端面間の長さ（高さ）がＬ０であるように校正されている柱形状のサンプルを用いる。
０点補正の手順としては、まず、図１０（ａ）に示すように、標準サンプルＳの一方の端面をハニカム構造体用載置台３０１に載置する。
次いで、標準サンプルＳの他方の端面に全ての接触式測定子４２２を接触させて、各接触式測定子が接触した部位の位置を算出する。
この際、基準面と各接触式測定子４２２との間隔は全てＬ０となるので、この位置を各接触式測定子４２２の原点位置として記録する。
以上の手順によって、形状検査装置４２０の０点補正を行う。
【００９８】
続いて、検査対象物であるハニカム構造体について形状検査を行う。
まず、標準サンプルＳに代えて、図１０（ｂ）に示すように、検査対象物であるハニカム構造体１３０の一方の端面をハニカム構造体用載置台３０１に載置する。
次いで、形状検査装置４２０を下降させて接触式測定子４２２をハニカム構造体１３０の他方の端面（ハニカム構造体用載置台に接した側と反対側の端面）に接触させる。この際、上記端面よりも高い位置から形状検査装置４２０を徐々に下降させて、全ての接触式測定子４２２を上記端面に接触させる。
そして、全ての接触式測定子４２２が上記端面と接触した際の各接触式測定子４２２の基準面からの距離Ｌは、原点位置から形状検査装置４２０が移動した距離をＸ、接触式測定子が縮んだ長さをＹとすると、Ｌ＝（Ｌ０−Ｘ＋Ｙ）となる。
このＬを各接触式測定子４２２それぞれについて算出し、記録する。
このようにして算出したＬを、各接触式測定子が接触した位置におけるハニカム構造体の長手方向の長さということとする。
【００９９】
さらに、上記手順で算出した各接触式測定子が接触した位置におけるハニカム構造体の長手方向の長さＬから、端面の平行度及び位置度を測定することができる。
なお、上記平行度とは、測定子が接触する側の各ハニカム構造体の端面の全てが、ある平面に平行な二平面の間に存在するように挟んだときの上記二平面の間隔であり、また、上記位置度とは、ある平面と平行な基準平面であって、ある平面から所定値（例えば、長手方向の長さを複数計測したときのそれらの平均値等）の分だけ離れた位置にある基準平面を設定したとき、この基準平面に対して対称な平行二平面の間に、測定子が接触する側の各ハニカム構造体の端面の全てが存在するように挟んだときの、平行二平面の間隔である（ＪＩＳ Ｂ ０６２１参照）。
【０１００】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、上記レーザ光を用いた形状検査装置及び上記接触式測定子を用いた形状検査装置の両者を備えており、レーザ光を用いてハニカム構造体の最大径等を測定すると同時に、接触式測定子を用いてハニカム構造体の長手方向の長さ等を測定することができるように構成されていてもよい。
【０１０１】
次に、上記熱画像法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
上記熱画像法は、ハニカム構造体に適当な方法で温度場を与えながら、サーモグラフィによってハニカム構造体表面の温度分布を測定し、その温度分布を表示する画像から欠陥の有無を判定する方法であり、この方法では、ハニカム構造体の表面欠陥を検出することができる。
【０１０２】
上記熱画像法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台と、温度場を与えるための機構及び温度分布を測定及び表示するためのサーモグラフィからなる欠陥検査装置とを備えている。
上記温度場を与えるための機構は特に限定されるものではなく、例えば、ヒーターや冷却管、熱風吹き付け装置や、冷風吹き付け装置等が挙げられる。
これらの温度場を与えるための機構は、本発明のハニカム構造体用載置台に配設されていてもよいし、別途配設されていてもよい。
【０１０３】
そして、このような本発明のハニカム構造体の検査装置において、熱画像法によりハニカム構造体の欠陥を検査する場合には、ハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置した後、上記ハニカム構造体に温度場を与えながら、サーモグラフィによってその表面の温度分布を測定すればよい。これにより、ハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。
【０１０４】
次に、上記浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
上記浸透探傷検査は、ハニカム構造体の表面（主に側面）に浸透液を塗布、噴霧等することにより、その表面欠陥中に浸透液を浸透させ、ハニカム構造体の表面に付着した余計な浸透液を洗浄、除去した後に、現像剤を適用し、可視的に明瞭に強調された欠陥による浸透指示模様から表面欠陥の有無を判定する検査であり（ＪＩＳ Ｚ ２３４３−１〜ＪＩＳ Ｚ ２３４３−４参照）、この検査では、ハニカム構造体の表面欠陥を検出することができる。
【０１０５】
上記浸透探傷検査としては、染色浸透探傷検査や蛍光浸透探傷検査を用いることができ、上記染色浸透探傷検査では、ハニカム構造体の表面に欠陥が存在すると、現像剤を適用した際に、ハニカム構造体の表面に存在する欠陥の部位に着色模様が形成されることとなり、その模様からハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。また、上記蛍光浸透探傷検査では、ハニカム構造体の表面に欠陥が存在すると、ハニカム構造体の表面に紫外線等の励起光を照射した際に、欠陥が存在する部位に蛍光模様が発現することとなり、その模様からハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。なお、蛍光浸透探傷検査では、場合によっては現像処理を省略してもよい。
【０１０６】
なお、ハニカム構造体は、主に多孔質セラミックからなるものであるため、このハニカム構造体の検査装置で検査対象となるハニカム構造体は、その側面に緻密なコート層が形成されているハニカム構造体であり、欠陥の有無を検査する対象部位は、上記コート層の表面となる。
【０１０７】
上記浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台とともに、浸透液供給機構、浸透液除去機構及び現像液供給機構を有する浸透探傷検査装置を備えている。
また、浸透探傷検査として、蛍光浸透探傷検査を行う場合には、浸透探傷検査装置は、さらにブラックライト等の励起光光源を備えている。
【０１０８】
そして、このような本発明のハニカム構造体の検査方法において、上記染色浸透探傷検査によりハニカム構造体の欠陥を検査する場合には、ハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置した後、まず、ハニカム構造体の側面に浸透液の噴霧等を行い、続いて、余分な浸透液（ハニカム構造体の表面欠陥に浸透しなかった浸透液）を除去し、さらに、現像剤により現像処理を行い、最後に目視観察等によりハニカム構造体の側面の模様を観察することによりハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。
また、上記蛍光浸透探傷検査を行う場合には、余分な浸透液の除去までを上記染色浸透探傷検査と同様の方法で行い、必要に応じて、上記現像処理を行なった後、さらに、紫外線等の励起光をハニカム構造体の側面に照射することにより、ハニカム構造体の表面に蛍光模様を発現させ、それを目視等により観察する。
これにより、ハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査することができる。
【０１０９】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、検査手段として拡大顕微鏡等を備えたものであってもよい。本発明のハニカム構造体の検査装置がハニカム構造体用載置台とともに拡大顕微鏡等を備えていると、上記拡大顕微鏡等を用いた目視検査により、ハニカム構造体の外部形状を検査することができる。
【０１１０】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、検査手段としてハニカム構造体の端面全体又は所定の一部のセルに光を照射するための光源と受光部を備えたものであってもよい。このようなハニカム構造体の検査装置を用いると、セルの目封じされていない側の端部からセル内に光を入射して、セルの目封じされた側の端部（以下、封止部ともいう）から外部に漏れる光を受光部で検出することにより、ハニカム構造体の外部形状である封止部の形状を検査することができる。
【０１１１】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、検査手段としてハニカム構造体の内部形状を検査するための装置を備えていてもよい。
内部形状を検査するための手段としては、例えば、音響信号法を用いた欠陥検査装置等を用いることができる。これを用いた場合には、ハニカム構造体の内部形状を検査することができる。
【０１１２】
上記音響信号法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置について説明する。
上記音響信号法は、ハニカム構造体に入射され、ハニカム構造体を伝播した音響信号の情報に基づいてハニカム構造体の内部欠陥を検査する方法であり、この方法では、ハニカム構造体の欠陥部分を音響信号が伝播した場合、欠陥部分を伝播した音響信号は、欠陥のない部分を伝播した音響信号に対し変質したものとなるため、欠陥の有無の情報を有する音響信号を情報処理装置によって処理することで、ハニカム構造体の欠陥を検出することができる。
【０１１３】
上記音響信号法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台と、音響信号をハニカム構造体に入射する発信側探触子と、ハニカム構造体を伝播した音響信号を受信する受信側探触子と、上記受信側探触子で受信した音響信号情報処理に基づいて欠陥の有無を判別する情報処理装置とからなる欠陥検査装置とを備えている。
【０１１４】
そして、このような本発明のハニカム構造体の検査装置において、音響信号法によりハニカム構造体の欠陥を検査する場合には、ハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置した後、上記発信側探触子から受信側探触子に音響信号を発信し、上記受信側探触子で受信した音響信号の情報を上記情報処理装置で処理することにより、ハニカム構造体の内部欠陥の有無を判別する。これにより、ハニカム構造体の内部欠陥の有無を検査することができる。
【０１１５】
本発明のハニカム構造体の検査装置は、以上説明したように、レーザ光や接触式測定子を用いた形状検査装置、熱画像法や浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置等の上記ハニカム構造体の外部形状を検査する検査手段や、音響信号法を用いた欠陥検査装置等の上記ハニカム構造体の内部形状を検査する検査手段を備えたものであるが、本発明のハニカム構造体の検査装置では、これらの検査手段を１つのみ備えていてもよく、２つ以上備えていてもよい。
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、ハニカム構造体の内部形状及び外部形状のうちのいずれか一方を検査するものであってもよいし、両方を検査するものであってもよい。
【０１１６】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、これまで説明したようなハニカム構造体の外部形状や内部形状を検査する検査装置として用いることができるほか、製造工程途中のハニカム構造体の外部形状及び内部形状の少なくとも一方を検査する検査装置、又は、触媒を付与する前又は付与した後のハニカム構造体の機能を評価する評価装置としても用いることができる。
【０１１７】
製造工程途中のハニカム構造体の形状を検査するための検査装置の一例としては、上述したような封止部の形状を検査するための検査装置等を挙げることができ、また、ハニカム構造体の機能を評価する評価装置の一例としては、ハニカム構造体のセルにガスを流通させて、上記セルへの入口側と出口側における上記ガスの圧力を測定して、その差圧（圧力損失）を算出することにより排ガス浄化フィルタとしての機能を備えているかを確認することのできる評価装置等を挙げることができる。
【０１１８】
また、本発明のハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台を備えており、既に説明したように、上記ハニカム構造体用載置台は、上記予備載置面が上記構造体載置面より上方に位置する状態で、上記ハニカム構造体を支持し、
さらに、上記昇降機構が上記予備載置面を少なくとも上記構造体載置面まで下降させることにより上記ハニカム構造体を上記構造体載置面に載置し、
上記昇降機構が上記ハニカム構造体を支持しない状態の予備載置面を、少なくとも上記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇させることが望ましい。
また、上記ハニカム構造体の検査装置において、上記ハニカム構造体の端面と上記予備載置面の外周形状とは、相似形であることが望ましい。
また、本発明のハニカム構造体の検査装置においては、上記予備載置面がドーナツ形状であり、
上記予備載置面の中央部にも上記構造体載置面が配置されることが望ましい。
また、上記ハニカム構造体の検査装置は、上記予備載置部材の下部に、上記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
上記脚部と上記昇降機構とが連動することにより、上記予備載置部材が上下動することが望ましい。
【０１１９】
このように、本発明のハニカム構造体の検査装置は、本発明のハニカム構造体用載置台を備えているため、上記ハニカム構造体の検査装置にハニカム構造体を載置する際には、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃を加えることなくハニカム構造体の端面外周を構造体載置面に接触させてハニカム構造体を構造体載置面上に載置することができる。
従って、本発明のハニカム構造体の検査装置によると、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラック等を発生させることなく、ハニカム構造体の形状検査を行うことができる。
【０１２０】
次に、本発明のハニカム構造体用載置台に載置するハニカム構造体について説明する。
上記ハニカム構造体は、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設されたハニカム成形体を焼成したハニカム焼成体からなるものであればよく、その具体例としては、例えば、既に図１１、１２（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体１３０等が挙げられる。
【０１２１】
図１１は、このようなハニカム構造体の一例を模式的に示す斜視図であり、図１２（ａ）は、上記ハニカム構造体を構成するハニカム焼成体を模式的に示す斜視図であり、図１２（ｂ）は、そのＡ−Ａ線断面図である。
【０１２２】
ハニカム構造体１３０では、図１２に示すようなハニカム焼成体１４０がシール材層（接着剤層）１３１を介して複数個結束されてセラミックブロック１３３を構成し、さらに、このセラミックブロック１３３の外周にシール材層（コート層）１３２が形成されている。
また、ハニカム焼成体１４０は、図１２に示すように、長手方向（図１２（ａ）中、矢印ａの方向）に多数のセル１４１が並設され、セル１４１同士を隔てるセル壁１４３がフィルタとして機能するようになっている。
【０１２３】
即ち、ハニカム焼成体１４０に形成されたセル１４１は、図１２（ｂ）に示すように、排ガスの入口側又は出口側の端部のいずれかが封止材層１４２により目封じされる。一のセル１４１に流入した排ガスは、必ずセル１４１を隔てるセル壁１４３を通過した後、他のセル１４１から流出するようになっており、排ガスがこのセル壁１４３を通過する際、パティキュレートがセル壁１４３部分で捕捉され、排ガスが浄化される。
【０１２４】
また、上記ハニカム構造体は、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設された柱状のハニカム成形体を焼成し、得られたハニカム焼成体がシール材層（接着剤層）を介して複数個結束されたハニカム構造体（図１１、１２（ａ）、（ｂ）参照）に限定されず、例えば、多数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設されたハニカム成形体を焼成して得られる一のハニカム焼結体からなる柱状のハニカム構造体であってもよい。
なお、本明細書において、前者のハニカム焼成体がシール材層（接着剤層）を介して複数個結束されたハニカム構造体を集合型ハニカム構造体、後者の一のハニカム焼結体からなる柱状のハニカム構造体を一体型ハニカム構造体という。
【０１２５】
また、上記ハニカム構造体の形状は、図１１に示したハニカム構造体１３０のような円柱形状に限定されず、任意の形状の底面を有する柱形状であればよい。その具体的な形状は、円柱形状以外に、例えば、三角柱形状、四角柱形状、六角柱形状の多角柱形状、楕円柱形状、長円柱形状等が挙げられる。
また、上記ハニカム構造体のセルの形状は、ハニカム構造体１３０のように、必ずしも一様である必要はなく、端部の形状や大きさが異なる２種類以上のセルを備えていてもよい。
【０１２６】
また、上記ハニカム構造体は、ハニカム構造体１３０のように、必ずしもセルのいずれか一方の端部が封止されていなくてもよい。即ち、セルの両端部がともに外部に開放されていてもよい。
なお、セルのいずれか一方の端部が封止されたハニカム構造体は、ハニカムフィルタとして好適に使用することができ、セルの両端部が開放されたハニカム構造体は、触媒担体として好適に使用することができる。
【０１２７】
また、上記ハニカム構造体の構成材料の主成分としては、例えば、窒化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化ホウ素、窒化チタン等の窒化物セラミック、炭化ケイ素、炭化ジルコニウム、炭化チタン、炭化タンタル、炭化タングステン等の炭化物セラミック、アルミナ、ジルコニア、コージェライト、ムライト、チタン酸アルミニウム等の酸化物セラミック等が挙げられる。
これらのなかでは、非酸化物セラミックが好ましく、炭化ケイ素が特に好ましい。耐熱性、機械強度、熱伝導率等に優れるからである。なお、上述したセラミックに金属ケイ素を配合したケイ素含有セラミック、ケイ素やケイ酸塩化合物で結合されたセラミック等のセラミック原料も構成材料として挙げられ、これらのなかでは、炭化ケイ素に金属ケイ素が配合されたもの（ケイ素含有炭化ケイ素）が望ましい。
特に、上記集合型ハニカム構造体の構成材料の主成分としては、上記炭化ケイ素や上記ケイ素含有炭化ケイ素が望ましく、上記一体型ハニカム構造体の構成材料の主成分としては、コージェライトやチタン酸アルミニウムが望ましい。
【０１２８】
次に、上記ハニカム構造体の製造方法について工程順に説明する。
ここでは、構成材料の主成分が炭化ケイ素のハニカム構造体を製造する場合を例に説明する。なお、最初に集合型ハニカム構造体の製造方法について説明する。
まず、平均粒子径の異なる炭化ケイ素粉末等の無機粉末と有機バインダとを乾式混合して混合粉末を調製するとともに、液状の可塑剤と潤滑剤と水とを混合して混合液体を調製し、続いて、上記混合粉末と上記混合液体とを湿式混合機を用いて混合することにより、成形体製造用の湿潤混合物を調製する。
【０１２９】
上記炭化ケイ素粉末の粒径は特に限定されないが、後の焼成工程で収縮の少ないものが好ましく、例えば、０．３〜５０μｍの平均粒径を有する粉末１００重量部と０．１〜１．０μｍの平均粒径を有する粉末５〜６５重量部とを組み合わせたものが好ましい。
ハニカム焼成体の気孔径等を調節するためには、焼成温度を調節する必要があるが、炭化ケイ素粉末の粒径を調節することにより、気孔径を調節することができる。
【０１３０】
上記有機バインダとしては特に限定されず、例えば、メチルセルロース、カルボキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ポリエチレングリコール等が挙げられる。これらのなかでは、メチルセルロースが望ましい。
上記バインダの配合量は、無機粉末１００重量部に対して、１〜１０重量部が望ましい。
【０１３１】
上記可塑剤としては特に限定されず、例えば、グリセリン等が挙げられる。
また、上記潤滑剤としては特に限定されず、例えば、ポリオキシエチレンアルキルエーテル、ポリオキシプロピレンアルキルエーテル等のポリオキシアルキレン系化合物等が挙げられる。
潤滑剤の具体例としては、例えば、ポリオキシエチレンモノブチルエーテル、ポリオキシプロピレンモノブチルエーテル等が挙げられる。
なお、可塑剤、潤滑剤は、場合によっては、混合原料粉末に含まれていなくてもよい。
【０１３２】
また、上記湿潤混合物を調製する際には、分散媒液を使用してもよく、上記分散媒液としては、例えば、水、ベンゼン等の有機溶媒、メタノール等のアルコール等が挙げられる。
さらに、上記湿潤混合物中には、成形助剤が添加されていてもよい。
上記成形助剤としては特に限定されず、例えば、エチレングリコール、デキストリン、脂肪酸、脂肪酸石鹸、ポリアルコール等が挙げられる。
【０１３３】
さらに、上記湿潤混合物には、必要に応じて酸化物系セラミックを成分とする微小中空球体であるバルーンや、球状アクリル粒子、グラファイト等の造孔剤を添加してもよい。
上記バルーンとしては特に限定されず、例えば、アルミナバルーン、ガラスマイクロバルーン、シラスバルーン、フライアッシュバルーン（ＦＡバルーン）、ムライトバルーン等を挙げることができる。これらのなかでは、アルミナバルーンが望ましい。
【０１３４】
また、ここで調製した、炭化ケイ素粉末を用いた湿潤混合物は、その温度が２８℃以下であることが望ましい。温度が高すぎると、有機バインダがゲル化してしまうことがあるからである。
また、上記湿潤混合物中の有機分の割合は１０重量％以下であることが望ましく、水分の含有量は８．０〜２０．０重量％であることが望ましい。
【０１３５】
上記湿潤混合物は、調製後搬送され、成形機に投入されることとなる。
上記搬送装置で搬送された湿潤混合物を押出成形機に投入した後は、押出成形により所定の形状のハニカム成形体とする。
次に、上記ハニカム成形体を、マイクロ波乾燥機、熱風乾燥機、誘電乾燥機、減圧乾燥機、真空乾燥機、凍結乾燥機等を用いて乾燥させ、乾燥させたハニカム成形体とする。
【０１３６】
次いで、必要に応じて、入口側セル群の出口側の端部、及び、出口側セル群の入口側の端部に、封止材となる封止材ペーストを所定量充填し、セルを目封じする。このセルの目封じの際には、ハニカム成形体の端面（即ち、切断工程後の切断面）に目封じ用のマスクを当てて、目封じの必要なセルにのみ封止材ペーストを充填する。
【０１３７】
上記封止材ペーストとしては特に限定されないが、後工程を経て製造される封止材の気孔率が３０〜７５％となるものが望ましく、例えば、上記湿潤混合物と同様のものを用いることができる。
【０１３８】
上記封止材ペーストの充填は、必要に応じて行なえばよく、上記封止材ペーストを充填した場合には、例えば、後工程を経て得られたハニカム構造体をセラミックフィルタとして好適に使用することができ、上記封止材ペーストを充填しなかった場合には、例えば、後工程を経て得られたハニカム構造体を触媒担持体として好適に使用することができる。
【０１３９】
次に、上記封止材ペーストが充填されたハニカム成形体を、所定の条件で脱脂（例えば、２００〜５００℃）に次いで、焼成（例えば、１４００〜２３００℃）することにより、全体が一の焼成体から構成され、複数のセルがセル壁を隔てて長手方向に並設され、かつ、上記セルのいずれか一方の端部が封止されたハニカム焼成体（図１２（ｂ）参照）を製造することができる。
なお、上記ハニカム成形体の脱脂及び焼成の条件は、従来から多孔質セラミックからなるフィルタを製造する際に用いられている条件を適用することができる。
【０１４０】
次に、ハニカム焼成体の側面に、シール材層（接着剤層）となるシール材ペーストを均一な厚さで塗布してシール材ペースト層を形成し、このシール材ペースト層の上に、順次他のハニカム焼成体を積層する工程を繰り返し、所定の大きさのハニカム焼成体の集合体を作製する。
【０１４１】
上記シール材ペーストとしては、例えば、無機バインダと有機バインダと無機繊維及び／又は無機粒子とからなるもの等が挙げられる。
上記無機バインダとしては、例えば、シリカゾル、アルミナゾル等を挙げることができる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。上記無機バインダのなかでは、シリカゾルが望ましい。
【０１４２】
上記有機バインダとしては、例えば、ポリビニルアルコール、メチルセルロース、エチルセルロース、カルボキシメチルセルロース等を挙げることができる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。上記有機バインダのなかでは、カルボキシメチルセルロースが望ましい。
【０１４３】
上記無機繊維としては、例えば、シリカ−アルミナ、ムライト、アルミナ、シリカ等のセラミックファイバー等を挙げることができる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。上記無機繊維のなかでは、アルミナファイバが望ましい。
【０１４４】
上記無機粒子としては、例えば、炭化物、窒化物等を挙げることができ、具体的には、炭化ケイ素、窒化ケイ素、窒化ホウ素からなる無機粉末等を挙げることができる。これらは、単独で用いてもよく、２種以上を併用してもよい。上記無機粒子のなかでは、熱伝導性に優れる炭化ケイ素が望ましい。
【０１４５】
さらに、上記シール材ペーストには、必要に応じて酸化物系セラミックを成分とする微小中空球体であるバルーンや、球状アクリル粒子、グラファイト等の造孔剤を添加してもよい。
上記バルーンとしては特に限定されず、例えば、アルミナバルーン、ガラスマイクロバルーン、シラスバルーン、フライアッシュバルーン（ＦＡバルーン）、ムライトバルーン等を挙げることができる。これらのなかでは、アルミナバルーンが望ましい。
【０１４６】
次に、このハニカム焼成体の集合体を加熱してシール材ペースト層を乾燥、固化させてシール材層（接着剤層）とする。
次に、ダイヤモンドカッター等を用い、ハニカム焼成体がシール材層（接着剤層）を介して複数個接着されたハニカム焼成体の集合体に切削加工を施し、円柱形状のセラミックブロックを作製する。
【０１４７】
そして、セラミックブロックの外周に上記シール材ペーストを用いてシール材層（コート材層）を形成することで、ハニカム焼成体がシール材層（接着剤層）を介して複数個接着された円柱形状のセラミックブロックの外周部にシール材層（コート材層）が設けられたハニカム構造体とすることができる。
【０１４８】
また、上記ハニカム構造体の製造方法では、この後、必要に応じて、ハニカム構造体に触媒を担持させてもよい。また、上記触媒の担持は、集合体を作製する前のハニカム焼成体に行ってもよい。
触媒を担持させる場合には、ハニカム構造体の表面に高い比表面積のアルミナ膜を形成し、このアルミナ膜の表面に助触媒、及び、白金等の触媒を付与することが望ましい。
【０１４９】
上記ハニカム構造体の表面にアルミナ膜を形成する方法としては、例えば、Ａｌ（ＮＯ３）３等のアルミニウムを含有する金属化合物の溶液をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法、アルミナ粉末を含有する溶液をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法等を挙げることができる。
上記アルミナ膜に助触媒を付与する方法としては、例えば、Ｃｅ（ＮＯ３）３等の希土類元素等を含有する金属化合物の溶液をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法等を挙げることができる。
上記アルミナ膜に触媒を付与する方法としては、例えば、ジニトロジアンミン白金硝酸溶液（［Ｐｔ（ＮＨ３）２（ＮＯ２）２］ＨＮＯ３、白金濃度４．５３重量％）等をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法等を挙げることができる。
また、予め、アルミナ粒子に触媒を付与して、触媒が付与されたアルミナ粉末を含有する溶液をハニカム構造体に含浸させて加熱する方法で触媒を付与してもよい。
【０１５０】
ここまで説明したハニカム構造体の製造方法は、集合型ハニカム構造体の製造方法である。
以下、一体型ハニカム構造体の製造方法について説明する。
【０１５１】
このような一体型ハニカム構造体を製造する場合は、まず、押出成形により成形するハニカム成形体の大きさが、集合型ハニカム構造体を製造する場合に比べて大きい以外は、集合型ハニカム構造体を製造する場合と同様の方法を用いて、ハニカム成形体を作製する。
【０１５２】
次に、集合型ハニカム構造体の製造と同様に、上記ハニカム成形体を、マイクロ波乾燥機、熱風乾燥機、誘電乾燥機、減圧乾燥機、真空乾燥機、凍結乾燥機等を用いて乾燥させる。
次いで、乾燥させたハニカム成形体の両端部を切断する切断工程を行なう。
【０１５３】
次に、入口側セル群の出口側の端部、及び、出口側セル群の入口側の端部に、封止材となる封止材ペーストを所定量充填し、セルを目封じする。
その後、集合型ハニカム構造体の製造と同様に、脱脂、焼成を行なうことによりセラミックブロックを製造し、必要に応じて、シール材層（コート材層）の形成を行なうことにより、一体型ハニカム構造体を製造することができる。また、上記一体型ハニカム構造体にも、上述した方法で触媒を担持させてもよい。
【０１５４】
このようにして製造したハニカム構造体は、本発明のハニカム構造体用載置台に載置するハニカム構造体となり、また、本発明のハニカム構造体の検査装置における検査対象となる。
【実施例】
【０１５５】
以下に実施例を掲げ、本発明をさらに詳しく説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定されない。
本実施例では、まず、下記の方法によりハニカム構造体を作製し、そのハニカム構造体を実施例１〜６及び比較例１〜３の手法により検査した。
【０１５６】
（ハニカム構造体の製造）
平均粒径１０μｍのα型炭化ケイ素粉末２５０ｋｇと、平均粒径０．５μｍのα型炭化ケイ素粉末１００ｋｇと、有機バインダ（メチルセルロース）２０ｋｇとを混合し、混合粉末を調製した。
次に、別途、潤滑剤（日本油脂社製 ユニルーブ）１２ｋｇと、可塑剤（グリセリン）５ｋｇと、水６５ｋｇとを混合して液体混合物を調製し、この液体混合物と混合粉末とを湿式混合機を用いて混合し、湿潤混合物を調製した。
【０１５７】
次に、搬送装置を用いて、この湿潤混合物を押出成形機に搬送し、押出成形機の原料投入口に投入した。
そして、押出成形により、セルの端部が封止されていないこと以外は、図１２（ａ）、（ｂ）に示した形状と同様の形状の成形体を作製した。
【０１５８】
次に、マイクロ波乾燥機等を用いて上記成形体を乾燥させた後、上記湿潤混合物と同様の組成の封止材ペーストを所定のセルに充填した。
次いで、再び乾燥機を用いて乾燥させた後、４００℃で脱脂し、常圧のアルゴン雰囲気下２２００℃、３時間で焼成を行なうことにより、気孔率が４０％、平均気孔径が１２．５μｍ、その大きさが３４．３ｍｍ×３４．３ｍｍ×２５４ｍｍ、セルの数（セル密度）が４６．５個／ｃｍ２、セル壁の厚さが０．２０ｍｍの炭化ケイ素焼結体からなるハニカム焼成体を製造した。
【０１５９】
平均繊維長２０μｍのアルミナファイバ３０重量％、平均粒径０．６μｍの炭化ケイ素粒子２１重量％、シリカゾル１５重量％、カルボキシメチルセルロース５．６重量％、及び、水２８．４重量％を含む耐熱性のシール材ペーストを用いてハニカム焼成体を多数接着させ、さらに、１２０℃で乾燥させ、続いて、ダイヤモンドカッターを用いて切断することにより、シール材層（接着剤層）の厚さ１ｍｍの円柱形状のセラミックブロックを作製した。
【０１６０】
次に、無機繊維としてシリカ−アルミナファイバ（平均繊維長１００μｍ、平均繊維径１０μｍ）２３．３重量％、無機粒子として平均粒径０．３μｍの炭化ケイ素粉末３０．２重量％、無機バインダとしてシリカゾル（ゾル中のＳｉＯ２の含有率：３０重量％）７重量％、有機バインダとしてカルボキシメチルセルロース０．５重量％及び水３９重量％を混合、混練してシール材ペーストを調製した。
【０１６１】
次に、上記シール材ペーストを用いて、ハニカムブロックの外周部に厚さ０．２ｍｍのシール材ペースト層を形成した。そして、このシール材ペースト層を１２０℃で乾燥して、外周にシール材層（コート層）が形成された直径１４３．８ｍｍ×長さ２５４ｍｍの円柱形状のハニカム構造体を作製した。
【０１６２】
（実施例１）
上記手順で作製したハニカム構造体１００個について、図３〜６に示したハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、レーザ光を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置（図９（ａ）〜（ｃ）参照）を用いてハニカム構造体の外部形状を検査した。
【０１６３】
ハニカム構造体用載置台３０１の具体的な構成は以下の通りである。
載置部材３０２は、上面に予備載置部材用溝部３１０及び脚部用溝部３１１を有する円板状で、上面の直径が２５０ｍｍである。従って、構造体載置面３０２ａがハニカム構造体の端面の外周全体と接する形状である。
予備載置部材３０３は、ドーナツ形状で、その幅が１５ｍｍ、外側の円周の直径が１００ｍｍ、内側の円周の直径が７０ｍｍである。これは、予備載置面３０３ａをハニカム構造体の端面と重ね合わせると、その外周全体がハニカム構造体の端面の外周より内側に存在する形状である。また、予備載置部材３０３の上面は平坦化されており、予備載置面３０３ａと構造体載置面３０２ａは平行になるように設置されている。また、予備載置部材３０３はフッ素樹脂からなっている。
脚部３０４は、５本の脚部が等間隔で予備載置部材の下部に固定されている。従って、隣接する脚部のなす角は、全て７２°である。
また、昇降機構を上下動させるためのシリンダとして４個のエアシリンダ３０９を備えている。
【０１６４】
具体的な検査手順としては、まず、予備載置面３０３ａが構造体載置面３０２ａより上方に位置する状態で予備載置面３０３ａでハニカム構造体を支持し、さらに、昇降機構により予備載置面３０３ａを構造体載置面３０２ａまで下降させて、ハニカム構造体を構造体載置面３０２ａ上に載置した。この際、予備載置面の下降速度は３０ｍｍ／ｓであった。
【０１６５】
その状態で図９（ａ）に示したようなレーザ光照射装置４１１ａ、４１１ｂからレーザ光を照射装置の前面に対する角度９０°で照射して、レーザ光受光装置４１２ａ、４１２ｂに届いた光の幅を測定した。
この際、ハニカム構造体を断続的に回転させながら測定を行って、ハニカム構造体の端面の最大径（直径）を算出した。
また、１回転（３６０°回転）させた後は、測定する部分の高さを変えて、１つのハニカム構造体につき５通りの高さについて測定した。
この測定結果よりハニカム構造体の最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１６６】
（実施例２）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるともに、接触式測定子を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置（図１０（ａ）〜（ｃ）参照）を用いて、ハニカム構造体の外部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１６７】
具体的には、実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１に載置した後、図１０（ａ）〜（ｃ）に示したような複数の接触式測定子４２２を備えた形状検査装置４２０を用いてハニカム構造体の長手方向の長さ、端面の平行度及び位置度を測定した。
具体的には、ハニカム構造体の端面において、一のハニカム構造体の端面が占める領域ごとに一の接触式測定子４２２が割り当てられるようにして、ハニカム構造体の長さ等を測定した。
【０１６８】
（実施例３）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、上記熱画像法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いて、その外部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１６９】
具体的には、実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１上に載置した後に、ハニカム構造体に向かって１００℃に加熱した熱風を５分間吹きつけた。
熱風の吹きつけを停止した後に、熱風を吹きつけた面をサーモグラフィの測定面に向けてその測定画像を観察し、温度分布が不連続になっている点及び線の有無を判別して、表面欠陥の有無を検査した。
【０１７０】
（実施例４）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、染色浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置を備えた検査装置を用いてその外部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１７１】
具体的には、まず実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１上に載置した。
次に、ハニカム構造体に向けて赤色浸透液をスプレー噴霧し、１５分放置し、続いて、ハニカム構造体に付着した余計な赤色浸透液を水洗して除去した。
最後に、現像剤として白色粉末懸濁液をスプレー噴霧して、表面に赤色が表出するかを観察し、ハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査した。
【０１７２】
（実施例５）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、蛍光浸透探傷検査を用いた欠陥検査装置を備えた検査装置を用いてその外部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１７３】
具体的には、まず実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１上に載置した。
次に、ハニカム構造体に向けて蛍光液をスプレー噴霧し、３０分放置し、続いて、ハニカム構造体に付着した余計な蛍光液を水洗して除去した。
最後に、検査装置を設置した部屋を暗室としたうえで、ハニカム構造体にブラックライトを照射して蛍光を発光させて、その発光模様を観察してハニカム構造体の表面欠陥の有無を検査した。
【０１７４】
（実施例６）
実施例１と同様のハニカム構造体用載置台３０１を備えるとともに、音響信号法を用いた欠陥検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いてその内部形状を検査した。なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１７５】
具体的には、まず実施例１と同様にしてハニカム構造体をハニカム構造体用載置台３０１上に載置した。
次に、上記内部欠陥検査装置に設けられた発信側探触子から音響信号をハニカム構造体に入射し、ハニカム構造体中を伝播した音響信号を受信側探触子に受信させ、受信した音響信号の情報を情報処理装置で処理して欠陥の有無を判定した。
このような判定を両探触子を移動させながら連続的に行い、ハニカム構造体中の内部欠陥の有無を検査した。
【０１７６】
（実施例７）
図７（ａ）、（ｂ）及び図８（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台３３１を備えるとともに、レーザ光を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いてハニカム構造体の外部形状を検査した。従って、本実施例で使用したハニカム構造体の検査装置は、載置部材が上下動することとなる。
なお、本実施例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。また、検査手段は、実施例１と同一である。
【０１７７】
ハニカム構造体用載置台３３１の具体的な構成は以下の通りである。
載置部材３３２は、上面に予備載置部材用溝部及び脚部用溝部を有する円板状で、上面の直径が２５０ｍｍである。従って、構造体載置面３３２ａがハニカム構造体の端面の外周全体と接する形状である。
また、載置部材３３２は、その底面に取り付けられた金属プレート３３６と一体化しており、さらに、金属プレート３３６の底面には、シリンダプレート３３７及びロッド３３８を通じて４個のエアシリンダ３３９が取り付けられている。
予備載置部材３３３は、ドーナツ形状で、その幅が１５ｍｍ、外側の円周の直径が１００ｍｍ、内側の円周の直径が７０ｍｍである。これは、予備載置面３３３ａをハニカム構造体の端面と重ね合わせると、その外周全体がハニカム構造体の端面の外周より内側に存在する形状である。また、予備載置部材３３３の上面は平坦化されており、予備載置面３３３ａと構造体載置面３３２ａは平行になるように設置されている。また、予備載置部材３３３はフッ素樹脂からなっている。
また、予備載置部材３３３は、５本の脚部３３４を介して固定脚３３５により、所定の高さに設置されている。なお、５本の脚部３３４は、等間隔で予備載置部材の下部に固定されており、隣接する脚部のなす角は、全て７２°である。
【０１７８】
具体的な検査手順としては、まず、予備載置面３３３ａが構造体載置面３３２ａより上方に位置する状態で予備載置面３３３ａでハニカム構造体を支持し、さらに、昇降機構により構造体載置面３３２ａを予備載置面３３３ａまで上昇させて、ハニカム構造体を構造体載置面３３２ａ上に載置し、その後、実施例１と同様の手順により、ハニカム構造体の最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１７９】
（比較例１）
以下の構成のハニカム構造体用載置台を備えるとともに、レーザ光を用いた形状検査装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いて、実施例１と同様の方法でハニカム構造体の外部形状を検査した。なお、本比較例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１８０】
本比較例では、ハニカム構造体用載置台として、その形状が矩形環形状で、環の幅が１５ｍｍ、外側の長辺の長さが１５０ｍｍ、短辺の長さが１００ｍｍの予備載置部材を備えたものを用いた。この予備載置部材では、予備載置面をハニカム構造体の端面と重ね合わせると、予備載置面の外周の一部がハニカム構造体の端面の外周より外側に存在することとなる。
また、上記予備載置部材の上面は平坦化されており、予備載置面と構造体載置面は平行になるように設置されている。また、予備載置部材はフッ素樹脂からなっている。
さらに、上記ハニカム構造体用載置台では、脚部は、予備載置部材の４辺のそれぞれ中心で、予備載置部材の下部に固定されており、その形状は実施例１で用いたハニカム構造体用載置台３０１の脚部と同一である。
また、上記ハニカム構造体用載置台が備える載置部材は、その上面の形状が直径２５０ｍｍの円形であり、予備載置部材用溝部及び脚部用溝部の形状は、上記予備載置部材及び上記脚部の平面視形状と略同一形状である。
その他、シャフト、金属プレート、シリンダプレート、シリンダの構成は、実施例１で用いたハニカム構造体用載置台３０１と同一である。
【０１８１】
本比較例では、ハニカム構造体の端面の重心と予備載置面の重心とが略一致するように、ハニカム構造体を予備載置面上で支持した。この際、予備載置部材の上面の一部が、ハニカム構造体の端面外周と接触していた。
その後、実施例１と同様にして、昇降機構により予備載置面を構造体載置面まで下降させて、ハニカム構造体を構造体載置面上に載置し、さらに、実施例１と同様にしてハニカム構造体の外部形状の検査を行い、最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１８２】
（比較例２）
以下の構成のハニカム構造体用載置台を備えるとともに、レーザ光照射装置及び受光装置を備えたハニカム構造体の検査装置を用いて、実施例１と同様の方法で、ハニカム構造体の外部形状を検査した。なお、本比較例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１８３】
本比較例では、ハニカム構造体用載置台として、実施例１で使用したハニカム構造体用載置台３０１と略同一の構成を有するものの、予備載置部材の上面が、予備載置部材の底面に対し３°傾斜した形状である点で構成が異なるハニカム構造体用載置台を使用した。
従って、このハニカム構造体用載置台では予備載置面が、構造体載置面に対して３°傾斜していることとなる。
【０１８４】
本比較例では、ハニカム構造体を予備載置面上で支持し、続いて昇降機構により予備載置面を下降させてハニカム構造体を構造体載置面に接触させて載置した。この際、ハニカム構造体の端面外周が最初に一点で構造体載置面と接触していた。
【０１８５】
その後は実施例１と同様にしてハニカム構造体の外部形状の検査を行い、最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１８６】
（比較例３）
その上面の形状が直径２５０ｍｍの円形状であり、厚みが１０ｍｍのステンレス（ＳＵＳ）製の平板からなるハニカム構造体用載置台と、レーザ光を用いた形状検査装置とを備えたハニカム構造体の検査装置を用いてハニカム構造体の外部形状を検査した。なお、本比較例では、ハニカム構造体１００個を検査対象とした。
【０１８７】
本比較例では、上記ハニカム構造体をその端面を下にして、上記平板上にハニカム構造体を載置し、その後、実施例１と同様にしてハニカム構造体の外部形状の検査を行い、最大径（直径）、真円度及び直角度を算出した。
【０１８８】
（検査結果）
実施例１〜７及び比較例１〜３におけるハニカム構造体の検査では、検査方法に応じた各検査項目（ハニカム構造体の長さ、真円度、直角度、表面欠陥の有無、内部欠陥の有無）を検査することができた。
しかしながら、検査終了後、ハニカム構造体をハニカム構造体用載置台から取り上げ、ハニカム構造体用載置台と接触していたハニカム構造体の端面（主に、端面の外周部分）を目視観察したところ、以下のような結果となった。
【０１８９】
即ち、実施例１〜７に係る検査においては、検査終了後、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラックが発生していなかった。
これに対し、比較例１に係る検査においては４個のハニカム構造体で（発生率：４％）、比較例２に係る検査においては８個のハニカム構造体で（発生率：８％）、比較例３に係る検査においては９個のハニカム構造体で（発生率：９％）、ハニカム構造体の端面外周に欠け又はクラックが観察された。
【０１９０】
この理由について、比較例１ではハニカム構造体の端面外周が予備載置部材と最初に１点で接触し、比較例２では、ハニカム構造体の端面外周が載置部材と最初に一点で接触し、比較例３では、ハニカム構造体の端面外周が平板と最初に一点で接触するため、それぞれの接触の際に、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃が加わることがあり、その結果、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラックが発生したものと考えられる。
これに対し、実施例１〜７では、ハニカム構造体を予備載置面で支持する際に、ハニカム構造体の端面外周に強い衝撃が加わることがなく、載置部材に載置する際には、ハニカム構造体の端面外周全体が略同時に載置部材の上面に接触するため、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラックが発生しなかったものと考えられる。
このことから、本発明のハニカム構造体用載置台を備えた検査装置では、ハニカム構造体の端面外周に欠けやクラックを発生させることなくハニカム構造体の形状検査をすることができることが明らかとなった。
【図面の簡単な説明】
【０１９１】
【図１】図１（ａ）、（ｂ）は、予備載置面がドーナツ形状である本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する様子を模式的に示す断面図であり、図１（ａ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置してハニカム構造体を支持する状態を示し、図１（ｂ）は、予備載置面が構造体載置面より下方に位置してハニカム構造体が構造体載置面上に載置されている状態を示す。
【図２】図２は、予備載置面が円形である本発明のハニカム構造体用載置台にハニカム構造体を載置する様子を模式的に示す断面図であり、図２（ａ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置してハニカム構造体を支持する状態を示し、図２（ｂ）は、予備載置面が構造体載置面より下方に位置してハニカム構造体が構造体載置面上に載置されている状態を示す。
【図３】図３（ａ）は、本発明のハニカム構造体用載置台の一例を模式的に示す斜視図であり、図３（ｂ）は、（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＢ−Ｂ線断面図である。なお、図３（ａ）、（ｂ）には、予備載置面が構造体載置面より上方に位置する状態を示す。
【図４】図４は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台を構成する載置部材を示す斜視図である。
【図５】図５は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台を構成する予備載置部材及び昇降機構を示す斜視図である。
【図６】図６（ａ）は、図３（ａ）、（ｂ）に示したハニカム構造体用載置台において、予備載置面が下降した状態を模式的に示す斜視図であり、図６（ｂ）は、図６（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＣ−Ｃ線断面図である。
【図７】図７（ａ）は、本発明のハニカム構造体用載置台の別の一例を模式的に示す斜視図であり、図７（ｂ）は、図７（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＤ−Ｄ線断面図である。
【図８】図８（ａ）は、図７（ａ）に示したハニカム構造体用載置台において、予備載置面が構造体載置面と同一平面をなす状態を模式的に示す斜視図であり、図８（ｂ）は、図７（ａ）に示したハニカム構造体用載置台のＥ−Ｅ線断面図である。
【図９】図９（ａ）は、レーザ光を用いた形状検査装置を備えた本発明のハニカム構造体の検査装置の一例を模式的に示す正面図であり、図９（ｂ）は、図９（ａ）に示したハニカム構造体の検査装置を用いて円柱形状のハニカム焼成体を検査する様子を模式的に示す上面図であり、図９（ｃ）は、図９（ｂ）と同様、図９（ａ）に示したハニカム構造体の検査装置を用いて楕円柱形状のハニカム構造体を検査する様子を模式的に示す上面図である。
【図１０】図１０は、接触式測定子を用いた形状検査装置の一例を模式的に示す概念図であり、図１０（ａ）は、この形状検査装置を用いて接触式測定子の０点を補正している様子を示す正面図であり、図１０（ｂ）は、実際にハニカム構造体の外部形状を検査している様子を示す正面図である。図１０（ｃ）は、図１０（ｂ）においてＦで示す部分の拡大断面図である。
【図１１】図１１は、ハニカム構造体の一例を模式的に示す斜視図である。
【図１２】図１２（ａ）は、上記ハニカム構造体を構成するハニカム焼成体を模式的に示す斜視図であり、図１２（ｂ）は、そのＡ−Ａ線断面図である。
【図１３】図１３は、ハニカム構造体が平板形状の台に載置される様子を模式的に表した断面図である。
【符号の説明】
【０１９２】
１３０ ハニカム構造体
３０１、３３１、１３０１、２３０１ ハニカム構造体用載置台
３０２、３３２、１３０２、２３０２ 載置部材
３０２ａ、３３２ａ、１３０２ａ、２３０２ａ 構造体載置面
３０３、３３３、１３０３、２３０３ 予備載置部材
３０３ａ、３３３ａ、１３０３ａ、２３０３ａ 予備載置面
３０４、３３４ 脚部
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
前記ハニカム構造体が前記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
前記予備載置部材を前記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、
前記予備載置面は、前記構造体載置面と平行であり、
前記予備載置面と前記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、前記予備載置面の形状は、外周全体が前記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とするハニカム構造体用載置台。
【請求項２】
前記予備載置面が前記構造体載置面より上方に位置する状態で前記ハニカム構造体を支持し、
さらに、前記昇降機構が前記予備載置面を少なくとも前記構造体載置面まで下降させることにより前記ハニカム構造体を前記構造体載置面に載置し、
前記予備載置面が、前記ハニカム構造体を支持しない状態で、前記昇降機構により少なくとも前記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇する請求項１に記載のハニカム構造体用載置台。
【請求項３】
前記ハニカム構造体の端面と前記予備載置面の外周形状とは、相似形である請求項１又は２に記載のハニカム構造体用載置台。
【請求項４】
前記予備載置面がドーナツ形状であり、
前記予備載置面の中央部にも前記構造体載置面が配置される請求項１〜３のいずれかに記載のハニカム構造体用載置台。
【請求項５】
前記予備載置部材の下部に、前記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
前記脚部と前記昇降機構とが連動することにより、前記予備載置部材が上下動する請求項１〜４のいずれかに記載のハニカム構造体用載置台。
【請求項６】
ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
前記ハニカム構造体が前記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
前記予備載置部材を前記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構と、
前記載置部材に載置された前記ハニカム構造体の外部形状及び内部形状のうち、少なくとも一方を検査する検査手段とを備え、
前記予備載置面は、前記構造体載置面と平行であり、
前記予備載置面と前記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、前記予備載置面の形状は、外周全体が前記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であるハニカム構造体の検査装置。
【請求項７】
前記予備載置面が前記構造体載置面より上方に位置する状態で前記ハニカム構造体を支持し、
さらに、前記昇降機構が前記予備載置面を少なくとも前記構造体載置面まで下降させることにより前記ハニカム構造体を前記構造体載置面に載置し、
前記昇降機構が前記ハニカム構造体を支持しない状態の予備載置面を、少なくとも前記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇させる請求項６に記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項８】
前記ハニカム構造体の端面と前記予備載置面の外周形状とは、相似形である請求項６又は７に記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項９】
前記予備載置面がドーナツ形状であり、
前記予備載置面の中央部にも前記構造体載置面が配置される請求項６〜８のいずれかに記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項１０】
前記予備載置部材の下部に、前記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
前記脚部と前記昇降機構とが連動することにより、前記予備載置部材が上下動する請求項６〜９のいずれかに記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項１１】
前記検査手段は、前記ハニカム構造体の外部形状を検査し、
前記外部形状は、前記ハニカム構造体の長手方向の長さ、最大径、真円度、直角度、平行度及び位置度のうち、少なくとも１つである請求項６〜１０のいずれかに記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項１】
ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
前記ハニカム構造体が前記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
前記予備載置部材を前記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構とを備え、
前記予備載置面は、前記構造体載置面と平行であり、
前記予備載置面と前記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、前記予備載置面の形状は、外周全体が前記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であることを特徴とするハニカム構造体用載置台。
【請求項２】
前記予備載置面が前記構造体載置面より上方に位置する状態で前記ハニカム構造体を支持し、
さらに、前記昇降機構が前記予備載置面を少なくとも前記構造体載置面まで下降させることにより前記ハニカム構造体を前記構造体載置面に載置し、
前記予備載置面が、前記ハニカム構造体を支持しない状態で、前記昇降機構により少なくとも前記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇する請求項１に記載のハニカム構造体用載置台。
【請求項３】
前記ハニカム構造体の端面と前記予備載置面の外周形状とは、相似形である請求項１又は２に記載のハニカム構造体用載置台。
【請求項４】
前記予備載置面がドーナツ形状であり、
前記予備載置面の中央部にも前記構造体載置面が配置される請求項１〜３のいずれかに記載のハニカム構造体用載置台。
【請求項５】
前記予備載置部材の下部に、前記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
前記脚部と前記昇降機構とが連動することにより、前記予備載置部材が上下動する請求項１〜４のいずれかに記載のハニカム構造体用載置台。
【請求項６】
ハニカム構造体の外周を含む端面全体と接する構造体載置面を有する載置部材と、
前記ハニカム構造体が前記載置部材に先がけて載置される予備載置面を有する予備載置部材と、
前記予備載置部材を前記載置部材に対して相対的に上下動させる昇降機構と、
前記載置部材に載置された前記ハニカム構造体の外部形状及び内部形状のうち、少なくとも一方を検査する検査手段とを備え、
前記予備載置面は、前記構造体載置面と平行であり、
前記予備載置面と前記ハニカム構造体の端面とを重ね合わせた場合、前記予備載置面の形状は、外周全体が前記ハニカム構造体の端面の外周より内側に存在しうるような形状であるハニカム構造体の検査装置。
【請求項７】
前記予備載置面が前記構造体載置面より上方に位置する状態で前記ハニカム構造体を支持し、
さらに、前記昇降機構が前記予備載置面を少なくとも前記構造体載置面まで下降させることにより前記ハニカム構造体を前記構造体載置面に載置し、
前記昇降機構が前記ハニカム構造体を支持しない状態の予備載置面を、少なくとも前記構造体載置面より上方に位置する状態まで再び上昇させる請求項６に記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項８】
前記ハニカム構造体の端面と前記予備載置面の外周形状とは、相似形である請求項６又は７に記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項９】
前記予備載置面がドーナツ形状であり、
前記予備載置面の中央部にも前記構造体載置面が配置される請求項６〜８のいずれかに記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項１０】
前記予備載置部材の下部に、前記予備載置面の重心を中心として放射状方向、かつ、等間隔に取り付けられた脚部を備え、
前記脚部と前記昇降機構とが連動することにより、前記予備載置部材が上下動する請求項６〜９のいずれかに記載のハニカム構造体の検査装置。
【請求項１１】
前記検査手段は、前記ハニカム構造体の外部形状を検査し、
前記外部形状は、前記ハニカム構造体の長手方向の長さ、最大径、真円度、直角度、平行度及び位置度のうち、少なくとも１つである請求項６〜１０のいずれかに記載のハニカム構造体の検査装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【公開番号】特開２００８−２９８７６３（Ｐ２００８−２９８７６３Ａ）
【公開日】平成２０年１２月１１日（２００８．１２．１１）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−２３４３０１（Ｐ２００７−２３４３０１）
【出願日】平成１９年９月１０日（２００７．９．１０）
【出願人】（００００００１５８）イビデン株式会社 (856)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年１２月１１日（２００８．１２．１１）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年９月１０日（２００７．９．１０）
【出願人】（００００００１５８）イビデン株式会社 (856)
【Ｆターム（参考）】
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